Перколяційний перехід та оптичні властивості тонких плівок золота
Експериментально досліджено поглинання світла у видимому і близькому інфрачервоному діяпазонах довжин хвиль (300–2500 нм) та його зв’язок із перколяційним переходом у тонких плівках золота різних товщин (2–20 нм), а також вплив на ці ефекти підшарів ґерманію масовою товщиною у 0,5 нм. Перколяційний...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Datum: | 2017 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainian |
| Veröffentlicht: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2017
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130320 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Перколяційний перехід та оптичні властивості тонких плівок золота / Р.І. Бігун, З.В. Стасюк, О.В. Строганов, Д.С. Леонов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 6. — С. 743-752. — Бібліогр.: 12 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-130320 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Бігун, Р.І. Стасюк, З.В. Строганов, О.В. Леонов, Д.С. 2018-02-10T15:15:03Z 2018-02-10T15:15:03Z 2017 Перколяційний перехід та оптичні властивості тонких плівок золота / Р.І. Бігун, З.В. Стасюк, О.В. Строганов, Д.С. Леонов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 6. — С. 743-752. — Бібліогр.: 12 назв. — укр. 1024-1809 PACS: 64.60.ah, 73.25.+i, 73.50.Mx, 73.61.At, 78.20.Ci, 78.66.Bz, 81.15.Kk DOI: doi.org/10.15407/mfint.39.06.0743 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130320 Експериментально досліджено поглинання світла у видимому і близькому інфрачервоному діяпазонах довжин хвиль (300–2500 нм) та його зв’язок із перколяційним переходом у тонких плівках золота різних товщин (2–20 нм), а також вплив на ці ефекти підшарів ґерманію масовою товщиною у 0,5 нм. Перколяційний перехід у плівках золота пов’язаний із особливостями механізмів росту та режимів формування плівок на аморфному скляному підложжі. Показано, що попередньо нанесені на скляне підложжя підшари ґерманію зменшують порогову товщину перколяційного переходу в плівках і підвищують їхню поглинальну здатність у порівнянні з аналогічними плівками, сформованими на чистій поверхні скла. Підвищення поглинальної здатности плівок, нанесених на поверхню підшару ґерманію, зумовлено зменшенням середніх лінійних розмірів кристалітів у таких плівках у порівнянні з плівками на чистій поверхні скла і, таким чином, збільшенням кількости розсіювальних центрів на одиниці площі поверхні. Экспериментально исследованы поглощение света в видимом и ближнем инфракрасном диапазонах длин волн (300–2500 нм) и его связь с перколяционным переходом в тонких плёнках золота различных толщин (2–20 нм), а также влияние на эти эффекты подслоёв германия массовой толщиной 0,5 нм. Перколяционный переход в плёнках золота связан с особенностями механизмов роста и режимов формирования плёнок на аморфной стеклянной подложке. Показано, что предварительно нанесённые на стеклянную подложку подслои германия уменьшают пороговую толщину перколяционного перехода плёнок золота и увеличивают их поглощающую способность по сравнению с аналогичными плёнками, сформированными на чистой поверхности стекла. Рост поглощающей способности плёнок, нанесённых на поверхность подслоя германия, обусловлен уменьшением средних линейных размеров кристаллитов в таких плёнках по сравнению с плёнками на чистой поверхности стекла и, таким образом, увеличением количества рассеивающих центров на единице площади поверхности. Optical absorption in the visible and near-infrared wavelength ranges (300–2500 nm) and its connection with percolation transition in gold thin films of different thicknesses (2–20 nm) are experimentally investigated as well as the influence of germanium sublayers with thickness of 0.5 nm on these effects. As shown, the percolation in thin films depends on growth mechanisms and modes of films’ formation on the amorphous glass substrate. The predeposition of germanium sublayers on the glass substrate reduces the threshold thickness of percolation and increases absorption capacity of investigated films in comparison with similar ones deposited on the clean glass surface. Such a behaviour of films deposited on germanium sublayers is caused by the decrease of crystallites’ average linear sizes and, therefore, by the increase of scattering-centres’ concentration on the substrate surface in contrast to films deposited on the clean glass substrate. uk Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Электронные структура и свойства Перколяційний перехід та оптичні властивості тонких плівок золота Перколяционный переход и оптические свойства тонких плёнок золота Percolation Transition and Optical Properties of Thin Films of Gold Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Перколяційний перехід та оптичні властивості тонких плівок золота |
| spellingShingle |
Перколяційний перехід та оптичні властивості тонких плівок золота Бігун, Р.І. Стасюк, З.В. Строганов, О.В. Леонов, Д.С. Электронные структура и свойства |
| title_short |
Перколяційний перехід та оптичні властивості тонких плівок золота |
| title_full |
Перколяційний перехід та оптичні властивості тонких плівок золота |
| title_fullStr |
Перколяційний перехід та оптичні властивості тонких плівок золота |
| title_full_unstemmed |
Перколяційний перехід та оптичні властивості тонких плівок золота |
| title_sort |
перколяційний перехід та оптичні властивості тонких плівок золота |
| author |
Бігун, Р.І. Стасюк, З.В. Строганов, О.В. Леонов, Д.С. |
| author_facet |
Бігун, Р.І. Стасюк, З.В. Строганов, О.В. Леонов, Д.С. |
| topic |
Электронные структура и свойства |
| topic_facet |
Электронные структура и свойства |
| publishDate |
2017 |
| language |
Ukrainian |
| container_title |
Металлофизика и новейшие технологии |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Перколяционный переход и оптические свойства тонких плёнок золота Percolation Transition and Optical Properties of Thin Films of Gold |
| description |
Експериментально досліджено поглинання світла у видимому і близькому інфрачервоному діяпазонах довжин хвиль (300–2500 нм) та його зв’язок із перколяційним переходом у тонких плівках золота різних товщин (2–20 нм), а також вплив на ці ефекти підшарів ґерманію масовою товщиною у 0,5 нм. Перколяційний перехід у плівках золота пов’язаний із особливостями механізмів росту та режимів формування плівок на аморфному скляному підложжі. Показано, що попередньо нанесені на скляне підложжя підшари ґерманію зменшують порогову товщину перколяційного переходу в плівках і підвищують їхню поглинальну здатність у порівнянні з аналогічними плівками, сформованими на чистій поверхні скла. Підвищення поглинальної здатности плівок, нанесених на поверхню підшару ґерманію, зумовлено зменшенням середніх лінійних розмірів кристалітів у таких плівках у порівнянні з плівками на чистій поверхні скла і, таким чином, збільшенням кількости розсіювальних центрів на одиниці площі поверхні.
