Влияние электронного облучения на оптические свойства пленок нанокристаллического SiC на подложках из монокристалла Al₂O₃
Исследована радиационная стойкость пленок нанокристаллического карбида кремния nc-SiC на подложке из монокристалла сапфира в условиях облучения высокоэнергетическими (10 МэВ) электронами в диапазоне флюенса 5∙10¹⁴—2∙10²⁰ см⁻². Установлено, что радиационные изменения в пленках nc-SiC в первую очередь...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2017 |
| Автори: | Семенов, A.В., Лопин, A.В., Борискин, В.Н. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2017
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130089 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние электронного облучения на оптические свойства пленок нанокристаллического SiC на подложках из монокристалла Al₂O₃ / A.В. Семенов, A.В. Лопин, В.Н. Борискин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2017. — № 3. — С. 40-48. — Бібліогр.: 28 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Электрические и топологические свойства пленок оксидов, термически выращенных на подложках InSe
за авторством: Катеринчук, В.Н., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Катеринчук, В.Н., та інші
Опубліковано: (2010)
Газочувствительные элементы на основе пленок SiPcCl₂
за авторством: Алиева, Х.С., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Алиева, Х.С., та інші
Опубліковано: (2010)
Исследование стойкости слоев поликремния в КНИ-структурах при воздействии электронного облучения и сильного магнитного поля
за авторством: Ховерко, Ю.Н.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Ховерко, Ю.Н.
Опубліковано: (2010)
Исследование собственных и примесных точечных дефектов в сапфировых подложках люминесцентными методами
за авторством: Блецкан, Д.И., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Блецкан, Д.И., та інші
Опубліковано: (2006)
Влияние морфологии поверхности подложек ZnSe:Te на их оптические свойства
за авторством: Махний, В.П., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Махний, В.П., та інші
Опубліковано: (2016)
Оптические и магниторезистивные свойства поликристаллических LSMO пленок на кристаллических подложках Al₂O₃ и Gd₃Ga₅O₁₂
за авторством: Тихий, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Тихий, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)
Мощные резисторы нового поколения на основе углеродных (алмазоподобных) пленок
за авторством: Ротнер, С.М., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Ротнер, С.М., та інші
Опубліковано: (2006)
Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов
за авторством: Попов, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Попов, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
за авторством: Алиева, Х.С.
Опубліковано: (2012)
за авторством: Алиева, Х.С.
Опубліковано: (2012)
Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC
за авторством: Лопин, А.В., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Лопин, А.В., та інші
Опубліковано: (2007)
Размерно-геометрические параметры моделей микроструктуры толстых резистивных пленок
за авторством: Стерхова, А.В.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Стерхова, А.В.
Опубліковано: (2002)
Фотолюминесцентный метод исследования пластической деформации на границе раздела «SiO₂—Si»
за авторством: Кулинич, О.А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Кулинич, О.А., та інші
Опубліковано: (2012)
Влияние облучения электронами на поперечную проводимость монокристалла YBa₂Cu₃O₇–δ
за авторством: Хаджай, Г.Я., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Хаджай, Г.Я., та інші
Опубліковано: (2019)
Взрывная кристаллизация тонких пленок полупроводников при облучении y-квантами
за авторством: Храмов, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Храмов, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2003)
Методика определения параметров структурной и кластерной моделей толстых резистивных пленок
за авторством: Стерхова, А.В., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Стерхова, А.В., та інші
Опубліковано: (2001)
Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2009)
Влияние облучения на оптические свойства гранитных пород Украины
за авторством: Неклюдов, И.М., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Неклюдов, И.М., та інші
Опубліковано: (2006)
Фотохромная чувствительность модифицированных пленок бактериородопсина для устройств молекулярной электроники
за авторством: Адамов, Г.Е., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Адамов, Г.Е., та інші
Опубліковано: (2005)
Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
