Осаждение двухкомпонентного состава, содержащего магнитный материал, при помощи магнетронной распылительной системы

• Published in: Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології
• Date: 2016
• Main Authors: Бевза, О.М., Сидоренко, С.Б., Мумладзе, А.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2016
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/129956
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Осаждение двухкомпонентного состава, содержащего магнитный материал, при помощи магнетронной распылительной системы / О.М. Бевза, С.Б. Сидоренко, А.В. Мумладзе // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2016. — Т. 14, № 4. — С. 577-589. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

При разработке магнетронной распылительной системы для осаждения двухкомпонентной плёнки заданного состава с одного источника, где один из компонентов — магнитный материал, необходимо решить ряд задач: разработать конструкцию магнетрона, которая позволит решить проблему шунтирования магнитного поля...