Экспериментально исследованы поглощение света в видимом и ближнем инфракрасном диапазонах длин волн (300–2500 нм) и его связь с перколяционным переходом в тонких плёнках золота различных толщин (2–20 нм), а также влияние на эти эффекты подслоёв германия массовой толщиной 0,5 нм. Перколяционный переход в плёнках золота связан с особенностями механизмов роста и режимов формирования плёнок на аморфной стеклянной подложке. Показано, что предварительно нанесённые на стеклянную подложку подслои германия уменьшают пороговую толщину перколяционного перехода плёнок золота и увеличивают их поглощающую способность по сравнению с аналогичными плёнками, сформированными на чистой поверхности стекла. Рост поглощающей способности плёнок, нанесённых на поверхность подслоя германия, обусловлен уменьшением средних линейных размеров кристаллитов в таких плёнках по сравнению с плёнками на чистой поверхности стекла и, таким образом, увеличением количества рассеивающих центров на единице площади поверхности.
Optical absorption in the visible and near-infrared wavelength ranges (300–2500 nm) and its connection with percolation transition in gold thin films of different thicknesses (2–20 nm) are experimentally investigated as well as the influence of germanium sublayers with thickness of 0.5 nm on these effects. As shown, the percolation in thin films depends on growth mechanisms and modes of films’ formation on the amorphous glass substrate. The predeposition of germanium sublayers on the glass substrate reduces the threshold thickness of percolation and increases absorption capacity of investigated films in comparison with similar ones deposited on the clean glass surface. Such a behaviour of films deposited on germanium sublayers is caused by the decrease of crystallites’ average linear sizes and, therefore, by the increase of scattering-centres’ concentration on the substrate surface in contrast to films deposited on the clean glass substrate.
|
| issn |
1024-1809 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130320 |
| citation_txt |
Перколяційний перехід та оптичні властивості тонких плівок золота / Р.І. Бігун, З.В. Стасюк, О.В. Строганов, Д.С. Леонов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 6. — С. 743-752. — Бібліогр.: 12 назв. — укр. |
| work_keys_str_mv |
AT bígunrí perkolâcíiniiperehídtaoptičnívlastivostítonkihplívokzolota AT stasûkzv perkolâcíiniiperehídtaoptičnívlastivostítonkihplívokzolota AT stroganovov perkolâcíiniiperehídtaoptičnívlastivostítonkihplívokzolota AT leonovds perkolâcíiniiperehídtaoptičnívlastivostítonkihplívokzolota AT bígunrí perkolâcionnyiperehodioptičeskiesvoistvatonkihplenokzolota AT stasûkzv perkolâcionnyiperehodioptičeskiesvoistvatonkihplenokzolota AT stroganovov perkolâcionnyiperehodioptičeskiesvoistvatonkihplenokzolota AT leonovds perkolâcionnyiperehodioptičeskiesvoistvatonkihplenokzolota AT bígunrí percolationtransitionandopticalpropertiesofthinfilmsofgold AT stasûkzv percolationtransitionandopticalpropertiesofthinfilmsofgold AT stroganovov percolationtransitionandopticalpropertiesofthinfilmsofgold AT leonovds percolationtransitionandopticalpropertiesofthinfilmsofgold |
| first_indexed |
2025-11-24T04:29:01Z |
| last_indexed |
2025-11-24T04:29:01Z |
| _version_ |
1850841483686445056 |
| fulltext |
PACS numbers: 64.60.ah, 73.25.+i, 73.50.Mx, 73.61.At, 78.20.Ci, 78.66.Bz, 81.15.Kk
Перколяційний перехід та оптичні властивості
тонких плівок золота
Р. І. Бігун, З. В. Стасюк, О. В. Строганов, Д. С. Леонов*
Львівський національний університет імені Івана Франка,
вул. Університетська, 1,
79000 Львів, Україна
*Технічний центр НАН України,
вул. Покровська, 13,
04070 Київ, Україна1
Експериментально досліджено поглинання світла у видимому і близько-
му інфрачервоному діяпазонах довжин хвиль (300–2500 нм) та його
зв’язок із перколяційним переходом у тонких плівках золота різних тов-
щин (2–20 нм), а також вплив на ці ефекти підшарів ґерманію масовою
товщиною у 0,5 нм. Перколяційний перехід у плівках золота пов’язаний
із особливостями механізмів росту та режимів формування плівок на амо-
рфному скляному підложжі. Показано, що попередньо нанесені на скляне
підложжя підшари ґерманію зменшують порогову товщину перколяцій-
ного переходу в плівках і підвищують їхню поглинальну здатність у порі-
внянні з аналогічними плівками, сформованими на чистій поверхні скла.