за авторством: Венгер, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Венгер, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)
Расчет частотной зависимости диэлектрических характеристик тонких пленок системы HfO₂—Nd₂O₃
за авторством: Казаков, А.И., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Казаков, А.И., та інші
Опубліковано: (2003)
Строение и высокотемпературная сверхпроводимость пленок Bi₂Sr₂CaCu₂Oy
за авторством: Самойлович, М.И., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Самойлович, М.И., та інші
Опубліковано: (2007)
Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
за авторством: Venger, E. F., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Venger, E. F., та інші
Опубліковано: (2014)
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
Автоэмиссионные свойства острийных катодов на основе пленок графена на SiC
за авторством: Конакова, Р.В., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Конакова, Р.В., та інші
Опубліковано: (2016)
Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2010)
Влияние электронного облучения на наноструктурное состояние деформированного циркония
за авторством: Довбня, А.Н., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Довбня, А.Н., та інші
Опубліковано: (2012)
Влияние электронного облучения на наноструктурное состояние деформированного циркония
за авторством: Довбня, А.Н., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Довбня, А.Н., та інші
Опубліковано: (2012)
Эффекты переключения и памяти в МОП-структурах Al-SiO₂-Si
за авторством: Искендер-заде, З.А., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Искендер-заде, З.А., та інші
Опубліковано: (2004)
Элементы твердотельной электроники на основе КНИ-структур и нитевидных кристаллов Si для криогенных температур
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)
Электрические и топологические свойства пленок оксидов, термически выращенных на подложках InSe
за авторством: Katerynchuk, V. M., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Katerynchuk, V. M., та інші
Опубліковано: (2010)
Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света
за авторством: Барчук, О.И., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Барчук, О.И., та інші
Опубліковано: (2009)
Воздействие электронного облучения на скачкообразную деформацию сплава Al-3%Mg
за авторством: Дубинко, В.И., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Дубинко, В.И., та інші
Опубліковано: (2010)
Влияние электронного облучения на структуру и свойства природных кварцитов Украины
за авторством: Шевякова, Э.П., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Шевякова, Э.П., та інші
Опубліковано: (2010)
Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода
за авторством: Изотов, А.И., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Изотов, А.И., та інші
Опубліковано: (2017)
Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках
за авторством: Косско, И.А., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Косско, И.А., та інші
Опубліковано: (2006)
Пластическая деформация алюминия в режиме непрерывного электронного облучения
за авторством: Дубинко, В.И., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Дубинко, В.И., та інші
Опубліковано: (2010)
Оптические и механические свойства плёнок TbSb
за авторством: Джабуа, З., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Джабуа, З., та інші
Опубліковано: (2017)
Влияние потенциала смещения на подложке на структурные и механические свойства пленок a-SiC:H
за авторством: Иващенко, В.И., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Иващенко, В.И., та інші
Опубліковано: (2010)
Влияние пластической деформации на анизотропию электропроводности трансформаторной стали
за авторством: Усов, В.В.
Опубліковано: (2001)
за авторством: Усов, В.В.
Опубліковано: (2001)
Схожі ресурси
-
Электрические и топологические свойства пленок оксидов, термически выращенных на подложках InSe
за авторством: Катеринчук, В.Н., та інші
Опубліковано: (2010) -
Газочувствительные элементы на основе пленок SiPcCl₂
за авторством: Алиева, Х.С., та інші
Опубліковано: (2010) -
Исследование стойкости слоев поликремния в КНИ-структурах при воздействии электронного облучения и сильного магнитного поля
за авторством: Ховерко, Ю.Н.
Опубліковано: (2010) -
Исследование собственных и примесных точечных дефектов в сапфировых подложках люминесцентными методами
за авторством: Блецкан, Д.И., та інші
Опубліковано: (2006) -
Влияние морфологии поверхности подложек ZnSe:Te на их оптические свойства
за авторством: Махний, В.П., та інші
Опубліковано: (2016)