Buchumschlag

Осаждение двухкомпонентного состава, содержащего магнитный материал, при помощи магнетронной распылительной системы

При разработке магнетронной распылительной системы для осаждения двухкомпонентной плёнки заданного состава с одного источника, где один из компонентов — магнитный материал, необходимо решить ряд задач: разработать конструкцию магнетрона, которая позволит решить проблему шунтирования магнитного поля...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Datum:	2016
Hauptverfasser:	Бевза, О.М., Сидоренко, С.Б., Мумладзе, А.В.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2016
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/129956
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Осаждение двухкомпонентного состава, содержащего магнитный материал, при помощи магнетронной распылительной системы / О.М. Бевза, С.Б. Сидоренко, А.В. Мумладзе // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2016. — Т. 14, № 4. — С. 577-589. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Пути уменьшения энергозатратных показателей технологий распылительной сушки
von: Шморгун, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок
von: Петухов, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Особенности процесса распылительной сушки высоковлажной биомассы Spirulina platensis
von: Переяславцева, Е.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Моделирование нелинейных сингулярно возмущенных процессов двухкомпонентного конвективно-диффузионого массопереноса в нанопористой среде
von: Бомба, А.Я., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Осаждение пленок борофосфоросиликатного стекла с использованием системы ТЭОС – диметилфосфит – триметилборат
von: Turtsevich, A. S., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий
von: Андреев, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Магнитный экситон в двухслойной системе
von: Вол, Е.Д., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Выбор торговой системы при помощи дисперсии процесса ценообразования
von: Федоров, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Электросопротивление проводящего материала, содержащего трещины
von: Фельдман, Э.П., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Осаждение в теплообменных аппаратах: новый взгляд на проблему
von: Морозюк, Т.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Модификация поверхности циркония и сплава Zr1%Nb электронным пучком ускорителя на основе магнетронной пушки
von: Довбня, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
von: Аксёнов, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Магнитный контроль при изготовлении сварных баллонов
von: Лобанов, Л.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Развитие музыкальных способностей у детей при помощи обучающей системы
von: Загребина, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов
von: Grigorjantz, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2005)

СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов
von: Григорьянц, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Новый гибридный ультратвердый материал
von: Шульженко, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Дослідження чинників впливу на одержання розвинутої поверхні конденсату Al–O
von: Сидоренко, С.Б., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Магнитный момент совокупности электромагнитов компенсаторов магнитного поля
von: Пелевин, Д.Е.
Veröffentlicht: (2005)

Магнитный резонанс ядер ³He в пористых средах
von: Клочков, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Исследование подстилающей поверхности при помощи излучения глобальной навигационной спутниковой системы
von: Луценко, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Осаждение ЭДТА из комплексных растворов тяжелых металлов и его регенерирование
von: Гилене, О., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем
von: Пашнев, В.К, et al.
Veröffentlicht: (2003)

Нелинейный кондактанс квантового контакта, содержащего единичные дефекты
von: Авотина, Е.С., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Модификация сахарозо-содержащего раствора для хранения печени
von: Черкашина, Д.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Дисперсионные характеристики периодического волновода, содержащего слой метаматериала
von: Кусайкин, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Новый ультратвердый поликристаллический композиционный материал
von: Шульженко, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Краниологический материал из могильника Дружное
von: Радочин, В.Ю.
Veröffentlicht: (2011)

Универсальный материал для малого предпринимательства
von: Адамов, А.Б., et al.
Veröffentlicht: (2004)

"Инструментальный" материал для атомной техники
von: Панов, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Содержание и эффективность системы медико-психологической помощи в клинике детской онкологии
von: Пионтковская, О.В.
Veröffentlicht: (2013)

Магнитный песок: новый взгляд на перспективы практического использования
von: Курников, Ю.А., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Магнитный радиоспектроскопический комплекс «КВАРК» миллиметрового диапазона длин волн
von: Недух, С.В.
Veröffentlicht: (2008)

Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V
von: Voronin, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V
von: Воронин, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Осаждение из газовой фазы оксидных и металлооксидных покрытий на топливные частицы
von: Патокин, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2008)

О приближении кривых, заданных в параметрическом виде, при помощи сплайн-кривых
von: Вакарчук, С.Б.
Veröffentlicht: (1983)

Влияние различных видов термического воздействия на структуру сплава системы Al–Cu–Fe, содержащего квазикристаллическую фазу
von: Гиржон, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Задача Дарбу для дифференциального уравнения, содержащего дробную производную
von: Витюк, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Размерный эффект в сопротивлении микроконтакта, содержащего точечные дефекты
von: Колесниченко, Ю.А., et al.
Veröffentlicht: (1995)