Зображення обкладинки

Исследование влияни кислорода на скорость и анизотропию глубинного травления кремния в плазмохимическом реакторе с управляемым магнитним полем

Представлены результаты исследования влияния количества кислорода в смеси с гексафторидом серы на скорость и анизотропию травления кремния в плазмохимическом реакторе с управляемым магнитным полем. Процесс травления проходил при давлении в рабочей камере (0,3—2,0)∙10⁻³ Торр, энергия химически активн...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:	2017
Автори:	Гладковский, В.В., Федорович, О.А.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2017
Теми:	Материалы электроники
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130099
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Исследование влияни кислорода на скорость и анизотропию глубинного травления кремния в плазмохимическом реакторе с управляемым магнитним полем / В.В. Гладковский , О.А. Федорович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2017. — № 4-5. — С. 40-44. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
за авторством: Гладковский, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
за авторством: Hladkovskiy, V. V., та інші
Опубліковано: (2014)

Автоматизированная система оперативного контроля процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда
за авторством: Дудин, С.В.
Опубліковано: (2006)

Влияние термического окисления на анизотропию электропроводности и фотопроводимости наноструктурированного кремния
за авторством: Форш, П.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Влияние пластической деформации на анизотропию электропроводности трансформаторной стали
за авторством: Усов, В.В.
Опубліковано: (2001)

Влияниe загрязнений воздушного бассейна Украины на динамику различных заболеваний человека
за авторством: Дикий, Н.П.
Опубліковано: (1999)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Федорович, О.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)

Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
за авторством: Голишников, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Яцунский, И.Р.
Опубліковано: (2013)

Фрактальные структуры и перколяция в ядерном реакторе
за авторством: Рязанов, В.В.
Опубліковано: (2014)

Влияниe химических модификаторов на метрологические характеристики атомно-абсорбционного определения свинца и кадмия в почвах
за авторством: Луговой, К.С., та інші
Опубліковано: (2007)

Получение периодических слоев GaAs методом электрохимического травления
за авторством: Дяденчук, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)

ПРОЦЕССЫ В RLC-ЦЕПИ СИНУСОИДАЛЬНОГО НАПРЯЖЕНИЯ С УПРАВЛЯЕМЫМ РЕВЕРСИРОВАНИЕМ ЕМКОСТИ
за авторством: Шидловская, Н.А.
Опубліковано: (2010)

ИССЛЕДОВАНИЕ RLC-ЦЕПИ СИНУСОИДАЛЬНОГО НАПРЯЖЕНИЯ С УПРАВЛЯЕМЫМ РЕВЕРСИРОВАНИЕМ ИНДУКТИВНОГО ЭЛЕМЕНТА
за авторством: Шидловская, Н.А.
Опубліковано: (2011)

Исследование RLC-цепи синусоидального напряжения с управляемым реверсированием индуктивного элемента
за авторством: Шидловская, Н.А.
Опубліковано: (2011)

Тенденции развития механизированной сварки с управляемым переносом электродного металла (Обзор)
за авторством: Лебедев, В.А.
Опубліковано: (2010)

Процессы в RLC-цепи синусоидального напряжения с управляемым реверсированием емкости
за авторством: Шидловская, Н.А.
Опубліковано: (2011)

ИССЛЕДОВАНИЕ RLC-ЦЕПИ СИНУСОИДАЛЬНОГО НАПРЯЖЕНИЯ С УПРАВЛЯЕМЫМ РЕВЕРСИРОВАНИЕМ ИНДУКТИВНОГО ЭЛЕМЕНТА
за авторством: Шидловская, Н.А.
Опубліковано: (2011)

ПРОЦЕССЫ В RLC-ЦЕПИ СИНУСОИДАЛЬНОГО НАПРЯЖЕНИЯ С УПРАВЛЯЕМЫМ РЕВЕРСИРОВАНИЕМ ЕМКОСТИ
за авторством: Шидловская, Н.А.
Опубліковано: (2010)

Кинетика распада озона в реакторе для разложения шин
за авторством: Голота, В.И., та інші
Опубліковано: (2010)

Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
за авторством: Golishnikov, А. А., та інші
Опубліковано: (2014)

Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок
за авторством: Semyonova, S. E., та інші
Опубліковано: (2006)

Моделирование механической колебательной системы с управляемым по ускорению фрикционным электромагнитным демпфером
за авторством: Плахтиенко, Н.П.
Опубліковано: (2011)

Взаимовлияние фаз на деформационную анизотропию характеристик прочности и сопротивляемости разрушению в титановых сплавах
за авторством: Нижник, С.Б., та інші
Опубліковано: (2014)

Влияние наводороживания на анизотропию механических свойств твэльных труб из сплава Zr-1%Nb
за авторством: Стоев, П.И., та інші
Опубліковано: (2016)

Влияние наводороживания на анизотропию механических свойств твэльных труб из сплава Zr-1%Nb
за авторством: Стоев, П.И., та інші
Опубліковано: (2016)

Теплоперенос в монолитном каталитическом реакторе (МКР) при окислении СО
за авторством: Снапкаускене, В., та інші
Опубліковано: (2005)

Нейтронные поля в подкритическом реакторе, генерируемом пучком ускоренных протонов
за авторством: Гусев, Е.В., та інші
Опубліковано: (2002)

Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления
за авторством: Болтовец, Н.С., та інші
Опубліковано: (2009)

Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников
за авторством: Дудин, С.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Физико-аналитическая модель нагрева газа в проточном термохимическом реакторе I
за авторством: Широков, Б.М., та інші
Опубліковано: (2006)

Физико-аналитическая модель нагрева газа в проточном термохимическом реакторе II
за авторством: Широков, Б.М., та інші
Опубліковано: (2006)

Прогнозирование глубинного строения нефтегазоносных акваторий методом марковской гипсотомографии
за авторством: Черников, А.Г., та інші
Опубліковано: (2011)

Устойчивость и бифуркации стационарных режимов движения модели колесного экипажа с управляемым колесным модулем
за авторством: Вельмагина, Н.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Polozov, B. P., та інші
Опубліковано: (2006)

Распознавание теплогидравлических аномалий в реакторе ВВЭР по спектральным параметрам реакторных шумов
за авторством: Шараевский, И.Г.
Опубліковано: (2009)

Совмещенное гидродинамическое и тепловое воздействие на металлический расплав в газлифтном реакторе
за авторством: Курпас, В.И., та інші
Опубліковано: (2010)

Атлас глубинного строения Антарктики по данным метода гравиметрической томографии
за авторством: Греку, Р.Х., та інші
Опубліковано: (2009)

Новые определения глубинного теплового потока Земли в Карпатском регионе
за авторством: Гордиенко, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)