Підвищення поглинальної здатности плівок, нанесених на поверхню пі-
дшару ґерманію, зумовлено зменшенням середніх лінійних розмірів кри-
сталітів у таких плівках у порівнянні з плівками на чистій поверхні скла
і, таким чином, збільшенням кількости розсіювальних центрів на одини-
ці площі поверхні.
Ключові слова: тонкі металеві плівки, напівпровідникові підшари суба-
томової товщини, поглинання світла, перколяція.
Corresponding authors: Roman Ivanovych Bihun
E-mail: bihun28@ukr.net
Ivan Franko National University of Lviv, 1 Universytetska Str., UA-79000 Lviv, Ukraine
*Technical Centre, N.A.S. of Ukraine, 13 Pokrovs’ka Str., UA-04070 Kyiv, Ukraine
Please cite this article as: R. I. Bihun, Z. V. Stasyuk, O. V. Stroganov, and D. S. Leonov,
Percolation Transition and Optical Properties of Thin Films of Gold, Metallofiz.
Noveishie Tekhnol., 39, No. 6: 743–752 (2017) (in Ukrainian),
DOI: 10.15407/mfint.39.06.0743.
Ìеталлоôиç. новейøие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol.
2017, т. 39, № 6, сс. 743–752 / DOI: 10.15407/mfint.39.06.0743
Оттиски доступнû непосредственно от издателя
Ôотокопирование разрешено только
в соответствии с лицензией
2017 ÈÌÔ (Èнститут металлофизики
им. Ã. В. Êурдюмова ÍÀÍ Óкраинû)
Íапечатано в Óкраине.
743
mailto:bihun28@ukr.net
744 Р. І. БІÃÓÍ, З. В. СТÀСЮÊ, О. В. СТРОÃÀÍОВ, Д. С. ЛЕОÍОВ
Optical absorption in the visible and near-infrared wavelength ranges (300–
2500 nm) and its connection with percolation transition in gold thin films of
different thicknesses (2–20 nm) are experimentally investigated as well as
the influence of germanium sublayers with thickness of 0.5 nm on these ef-
fects. As shown, the percolation in thin films depends on growth mechanisms
and modes of films’ formation on the amorphous glass substrate. The pre-
deposition of germanium sublayers on the glass substrate reduces the thresh-
old thickness of percolation and increases absorption capacity of investigated
films in comparison with similar ones deposited on the clean glass surface.
Such a behaviour of films deposited on germanium sublayers is caused by the
decrease of crystallites’ average linear sizes and, therefore, by the increase of
scattering-centres’ concentration on the substrate surface in contrast to
films deposited on the clean glass substrate.
Key words: metal thin film, semiconductor sublayers of subatomic thickness,
optical absorption, percolation.
Экспериментально исследованû поглощение света в видимом и ближнем
инфракрасном диапазонах длин волн (300–2500 нм) и его связь с перко-
ляционнûм переходом в тонких плёнках золота различнûх толщин (2–20
нм), а также влияние на эти эффектû подслоёв германия массовой тол-
щиной 0,5 нм. Перколяционнûй переход в плёнках золота связан с осо-
бенностями механизмов роста и режимов формирования плёнок на
аморфной стеклянной подложке. Показано, что предварительно нанесён-
нûе на стеклянную подложку подслои германия уменьшают пороговую
толщину перколяционного перехода плёнок золота и увеличивают их по-
глощающую способность по сравнению с аналогичнûми плёнками, сфор-
мированнûми на чистой поверхности стекла. Рост поглощающей способ-
ности плёнок, нанесённûх на поверхность подслоя германия, обусловлен
уменьшением средних линейнûх размеров кристаллитов в таких плёнках
по сравнению с плёнками на чистой поверхности стекла и, таким образом,
увеличением количества рассеивающих центров на единице площади по-
верхности.
Ключевые слова: тонкие металлические плёнки, полупроводниковûе
подслои субатомной толщинû, поглощение света, перколяция.
(Отримано 31 травня 2017 р.)
1. ВСТУП
Плівки металів товщиною у декілька нанометрів мають перспекти-
ви використання в сучасній мікро- та наноелектроніці в якості омі-
чних провідників з високим коефіцієнтом прозорости у видимому й
інфрачервоному діяпазонах довжин світлових хвиль [1]. Тому дос-
лідження електричних властивостей ультратонких шарів та ви-
вчення їхньої взаємодії з електромагнетним випроміненням є ціка-
вим з точки зору їхнього подальшого можливого використання у
техніці. Ó цьому плані важливою проблемою є встановлення особ-
ПЕРÊОЛЯЦІЙÍÈЙ ПЕРЕХІД ТÀ ОПТÈЧÍІ ВЛÀСТÈВОСТІ ПЛІВОÊ ЗОЛОТÀ 745
ливостей зміни електричних та оптичних параметрів плівки в про-
цесі її переходу від острівцевої будови до суцільного шару в міру
зростання її товщини. Відомо, що в області цього переходу плівка
проявляє аномальні оптичні й електричні властивості, що обумов-
лено змінами механізмів релаксації носіїв струму. Тому важливою
є задача встановлення деякої критичної товщини шару dc, при якій
проявляється згаданий перехід. Визначення величини dc можливе у
рамках перколяційного моделю [2, 3]. З літератури відомо, що за-
вдяки використанню підшарів поверхневоактивних слабопровід-
них речовин (Ge, Si, Sb) можна керувати величиною dc плівок конк-
ретного металу. Зокрема, для плівок золота зміни величини dc дося-
гались при використанні підшарів ґерманію [4].
Ó даній роботі з метою встановлення критичної товщини перко-
ляційного переходу dc досліджено спектри пропускання та відби-
вання у видимому та близькому інфрачервоному діяпазонах дов-
жин хвиль (300–2500 нм) тонких шарів золота різної товщини, оса-
джених на чисту скляну поверхню та поверхню, попередньо покри-
ту підшаром ґерманію товщиною 0,5 нм. Детально розглянуто ко-
реляцію між оптичними властивостями досліджуваних плівок та
перколяційним переходом у них.
