Buchumschlag

Исследование влияни кислорода на скорость и анизотропию глубинного травления кремния в плазмохимическом реакторе с управляемым магнитним полем

Представлены результаты исследования влияния количества кислорода в смеси с гексафторидом серы на скорость и анизотропию травления кремния в плазмохимическом реакторе с управляемым магнитным полем. Процесс травления проходил при давлении в рабочей камере (0,3—2,0)∙10⁻³ Торр, энергия химически активн...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:	2017
Hauptverfasser:	Гладковский, В.В., Федорович, О.А.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2017
Schlagworte:	Материалы электроники
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130099
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Исследование влияни кислорода на скорость и анизотропию глубинного травления кремния в плазмохимическом реакторе с управляемым магнитним полем / В.В. Гладковский , О.А. Федорович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2017. — № 4-5. — С. 40-44. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
von: Гладковский, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
von: Hladkovskiy, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Автоматизированная система оперативного контроля процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда
von: Дудин, С.В.
Veröffentlicht: (2006)

Влияние термического окисления на анизотропию электропроводности и фотопроводимости наноструктурированного кремния
von: Форш, П.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
von: Федорович, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Влияние пластической деформации на анизотропию электропроводности трансформаторной стали
von: Усов, В.В.
Veröffentlicht: (2001)

Влияниe загрязнений воздушного бассейна Украины на динамику различных заболеваний человека
von: Дикий, Н.П.
Veröffentlicht: (1999)

Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
von: Iatsunskyi, I. R.
Veröffentlicht: (2013)

Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
von: Голишников, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
von: Яцунский, И.Р.
Veröffentlicht: (2013)

Фрактальные структуры и перколяция в ядерном реакторе
von: Рязанов, В.В.
Veröffentlicht: (2014)

ПРОЦЕССЫ В RLC-ЦЕПИ СИНУСОИДАЛЬНОГО НАПРЯЖЕНИЯ С УПРАВЛЯЕМЫМ РЕВЕРСИРОВАНИЕМ ЕМКОСТИ
von: Шидловская, Н.А.
Veröffentlicht: (2010)

ИССЛЕДОВАНИЕ RLC-ЦЕПИ СИНУСОИДАЛЬНОГО НАПРЯЖЕНИЯ С УПРАВЛЯЕМЫМ РЕВЕРСИРОВАНИЕМ ИНДУКТИВНОГО ЭЛЕМЕНТА
von: Шидловская, Н.А.
Veröffentlicht: (2011)

Исследование RLC-цепи синусоидального напряжения с управляемым реверсированием индуктивного элемента
von: Шидловская, Н.А.
Veröffentlicht: (2011)

Тенденции развития механизированной сварки с управляемым переносом электродного металла (Обзор)
von: Лебедев, В.А.
Veröffentlicht: (2010)

Процессы в RLC-цепи синусоидального напряжения с управляемым реверсированием емкости
von: Шидловская, Н.А.
Veröffentlicht: (2011)

Влияниe химических модификаторов на метрологические характеристики атомно-абсорбционного определения свинца и кадмия в почвах
von: Луговой, К.С., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Получение периодических слоев GaAs методом электрохимического травления
von: Дяденчук, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Кинетика распада озона в реакторе для разложения шин
von: Голота, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Моделирование механической колебательной системы с управляемым по ускорению фрикционным электромагнитным демпфером
von: Плахтиенко, Н.П.
Veröffentlicht: (2011)

Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
von: Golishnikov, А. А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Взаимовлияние фаз на деформационную анизотропию характеристик прочности и сопротивляемости разрушению в титановых сплавах
von: Нижник, С.Б., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Влияние наводороживания на анизотропию механических свойств твэльных труб из сплава Zr-1%Nb
von: Стоев, П.И., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Влияние наводороживания на анизотропию механических свойств твэльных труб из сплава Zr-1%Nb
von: Стоев, П.И., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок
von: Semyonova, S. E., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Теплоперенос в монолитном каталитическом реакторе (МКР) при окислении СО
von: Снапкаускене, В., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Нейтронные поля в подкритическом реакторе, генерируемом пучком ускоренных протонов
von: Гусев, Е.В., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления
von: Болтовец, Н.С., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Устойчивость и бифуркации стационарных режимов движения модели колесного экипажа с управляемым колесным модулем
von: Вельмагина, Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников
von: Дудин, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Физико-аналитическая модель нагрева газа в проточном термохимическом реакторе I
von: Широков, Б.М., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Физико-аналитическая модель нагрева газа в проточном термохимическом реакторе II
von: Широков, Б.М., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Прогнозирование глубинного строения нефтегазоносных акваторий методом марковской гипсотомографии
von: Черников, А.Г., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей
von: Polozov, B. P., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Распознавание теплогидравлических аномалий в реакторе ВВЭР по спектральным параметрам реакторных шумов
von: Шараевский, И.Г.
Veröffentlicht: (2009)

Совмещенное гидродинамическое и тепловое воздействие на металлический расплав в газлифтном реакторе
von: Курпас, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Атлас глубинного строения Антарктики по данным метода гравиметрической томографии
von: Греку, Р.Х., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Новые определения глубинного теплового потока Земли в Карпатском регионе
von: Гордиенко, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Особенности методики акустических зондирований глубинного строения массива горных пород
von: Яланский, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Среднеквадратическая скорость сходимости ортогональных рядов
von: Степанец, А.И.
Veröffentlicht: (1987)