Buchumschlag

Влияние электронного облучения на оптические свойства пленок нанокристаллического SiC на подложках из монокристалла Al₂O₃

Исследована радиационная стойкость пленок нанокристаллического карбида кремния nc-SiC на подложке из монокристалла сапфира в условиях облучения высокоэнергетическими (10 МэВ) электронами в диапазоне флюенса 5∙10¹⁴—2∙10²⁰ см⁻². Установлено, что радиационные изменения в пленках nc-SiC в первую очередь...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:	2017
Hauptverfasser:	Семенов, A.В., Лопин, A.В., Борискин, В.Н.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2017
Schlagworte:	Материалы электроники
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130089
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Влияние электронного облучения на оптические свойства пленок нанокристаллического SiC на подложках из монокристалла Al₂O₃ / A.В. Семенов, A.В. Лопин, В.Н. Борискин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2017. — № 3. — С. 40-48. — Бібліогр.: 28 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Электрические и топологические свойства пленок оксидов, термически выращенных на подложках InSe
von: Катеринчук, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Газочувствительные элементы на основе пленок SiPcCl₂
von: Алиева, Х.С., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Исследование стойкости слоев поликремния в КНИ-структурах при воздействии электронного облучения и сильного магнитного поля
von: Ховерко, Ю.Н.
Veröffentlicht: (2010)

Исследование собственных и примесных точечных дефектов в сапфировых подложках люминесцентными методами
von: Блецкан, Д.И., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Влияние морфологии поверхности подложек ZnSe:Te на их оптические свойства
von: Махний, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Оптические и магниторезистивные свойства поликристаллических LSMO пленок на кристаллических подложках Al₂O₃ и Gd₃Ga₅O₁₂
von: Тихий, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Мощные резисторы нового поколения на основе углеродных (алмазоподобных) пленок
von: Ротнер, С.М., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов
von: Попов, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
von: Алиева, Х.С.
Veröffentlicht: (2012)

Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC
von: Лопин, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Размерно-геометрические параметры моделей микроструктуры толстых резистивных пленок
von: Стерхова, А.В.
Veröffentlicht: (2002)

Фотолюминесцентный метод исследования пластической деформации на границе раздела «SiO₂—Si»
von: Кулинич, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Влияние облучения электронами на поперечную проводимость монокристалла YBa₂Cu₃O₇–δ
von: Хаджай, Г.Я., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Взрывная кристаллизация тонких пленок полупроводников при облучении y-квантами
von: Храмов, Е.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Методика определения параметров структурной и кластерной моделей толстых резистивных пленок
von: Стерхова, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
von: Иванчиков, А.Э., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Влияние облучения на оптические свойства гранитных пород Украины
von: Неклюдов, И.М., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Фотохромная чувствительность модифицированных пленок бактериородопсина для устройств молекулярной электроники
von: Адамов, Г.Е., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
von: Венгер, Е.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Расчет частотной зависимости диэлектрических характеристик тонких пленок системы HfO₂—Nd₂O₃
von: Казаков, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Строение и высокотемпературная сверхпроводимость пленок Bi₂Sr₂CaCu₂Oy
von: Самойлович, М.И., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
von: Venger, E. F., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
von: Наливайко, О.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Автоэмиссионные свойства острийных катодов на основе пленок графена на SiC
von: Конакова, Р.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Влияние электронного облучения на наноструктурное состояние деформированного циркония
von: Довбня, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Влияние электронного облучения на наноструктурное состояние деформированного циркония
von: Довбня, А.Н., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Эффекты переключения и памяти в МОП-структурах Al-SiO₂-Si
von: Искендер-заде, З.А., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Элементы твердотельной электроники на основе КНИ-структур и нитевидных кристаллов Si для криогенных температур
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Электрические и топологические свойства пленок оксидов, термически выращенных на подложках InSe
von: Katerynchuk, V. M., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света
von: Барчук, О.И., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Воздействие электронного облучения на скачкообразную деформацию сплава Al-3%Mg
von: Дубинко, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Влияние электронного облучения на структуру и свойства природных кварцитов Украины
von: Шевякова, Э.П., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода
von: Изотов, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках
von: Косско, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Пластическая деформация алюминия в режиме непрерывного электронного облучения
von: Дубинко, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Оптические и механические свойства плёнок TbSb
von: Джабуа, З., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Влияние потенциала смещения на подложке на структурные и механические свойства пленок a-SiC:H
von: Иващенко, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Влияние пластической деформации на анизотропию электропроводности трансформаторной стали
von: Усов, В.В.
Veröffentlicht: (2001)