2. МЕТОДИКА ЕКСПЕРИМЕНТУ
Плівки золота препарували в умовах статичного надвисокого ваку-
уму (тиск залишкових компонент газу не перевищував 10−7
Па) у
відпаяних скляних експериментальних приладах. В цілому мето-
дика експерименту ідентична використаній нами методиці при дос-
лідженні структури плівок золота [4]. Зауважимо, що плівки мета-
лу одержували шляхом конденсації пари термічно випаруваного
металу на охолоджене до 78 Ê підложжя на основі методики
‘quench condensed’ з подальшою термостабілізацією за кімнатної
температури (Ткім = 293 Ê) протягом однієї доби, що виключало мо-
жливість дифузії підшарів ґерманію в об’єм плівки золота чи сріб-
ла. Плівки ґерманію масовою товщиною біля атомного шару нано-
сили на підложжя безпосередньо перед конденсацією пари дослі-
джуваного металу. Результати дослідження структури одержаних
плівок за допомогою електронної мікроскопії на просвіт показали,
що за швидкости конденсації пари металу та підшарів ґерманію на
аморфне підложжя, меншої за 0,01 нм/с, вдається одержати ізот-
ропні, однорідні плівки металу. Підкреслимо, що дана методика
формування плівок металу на підложжі за температури
Тпід ≤ 0,3Ттоп [5], де Ттоп — температура топлення металу, уможлив-
лює одержувати полікристалічні плівки металів з періодом ґратни-
ці, аналогічним кристалічній ґратниці масивного металу, з серед-
німи лінійними розмірами кристалітів D, незалежними від товщи-
746 Р. І. БІÃÓÍ, З. В. СТÀСЮÊ, О. В. СТРОÃÀÍОВ, Д. С. ЛЕОÍОВ
ни та рівними D = 10–12 нм для плівок золота, нанесених на чисте
скляне підложжя, та D = 6–7 нм для плівок золота, осаджених на
скляному підложжі, попередньо покритому підшаром ґерманію ма-
совою товщиною 0,5 нм [3]. Одержані результати узгоджуються з
даними робіт [6–8], у яких наведено результати електронно-
мікроскопічного дослідження еволюції розмірних залежностей
структури плівок низки металів в процесі зміни температури. Оці-
нку масової товщини плівок здійснювали за зсувом резонансної ча-
стоти п’єзокварцового вібратора з чутливістю не гіршою за 100
Ãц/нм. Дослідження спектрів пропускання T(λ) та відбивання R(λ)
плівок золота здійснено на приладі Shimadzu UV-3600-VIS-NIR у
видимій та близькій інфрачервоній ділянках довжин хвиль у діяпа-
зоні 300 нм ≤ λ ≤ 2500 нм. Спектри відбивання досліджували при
близькому до нормального куті падіння електромагнетного випро-
мінення (α = 8°). Зауважимо, що в рамках даного дослідження вва-
жається, що підшари ґерманію не впливають на оптичні властивос-
ті плівок металу, а лише змінюють умови росту та структуру плівки
металу на поверхні скляного підложжя.
3. ОБГОВОРЕННЯ ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНИХ РЕЗУЛЬТАТІВ
Результати експериментального дослідження спектрів відбивання
R(λ) плівок золота різної товщини, сформованих на чистому скля-
ному підложжі, показано на рис. 1, а. Íа рисунку 1, б представлено
результати дослідження R(λ) плівок металу, нанесених на поверх-
ню скла, попередньо покриту підшарами ґерманію масовою товщи-
ною 0,5 нм. Для порівняння на згаданих рисунках також наведено
спектри R(λ) для чистих підложжів. Зауважимо, що залежності
R(λ) для чистого скляного підложжя та скляного підложжя, покри-
того підшаром ґерманію масовою товщиною 0,5 нм, практично не
відрізняються між собою.
Порівняльний аналіз даних, наведених на рис. 1, а і б, показує,
що коефіцієнт відбивання R плівок малих товщин 2–5 нм, сформо-
ваних на чистій поверхні скла, менший за коефіцієнт відбивання
плівок такої ж товщини, осаджених на поверхні підшару ґерманію.
Дане явище можна пояснити на основі порівняння умов формуван-
ня плівок на чистій поверхні скла та на поверхні підшару ґерманію.
Ó початковій стадії росту плівки зародки кристалізації металу на
поверхні скла проявляють тенденцію до коалесценції. Íа відміну
від цього, при зародженні плівки золота на поверхні підшару ґер-
манію перші атоми металу створюють ковалентні зв’язки з атомами
Ґерманію і, таким чином, достатньо сильно зв’язуються з поверх-
нею підложжя у місці падіння на поверхню, створюючи дрібні кри-
сталіти, що ускладнює явище коалесценції. В результаті на повер-
хні підшару ґерманію при нанесенні шару металу даної масової то-
ПЕРÊОЛЯЦІЙÍÈЙ ПЕРЕХІД ТÀ ОПТÈЧÍІ ВЛÀСТÈВОСТІ ПЛІВОÊ ЗОЛОТÀ 747
вщини забезпечується більш ефективне заповнення P поверхні
скляного підложжя у порівнянні з заповненням поверхні підложжя
з чистого скла, покритого кристалітами більших розмірів. Тому у
випадку формування дуже тонких плівок на чистій поверхні скла
незаповненою металом залишається більша частина поверхні під-
ложжя у порівнянні з випадком плівок, конденсованих на поверхні
підшару ґерманію, що і приводить до відмінностей величин коефі-
цієнта відбивання. Даний висновок узгоджується з результатами
дослідження структури тонких плівок золота, осаджених на чисто-
му підложжі та підложжі, покритому підшарами поверхневоакти-
вних речовин. Було показано, що вплив підшарів ґерманію на фор-
мування плівок зводиться до запобігання явищу коалесценції заро-
дків кристалізації і, таким чином, до росту плівок, середні розміри
кристалітів D у яких є меншими за середні розміри кристалітів у
плівках, нанесених на чисту поверхню скла. Êоефіцієнт відбивання
R плівок великих товщин (d > 10 нм) проявляє тенденцію до зрос-
тання в міру збільшення товщини плівки металу для довжин хвиль
світла λ > 400–500 нм.
