Физическая природа и методические основы диагностики с использованием эффекта асимметрии азимутальной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции рентгеновских лучей в кристаллах с нарушенным поверхностным слоем
Проведён детальный анализ физической природы и разработаны методические основы диагностики с использованием обнаруженного авторами эффекта асимметрии азимутальной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции рентгеновских лучей, нормированной на азимутальную зависимость интег...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Дата: | 2017 |
| Автори: | , , , , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2017
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130321 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Физическая природа и методические основы диагностики с использованием эффекта асимметрии азимутальной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции рентгеновских лучей в кристаллах с нарушенным поверхностным слоем / В.Б. Молодкин, А.И. Низкова, Е.И. Богданов, В.В. Лизунов, Н.Г. Толмачев, С.В. Дмитриев, Я.В. Василик, С.В. Лизунова, А.Г. Карпов, О.Г. Войток, В.П. Почекуев // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 6. — С. 753-765. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859974226283331584 |
|---|---|
| author | Молодкин, В.Б. Низкова, А.И. Богданов, Е.И. Лизунов, В.В. Толмачев, Н.Г. Дмитриев, С.В. Василик, Я.В. Лизунова, С.В. Карпов, А.Г. Войток, О.Г. Почекуев, В.П. |
| author_facet | Молодкин, В.Б. Низкова, А.И. Богданов, Е.И. Лизунов, В.В. Толмачев, Н.Г. Дмитриев, С.В. Василик, Я.В. Лизунова, С.В. Карпов, А.Г. Войток, О.Г. Почекуев, В.П. |
| citation_txt | Физическая природа и методические основы диагностики с использованием эффекта асимметрии азимутальной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции рентгеновских лучей в кристаллах с нарушенным поверхностным слоем / В.Б. Молодкин, А.И. Низкова, Е.И. Богданов, В.В. Лизунов, Н.Г. Толмачев, С.В. Дмитриев, Я.В. Василик, С.В. Лизунова, А.Г. Карпов, О.Г. Войток, В.П. Почекуев // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 6. — С. 753-765. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Металлофизика и новейшие технологии |
| description | Проведён детальный анализ физической природы и разработаны методические основы диагностики с использованием обнаруженного авторами эффекта асимметрии азимутальной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции рентгеновских лучей, нормированной на азимутальную зависимость интегральной интенсивности динамической дифракции идеального кристалла. С учётом того, что эта асимметрия появляется за счёт интерференции лучей, дифрагированных в кинематически и динамически рассеивающих слоях, и растёт с увеличением толщины кинематически рассеивающего слоя, созданы и реализованы практически основы неразрушающего метода экспериментального определения толщин таких слоёв.
Проведено детальну аналізу фізичної природи та розроблено методичні основи діягностики з використанням встановленого авторами ефекту асиметрії азимутальної залежности повної інтеґральної інтенсивности динамічної дифракції Рентґенових променів, нормованої на азимутальну залежність інтеґральної інтенсивности динамічної дифракції ідеального кристалу. Із врахуванням того, що ця асиметрія з’являється за рахунок інтерференції променів, які дифрагують у шарах, що розсіюють кінематично й динамічно, та збільшується зі збільшенням товщини шару, що розсіює кінематично, створено і реалізовано практично основи неруйнівного методу експериментального визначення товщин таких шарів.
Detailed analysis of physical nature is carried out and methodological grounds are developed for diagnostics with using discovered by authors effect of asymmetry of azimuthal dependence (AD) of total integrated intensity of dynamical diffraction (TIIDD) of x-rays normalized to the perfect-crystal TIIDD AD. Allowing for this asymmetry appeared due to interference of beams diffracted in both kinematically and dynamically scattered layers and increased with increasing of kinematically scattered-layer thickness, the practical grounds of non-destructive methods for experimental determination of layer thickness are developed.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:23:12Z |
| format | Article |
| fulltext |
ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ИЗЛУЧЕНИЯ И ЧАСТИЦ
С КОНДЕНСИРОВАННЫМ ВЕЩЕСТВОМ
PACS numbers: 61.05.C-, 61.72.Dd, 68.49.Uv, 68.65.Ac, 81.70.Fy
Физическая природа и методические основы диагностики
с использованием эффекта асимметрии азимутальной
зависимости полной интегральной интенсивности
динамической дифракции рентгеновских лучей в кристаллах
с нарушенным поверхностным слоем
В. Б. Молодкин, А. И. Низкова, Е. И. Богданов, В. В. Лизунов,
Н. Г. Толмачев*, С. В. Дмитриев, Я. В. Василик, С. В. Лизунова,
А. Г. Карпов*, О. Г. Войток*, В. П. Почекуев*
Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины,
бульв. Академика Вернадского, 36,
03142 Киев, Украина
*ООО «Центр новейшей диагностики»,
бульв. Академика Вернадского, 36,
03142 Киев, Украина
Проведён детальный анализ физической природы и разработаны методи-
ческие основы диагностики с использованием обнаруженного авторами
эффекта асимметрии азимутальной зависимости полной интегральной
интенсивности динамической дифракции рентгеновских лучей, нормиро-
ванной на азимутальную зависимость интегральной интенсивности дина-
мической дифракции идеального кристалла. С учётом того, что эта асим-
Corresponding author: Vadym Borysovych Molodkin
E-mail: V.Molodkin@gmail.com
G. V. Kurdyumov Institute for Metal Physics, N.A.S. of Ukraine,
36 Academician Vernadsky Blvd., UA-03142 Kyiv, Ukraine
*LLC ‘Center of Advanced Diagnostics’,
36 Academician Vernadsky Blvd., UA-03142 Kyiv, Ukraine
Please cite this article as: V. B. Molodkin, A. I. Nizkova, E. I. Bogdanov,
V. V. Lizunov, N. G. Tolmachev, S. V. Dmitriev, Y. V. Vasylyk, S. V. Lizunova,
A. G. Karpov, O. G. Voitok, and V. P. Pochekuev, The Physical Nature and
Methodological Grounds of Diagnostics with Use of Effect of Asymmetry of
Azimuthal Dependence of the Total Integrated Intensity of a Dynamical X-Ray
Diffraction in Crystals with the Disturbed Surface Layer, Metallofiz. Noveishie
Tekhnol., 39, No. 6: 753–765 (2017) (in Russian), DOI: 10.15407/mfint.39.06.0753.
