Гладковский, В., & Федорович, О. (2017). Исследование влияни кислорода на скорость и анизотропию глубинного травления кремния в плазмохимическом реакторе с управляемым магнитним полем. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.
Chicago Style (17th ed.) CitationГладковский, В.В, and О.А Федорович. "Исследование влияни кислорода на скорость и анизотропию глубинного травления кремния в плазмохимическом реакторе с управляемым магнитним полем." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2017.
MLA (8th ed.) CitationГладковский, В.В, and О.А Федорович. "Исследование влияни кислорода на скорость и анизотропию глубинного травления кремния в плазмохимическом реакторе с управляемым магнитним полем." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2017.