Спектральні залежності коефіцієнта пропускання T плівок золо-
та, сформованих на чистій поверхні скла та на поверхні скла, пок-
ритій підшаром ґерманію масовою товщиною у 0,5 нм, показано,
відповідно, на рис. 2, а і рис. 2,б. Для порівняння на згаданих рису-
а б
Рис. 1. Спектри відбивання плівок золота різної товщини: а — плівки зо-
лота, осаджені на чисте скляне підложжя; б — плівки золота, осаджені на
скляне підложжя, попередньо покрите підшаром ґерманію масовою тов-
щиною 0,5 нм.
Fig. 1. Reflection spectra of gold films with different thicknesses: а—gold films
deposited on the clean glass substrate; б—gold films deposited on the glass sub-
strate pre-coated by germanium sublayer with mass thickness of 0.5 nm.
748 Р. І. БІÃÓÍ, З. В. СТÀСЮÊ, О. В. СТРОÃÀÍОВ, Д. С. ЛЕОÍОВ
нках також наведено спектри Т(λ) для чистих підложжів. Заува-
жимо, що залежності Т(λ) для чистого скляного підложжя та скля-
ного підложжя, покритого підшаром ґерманію масовою товщиною
0,5 нм, практично не відрізняються між собою.
Сказане підтверджує аналіз розмірних залежностей коефіцієнта
пропускання T плівок для декількох вибраних довжин хвиль з дос-
лідженого спектру. Íа рисунку 3 показано залежності T від товщи-
ни плівки d для плівок золота, сформованих на чистій поверхні
скла (рис. 3, а) та на поверхні скла, покритій підшаром ґерманію
масовою товщиною 0,5 нм (рис. 3, б), для чотирьох довжин хвиль,
які відповідають близькому та середньому інфрачервоному діяпа-
зону спектру. Згідно з перколяційною теорією [2], товщина плівки
d в точці перетину згаданих залежностей відповідає критичній то-
вщині dc перколяційного переходу.
З даних, представлених на рис. 3, видно, що у плівках золота,
сформованих нами на чистій поверхні скла, величина dc = 6,4 нм, а
у плівках, нанесених на поверхню підшару ґерманію, dc = 4 нм. За-
уважимо, що цей результат узгоджується з даними, одержаними в
[10, 11] при дослідженні електропровідности плівок золота, де по-
казано, що при конденсації пари металу в аналогічних умовах на
чисту поверхню скла та поверхню скла, покриту підшаром ґерма-
а б
Рис. 2. Спектри пропускання плівок золота різної товщини: а — плівки
золота осаджені на чисте скляне підложжя; б — плівки золота осаджені на
скляне підложжя, попередньо покрите підшаром ґерманію масовою тов-
щиною 0,5 нм.
Fig. 2. The transmission spectra of gold films with different thicknesses: а—
gold films deposited on the clean glass substrate; б—gold films deposited on
the glass substrate pre-coated by germanium sublayer with mass thickness of
0.5 nm.
ПЕРÊОЛЯЦІЙÍÈЙ ПЕРЕХІД ТÀ ОПТÈЧÍІ ВЛÀСТÈВОСТІ ПЛІВОÊ ЗОЛОТÀ 749
нію масовою товщиною 1 нм, величина dc виявилася відповідно рів-
ною 5,6 та 3,6 нм. Результат, одержаний нами, також не суперечить
результатам [1], де показано, що в далекій інфрачервоній області
довжин хвиль (λ = 15000 нм та λ = 25000 нм) величина dc = 5 нм.
Àналіз розмірних залежностей спектрів поглинання дослідже-
них плівок золота в припущенні ефективного середовища [2] також
підтверджує одержаний результат. Розрахунок спектрів поглинан-
ня в інфрачервоній області здійснимо в наближенні слабопоглина-
льного підложжя [10]. В результаті встановлено, що зі зростанням
масової товщини плівки металу має місце зростання коефіцієнта
поглинання A до певного максимуму, який відповідає товщині плі-
вки металу, що дорівнює dc, з подальшим різким спаданням вели-
чини A у міру збільшення товщини плівки. Такий висновок про хід
залежности A(d) справедливий як для плівок золота, нанесених на
чисту поверхню скла, так і для плівок, сформованих на поверхні
підшару ґерманію.
Встановити вигляд функціональної залежности A(d) на основі
одержаних нами експериментальних даних неможливо, оскільки
таку залежність можна одержати лише при неперервному вимірю-
а б
Рис. 3. Розмірні залежності спектрів пропускання плівок золота для різ-
них довжин хвиль: 1000, 1500, 2000 нм. Точка перетину прямих відпові-
дає масовій товщині перколяційного переходу; а — плівки золота осадже-
ні на чисте скляне підложжя, б — плівки золота осаджені на скляне під-
ложжя, попередньо покрите підшаром ґерманію масовою товщиною 0,5
нм.
