Зображення обкладинки

Осаждение двухкомпонентного состава, содержащего магнитный материал, при помощи магнетронной распылительной системы

При разработке магнетронной распылительной системы для осаждения двухкомпонентной плёнки заданного состава с одного источника, где один из компонентов — магнитный материал, необходимо решить ряд задач: разработать конструкцию магнетрона, которая позволит решить проблему шунтирования магнитного поля...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
Дата:	2016
Автори:	Бевза, О.М., Сидоренко, С.Б., Мумладзе, А.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2016
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/129956
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Осаждение двухкомпонентного состава, содержащего магнитный материал, при помощи магнетронной распылительной системы / О.М. Бевза, С.Б. Сидоренко, А.В. Мумладзе // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2016. — Т. 14, № 4. — С. 577-589. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Пути уменьшения энергозатратных показателей технологий распылительной сушки
за авторством: Шморгун, В.В., та інші
Опубліковано: (2007)

Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок
за авторством: Петухов, В.В., та інші
Опубліковано: (2005)

Особенности процесса распылительной сушки высоковлажной биомассы Spirulina platensis
за авторством: Переяславцева, Е.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Моделирование нелинейных сингулярно возмущенных процессов двухкомпонентного конвективно-диффузионого массопереноса в нанопористой среде
за авторством: Бомба, А.Я., та інші
Опубліковано: (2015)

Осаждение пленок борофосфоросиликатного стекла с использованием системы ТЭОС – диметилфосфит – триметилборат
за авторством: Turtsevich, A. S., та інші
Опубліковано: (2015)

Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Магнитный экситон в двухслойной системе
за авторством: Вол, Е.Д., та інші
Опубліковано: (2000)

Выбор торговой системы при помощи дисперсии процесса ценообразования
за авторством: Федоров, А.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Электросопротивление проводящего материала, содержащего трещины
за авторством: Фельдман, Э.П., та інші
Опубліковано: (2011)

Осаждение в теплообменных аппаратах: новый взгляд на проблему
за авторством: Морозюк, Т.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Модификация поверхности циркония и сплава Zr1%Nb электронным пучком ускорителя на основе магнетронной пушки
за авторством: Довбня, А.Н., та інші
Опубліковано: (2011)

Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2011)

Магнитный контроль при изготовлении сварных баллонов
за авторством: Лобанов, Л.М., та інші
Опубліковано: (2009)

Развитие музыкальных способностей у детей при помощи обучающей системы
за авторством: Загребина, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)

СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов
за авторством: Grigorjantz, V. V., та інші
Опубліковано: (2005)

СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов
за авторством: Григорьянц, В.В., та інші
Опубліковано: (2005)

Новый гибридный ультратвердый материал
за авторством: Шульженко, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Дослідження чинників впливу на одержання розвинутої поверхні конденсату Al–O
за авторством: Сидоренко, С.Б., та інші
Опубліковано: (2017)

Магнитный момент совокупности электромагнитов компенсаторов магнитного поля
за авторством: Пелевин, Д.Е.
Опубліковано: (2005)

Магнитный резонанс ядер ³He в пористых средах
за авторством: Клочков, А.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Исследование подстилающей поверхности при помощи излучения глобальной навигационной спутниковой системы
за авторством: Луценко, В.И., та інші
Опубліковано: (2016)

Осаждение ЭДТА из комплексных растворов тяжелых металлов и его регенерирование
за авторством: Гилене, О., та інші
Опубліковано: (2004)

Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем
за авторством: Пашнев, В.К, та інші
Опубліковано: (2003)

Нелинейный кондактанс квантового контакта, содержащего единичные дефекты
за авторством: Авотина, Е.С., та інші
Опубліковано: (2004)

Модификация сахарозо-содержащего раствора для хранения печени
за авторством: Черкашина, Д.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Дисперсионные характеристики периодического волновода, содержащего слой метаматериала
за авторством: Кусайкин, А.П., та інші
Опубліковано: (2011)

Новый ультратвердый поликристаллический композиционный материал
за авторством: Шульженко, А.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Краниологический материал из могильника Дружное
за авторством: Радочин, В.Ю.
Опубліковано: (2011)

Универсальный материал для малого предпринимательства
за авторством: Адамов, А.Б., та інші
Опубліковано: (2004)

"Инструментальный" материал для атомной техники
за авторством: Панов, В.С., та інші
Опубліковано: (2012)

Содержание и эффективность системы медико-психологической помощи в клинике детской онкологии
за авторством: Пионтковская, О.В.
Опубліковано: (2013)

Магнитный песок: новый взгляд на перспективы практического использования
за авторством: Курников, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2005)

Магнитный радиоспектроскопический комплекс «КВАРК» миллиметрового диапазона длин волн
за авторством: Недух, С.В.
Опубліковано: (2008)

Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V
за авторством: Voronin, V. A., та інші
Опубліковано: (2008)

Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V
за авторством: Воронин, В.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Осаждение из газовой фазы оксидных и металлооксидных покрытий на топливные частицы
за авторством: Патокин, А.П., та інші
Опубліковано: (2008)

О приближении кривых, заданных в параметрическом виде, при помощи сплайн-кривых
за авторством: Вакарчук, С.Б.
Опубліковано: (1983)

Влияние различных видов термического воздействия на структуру сплава системы Al–Cu–Fe, содержащего квазикристаллическую фазу
за авторством: Гиржон, В.В., та інші
Опубліковано: (2018)

Задача Дарбу для дифференциального уравнения, содержащего дробную производную
за авторством: Витюк, А.Н., та інші
Опубліковано: (2005)

Размерный эффект в сопротивлении микроконтакта, содержащего точечные дефекты
за авторством: Колесниченко, Ю.А., та інші
Опубліковано: (1995)