Fig. 3. Size dependences of transmission spectra of gold films for the different
wavelengths: 1000, 1500, 2000 nm. Point of curves’ intersection corresponds
to the threshold mass thickness of percolation transition; а—gold films de-
posited on the clean glass substrate, б—gold films deposited on the glass sub-
strate pre-coated by germanium sublayer with mass thickness of 0.5 nm.
750 Р. І. БІÃÓÍ, З. В. СТÀСЮÊ, О. В. СТРОÃÀÍОВ, Д. С. ЛЕОÍОВ
ванні величин R і T в процесі формування плівки. Для дискретних
же змін d графік залежности A(d) має вигляд ламаної кривої, пока-
заної на рис. 4.
Залежності, подібні до наведених на рис. 4, одержано і для інших
довжин хвиль світла. Спостережувана поведінка розмірних залеж-
ностей коефіцієнта поглинання може бути пояснена на основі під-
ходу, що враховує зміни будови плівки металу при зростанні тов-
щини плівки. Відомо, що несуцільні плівки сильніше поглинають
світло, ніж суцільні. Ìаксимум поглинання відповідає перколя-
ційному переходу [11]. До перколяційного переходу (d < dc) плівка
складається з ізольованих острівців, в кожному з них локалізована
окрема електронна підсистема, в якій може виникати плазмонний
резонанс при взаємодії з електромагнетним випроміненням. Це, в
свою чергу, приводить до високої поглинальної здатности несуці-
льної плівки металу, яка зростає із збільшенням концентрації ост-
рівців металу на поверхні нейтрального підложжя. Саме за рахунок
цього коефіцієнт поглинання A несуцільної плівки золота, сформо-
ваної на поверхні підшару ґерманію, вищий за A плівки тієї ж тов-
щини, нанесеної за аналогічних умов на чисту поверхню скла.
З результатів [4] відомо, що поверхнево активні підшари ґерма-
нію перешкоджають процесам коалесценції зародків конденсації
золота на початковій стадії зародження і росту плівки металу за ра-
хунок створення ковалентних зв’язків між атомами Ґерманію і Àу-
Рис. 4. Розмірні залежності коефіцієнта поглинання плівок золота, оса-
джених на чисте скляне підложжя (1) та підложжя (2), попередньо покри-
те підшаром ґерманію масовою товщиною 0,5 нм (λ = 2410 нм).
Fig. 4. Size dependences of absorption coefficient of gold films deposited on
the clean glass substrate (1) and on the substrate pre-coated by germanium
sublayer with mass thickness of 0.5 nm (2) (λ = 2410 nm).
ПЕРÊОЛЯЦІЙÍÈЙ ПЕРЕХІД ТÀ ОПТÈЧÍІ ВЛÀСТÈВОСТІ ПЛІВОÊ ЗОЛОТÀ 751
руму [12]. Саме тому плівки золота, сформовані на поверхні підша-
ру ґерманію, є більш дрібнозернистими, ніж плівки, нанесені на
чисту поверхню скла. Зокрема, середні лінійні розміри кристалітів
у плівках золота на поверхні підшару ґерманію у 1,5–2 рази менші
за лінійні розміри кристалітів у плівках золота, виготовлених в
ідентичних умовах на чистій поверхні скла. Це, в свою чергу, ство-
рює на поверхні підшару ґерманію підвищену концентрацію ізо-
льованих острівців і, таким чином, збільшує ступінь заповнености
поверхні підложжя металом [4], що забезпечує для таких плівок
величину dc, меншу за критичну товщину для плівок, сформованих
на чистій поверхні скла. Тому плівки золота масовою товщиною бі-
ля 4 нм, нанесені на підшар ґерманію, мають вищу поглинальну
здатність у порівнянні з аналогічними плівками золота, нанесени-
ми на чисту поверхню скла. Відмінність між найбільшими величи-
нами A, представленими на рис. 4, обумовлена тим, що у точках, які
відповідають товщині плівки dc, концентрації окремих острівців
залежать від середніх розмірів кристалітів.
4. ВИСНОВКИ
1. Встановлено, що значення товщини dc, яка відповідає перколя-
ційному переходу у тонких плівках золота, добре узгоджується з
кількісними даними по товщині перколяційного переходу, розра-
хованими з розмірних залежностей опору плівок золота.
2. Підшари ґерманію зменшують порогову товщину плівки металу,
яка відповідає перколяційному переходу, та зсувають її в область
менших товщин.
3. Виявлено, що поглинальна здатність плівок золота, осаджених
на підшари ґерманію, більша за поглинальну здатність аналогічних
плівок, осаджених на чисту скляну поверхню. Це обумовлено фор-
муванням більш дрібнозернистої кристалічної структури і збіль-
шенням концентрації ізольованих острівців на одиниці площі
скляного підложжя.
ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА
1. A. Axelevitch, B. Gorenstein, and G. Golan, Physics Procedia, 32: 1 (2012).
2. P. Smilauer, Contemporary Physics, 32, No. 2: 89 (1991).
3. S. Ding, X. Wang, D. J. Chen, and Q. Q. Wang, Optics Express, 14, No. 4: 1541
(2006).
4. Р. І. Бігун, З. В. Стасюк, О. В. Строганов, В. Ì. Ãаврилюх, Д. С. Леонов,
Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 13, вип. 3: 459 (2015).
5. S. V. Dukarov, S. I. Petrushenko, V. N. Sukhov, and I. G. Churilov, Problems of
Atomic Science and Technology, 89, No. 1: 110 (2014).
6. N. Kaiser, Applied Optics, 41, No. 16: 3053 (2002).
752 Р. І. БІÃÓÍ, З. В. СТÀСЮÊ, О. В. СТРОÃÀÍОВ, Д. С. ЛЕОÍОВ
7. Í. Т. Ãладких, С. В. Дукаров, В. Í. Сухов, Фиçика металлов и
металловедение, 78, № 3: 87 (1994).
8. С. È. Петрушенко, С. В. Дукаров, В. Í. Сухов, È. Ã. Чурилов,
Журнал нано- та електронної ôіçики, 7, № 2: 02033 (2015).
9. Р. І. Бігун, В. Ì. Ãаврилюх, З. В. Стасюк, Д. С. Леонов, Ìеталлоôиç.
новейøие технол., 37, № 3: 317 (2015).
10. M. Cesaria, A. P. Caricato, and M. Martino, J. Opt., 14: 1057011 (2012).
11. S. Xilian, H. Ruijin, H. Haihong, F. Zhengxio, and S. Jianda, Thin Solid Films,
515: 6962 (2007).
12. K. L. Ekinci and J. M. Valles, Phys. Rev. B, 58, No. 11: 7347 (1998).
REFERENCES
1. A. Axelevitch, B. Gorenstein, and G. Golan, Physics Procedia, 32: 1 (2012).
2. P. Smilauer, Contemporary Physics, 32, No. 2: 89 (1991).
3. S. Ding, X. Wang, D. J. Chen, and Q. Q. Wang, Optics Express, 14, No. 4: 1541
(2006).
4. R. I. Bihun, Z. V Stasyuk, O. V. Stroganov, V. M. Gavrylyukh, and
D. S. Leonov, Nanosistemi, Nanomateriali, Nanotehnologii, 13, Iss. 3: 459
(2015) (in Ukrainian).
5. S. V. Dukarov, S. I. Petrushenko, V. N. Sukhov, and I. G. Churilov, Problems of
Atomic Science and Technology, 89, No. 1: 110 (2014).
6. N. Kaiser, Applied Optics, 41, No. 16: 3053 (2002).
7. N. T. Gladkikh, S. V. Dukarov, and V. N. Sukhov, Fizika Metallov i
Metallovedenie, 78, No. 3: 87 (1994) (in Russian).
8. S. I. Petrushenko, S. V. Dukarov, V. N. Sukhov, and I. G. Churilov, Journal
Nano- and Electronic Physics, 7, No. 2: 02033 (2015).
9. R. I. Bigun, V. M. Gavrylyukh, Z. V. Stasyuk, and D. S. Leonov, Metallofiz.
Noveishie Tekhnol., 37, No. 3: 317 (2015) (in Ukrainian).
10. M. Cesaria, A. P. Caricato, and M. Martino, J. Opt., 14: 1057011 (2012).
11. S. Xilian, H. Ruijin, H. Haihong, F. Zhengxio, and S. Jianda, Thin Solid Films,
515: 6962 (2007).
12. K. L. Ekinci and J. M. Valles, Phys. Rev. B, 58, No. 11: 7347 (1998).
https://doi.org/10.1016/j.phpro.2012.03.510
https://doi.org/10.1080/00107519108213805
https://doi.org/10.1364/OE.14.001541
https://doi.org/10.1364/OE.14.001541
https://doi.org/10.1364/AO.41.003053
https://doi.org/10.15407/mfint.37.03.0317
https://doi.org/10.15407/mfint.37.03.0317
https://doi.org/10.1088/2040-8978/14/10/105701
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2007.02.017
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2007.02.017
https://doi.org/10.1103/PhysRevB.58.7347
<<
/ASCII85EncodePages false
/AllowTransparency false
/AutoPositionEPSFiles true
/AutoRotatePages /None
/Binding /Left
/CalGrayProfile (Dot Gain 20%)
/CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2)
/sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CannotEmbedFontPolicy /Error
/CompatibilityLevel 1.4
/CompressObjects /Tags
/CompressPages true
/ConvertImagesToIndexed true
/PassThroughJPEGImages true
/CreateJobTicket false
/DefaultRenderingIntent /Default
/DetectBlends true
/DetectCurves 0.0000
/ColorConversionStrategy /CMYK
/DoThumbnails false
/EmbedAllFonts true
/EmbedOpenType false
/ParseICCProfilesInComments true
/EmbedJobOptions true
/DSCReportingLevel 0
/EmitDSCWarnings false
/EndPage -1
/ImageMemory 1048576
/LockDistillerParams false
/MaxSubsetPct 100
/Optimize true
/OPM 1
/ParseDSCComments true
/ParseDSCCommentsForDocInfo true
/PreserveCopyPage true
/PreserveDICMYKValues true
/PreserveEPSInfo true
/PreserveFlatness true
/PreserveHalftoneInfo false
/PreserveOPIComments true
/PreserveOverprintSettings true
/StartPage 1
/SubsetFonts true
/TransferFunctionInfo /Apply
/UCRandBGInfo /Preserve
/UsePrologue false
/ColorSettingsFile ()
/AlwaysEmbed [ true
]
/NeverEmbed [ true
]
/AntiAliasColorImages false
/CropColorImages true
/ColorImageMinResolution 300
/ColorImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleColorImages true
/ColorImageDownsampleType /Bicubic
/ColorImageResolution 300
/ColorImageDepth -1
/ColorImageMinDownsampleDepth 1
/ColorImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeColorImages true
/ColorImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterColorImages true
/ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG
/ColorACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/ColorImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000ColorACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000ColorImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasGrayImages false
/CropGrayImages true
/GrayImageMinResolution 300
/GrayImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleGrayImages true
/GrayImageDownsampleType /Bicubic
/GrayImageResolution 300
/GrayImageDepth -1
/GrayImageMinDownsampleDepth 2
/GrayImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeGrayImages true
/GrayImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterGrayImages true
/GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG
/GrayACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/GrayImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000GrayACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000GrayImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasMonoImages false
/CropMonoImages true
/MonoImageMinResolution 1200
/MonoImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleMonoImages true
/MonoImageDownsampleType /Bicubic
/MonoImageResolution 1200
/MonoImageDepth -1
/MonoImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeMonoImages true
/MonoImageFilter /CCITTFaxEncode
/MonoImageDict <<
/K -1
>>
/AllowPSXObjects false
/CheckCompliance [
/None
]
/PDFX1aCheck false
/PDFX3Check false
/PDFXCompliantPDFOnly false
/PDFXNoTrimBoxError true
/PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXSetBleedBoxToMediaBox true
/PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXOutputIntentProfile ()
/PDFXOutputConditionIdentifier ()
/PDFXOutputCondition ()
/PDFXRegistryName ()
/PDFXTrapped /False
/CreateJDFFile false
/Description <<
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
/BGR <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>
/CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002>
/CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002>
/CZE <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>
/DAN <FEFF004200720075006700200069006e0064007300740069006c006c0069006e006700650072006e0065002000740069006c0020006100740020006f007000720065007400740065002000410064006f006200650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e007400650072002c0020006400650072002000620065006400730074002000650067006e006500720020007300690067002000740069006c002000700072006500700072006500730073002d007500640073006b007200690076006e0069006e00670020006100660020006800f8006a0020006b00760061006c0069007400650074002e0020004400650020006f007000720065007400740065006400650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e0074006500720020006b0061006e002000e50062006e00650073002000690020004100630072006f00620061007400200065006c006c006500720020004100630072006f006200610074002000520065006100640065007200200035002e00300020006f00670020006e0079006500720065002e>
/DEU <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>
/ESP <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>
/ETI <FEFF004b00610073007500740061006700650020006e0065006900640020007300e4007400740065006900640020006b00760061006c006900740065006500740073006500200074007200fc006b006900650065006c007300650020007000720069006e00740069006d0069007300650020006a0061006f006b007300200073006f00620069006c0069006b0065002000410064006f006200650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740069006400650020006c006f006f006d006900730065006b0073002e00200020004c006f006f0064007500640020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740065002000730061006100740065002000610076006100640061002000700072006f006700720061006d006d006900640065006700610020004100630072006f0062006100740020006e0069006e0067002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020006a00610020007500750065006d006100740065002000760065007200730069006f006f006e00690064006500670061002e000d000a>
/FRA <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>
/GRE <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>
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
/HRV (Za stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.)
/HUN <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>
/ITA <FEFF005500740069006c0069007a007a006100720065002000710075006500730074006500200069006d0070006f007300740061007a0069006f006e00690020007000650072002000630072006500610072006500200064006f00630075006d0065006e00740069002000410064006f00620065002000500044004600200070006900f900200061006400610074007400690020006100200075006e00610020007000720065007300740061006d0070006100200064006900200061006c007400610020007100750061006c0069007400e0002e0020004900200064006f00630075006d0065006e007400690020005000440046002000630072006500610074006900200070006f00730073006f006e006f0020006500730073006500720065002000610070006500720074006900200063006f006e0020004100630072006f00620061007400200065002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000200065002000760065007200730069006f006e006900200073007500630063006500730073006900760065002e>
/JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002>
/KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e>
/LTH <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>
/LVI <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>
/NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.)
/NOR <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>
/POL <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>
/PTB <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>
/RUM <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>
/RUS <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>
/SKY <FEFF0054006900650074006f0020006e006100730074006100760065006e0069006100200070006f0075017e0069007400650020006e00610020007600790074007600e100720061006e0069006500200064006f006b0075006d0065006e0074006f0076002000410064006f006200650020005000440046002c0020006b0074006f007200e90020007300610020006e0061006a006c0065007001610069006500200068006f0064006900610020006e00610020006b00760061006c00690074006e00fa00200074006c0061010d00200061002000700072006500700072006500730073002e00200056007900740076006f00720065006e00e900200064006f006b0075006d0065006e007400790020005000440046002000620075006400650020006d006f017e006e00e90020006f00740076006f00720069016500200076002000700072006f006700720061006d006f006300680020004100630072006f00620061007400200061002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002000610020006e006f0076016100ed00630068002e>
/SLV <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>
/SUO <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>
/SVE <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>
/TUR <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>
/UKR <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>
/ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.)
>>
/Namespace [
(Adobe)
(Common)
(1.0)
]
/OtherNamespaces [
<<
/AsReaderSpreads false
/CropImagesToFrames true
/ErrorControl /WarnAndContinue
/FlattenerIgnoreSpreadOverrides false
/IncludeGuidesGrids false
/IncludeNonPrinting false
/IncludeSlug false
/Namespace [
(Adobe)
(InDesign)
(4.0)
]
/OmitPlacedBitmaps false
/OmitPlacedEPS false
/OmitPlacedPDF false
/SimulateOverprint /Legacy
>>
<<
/AddBleedMarks false
/AddColorBars false
/AddCropMarks false
/AddPageInfo false
/AddRegMarks false
/ConvertColors /ConvertToCMYK
/DestinationProfileName ()
/DestinationProfileSelector /DocumentCMYK
/Downsample16BitImages true
/FlattenerPreset <<
/PresetSelector /MediumResolution
>>
/FormElements false
/GenerateStructure false
/IncludeBookmarks false
/IncludeHyperlinks false
/IncludeInteractive false
/IncludeLayers false
/IncludeProfiles false
/MultimediaHandling /UseObjectSettings
/Namespace [
(Adobe)
(CreativeSuite)
(2.0)
]
/PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK
/PreserveEditing true
/UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged
/UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile
/UseDocumentBleed false
>>
]
>> setdistillerparams
<<
/HWResolution [2400 2400]
/PageSize [612.000 792.000]
>> setpagedevice
|