Ìеталлофиз. новейшие теõнол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol.
2017, т. 39, № 6, сс. 753–765 / DOI: 10.15407/mfint.39.06.0753
Оттиски доступны непосредственно от издателÿ
Ôотокопирование разреøено только
в соответствии с лицензией
2017 ИМÔ (Институт металлофизики
им. Г. В. Курдюмова НАН Óкраины)
Напечатано в Óкраине.
753
754 В. Б. МОЛОДКИН, А. И. НИЗКОВА, Е. И. БОГДАНОВ и др.
метриÿ поÿвлÿетсÿ за счёт интерференции лучей, дифрагированных в ки-
нематически и динамически рассеивающих слоÿх, и растёт с увеличением
толщины кинематически рассеивающего слоÿ, созданы и реализованы
практически основы неразруøающего метода экспериментального опре-
делениÿ толщин таких слоёв.
Ключевые слова: динамическаÿ дифракциÿ, азимутальнаÿ зависимость,
полнаÿ интегральнаÿ интенсивность, наруøенный поверхностный слой.
Проведено детальну аналізу фізичної природи та розроблено методичні
основи діÿгностики з використаннÿм встановленого авторами ефекту
асиметрії азимутальної залежности повної інтеґральної інтенсивности
динамічної дифракції Рентґенових променів, нормованої на азимутальну
залежність інтеґральної інтенсивности динамічної дифракції ідеального
кристалу. Із врахуваннÿм того, що цÿ асиметріÿ з’ÿвлÿєтьсÿ за рахунок
інтерференції променів, ÿкі дифрагують у øарах, що розсіюють кінема-
тично й динамічно, та збільøуєтьсÿ зі збільøеннÿм товщини øару, що
розсіює кінематично, створено і реалізовано практично основи неруйнів-
ного методу експериментального визначеннÿ товщин таких øарів.
Ключові слова: динамічна дифракціÿ, азимутальна залежність, повна
інтеґральна інтенсивність, поруøений поверхневий øар.
Detailed analysis of physical nature is carried out and methodological
grounds are developed for diagnostics with using discovered by authors ef-
fect of asymmetry of azimuthal dependence (AD) of total integrated intensity
of dynamical diffraction (TIIDD) of x-rays normalized to the perfect-crystal
TIIDD AD. Allowing for this asymmetry appeared due to interference of
beams diffracted in both kinematically and dynamically scattered layers and
increased with increasing of kinematically scattered-layer thickness, the
practical grounds of non-destructive methods for experimental determina-
tion of layer thickness are developed.
Key words: dynamical diffraction, azimuthal dependence, total integrated
intensity, disturbed surface layer (DSL).
(Получено 19 мая 2017 г.)
1. ВВЕДЕНИЕ
При механических и импульсных обработках кристаллических ма-
териалов в поверхностном слое поÿвлÿютсÿ сильно искажённые об-
ласти со сложной структурой, способной влиÿть на структуру и
свойства всего объёма кристалла. При этом сформированную обра-
боткой искажённую область можно разделить на несколько слоёв в
зависимости от степени несоверøенства. Так, верхний слой ÿвлÿет-
сÿ аморфным, слой под ним — кристаллическим, но с высокой
плотностью дефектов, а следующий слой — кристаллическим с ма-
лым количеством дефектов. Эффективное использование различно-
ÔИЗИЧЕСКАЯ ПРИРОДА И МЕТОДИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ДИАГНОСТИКИ 755
го рода обработок материалов требует созданиÿ методов контролÿ
их качества, которые, в частности, позволили бы точно и экспресс-
но определÿть характеристики указанных наруøенных поверх-
ностных слоёв.
В работе [1] был предложен неразруøающий метод диагностики,
позволÿющий определÿть толщину наруøенного поверхностного
слоÿ (НПС), основанный на измерении полной интегральной интен-
сивности динамической дифракции (ПИИДД) рентгеновских лучей
(РЛ). Длÿ описаниÿ взаимосвÿзи между измерÿемыми значениÿми
ПИИДД и параметрами НПС были получены формулы [1]:
i i.perf.cr. i.ksl 0 am( ) exp[ { ( ) (2 )}(1 1 )],R R R t k a d= + −m + Λ p γ + γ0 H (1)
i.perf.cr. r B(8 3) sin(2 ) ,R C= c θ γ γH H 0
2 2
i.ksl ksl( ) ( ) ( ),R C Q t C Q k a d= γ = γ Λ0 0
dsl am ksl.t t t= +
Здесь tdsl — толщина НПС, tam — толщина только поглощающего
(аморфного) наруøенного слоÿ (дифракциÿ от этого слоÿ отсутству-
ет), tksl — толщина переходного слоÿ между аморфным материалом
и динамически рассеивающей матрицей (слой с кинематической
дифракцией), Ri — ПИИДД монокристалла с НПС, Ri.perf.cr. —
ПИИДД длÿ идеального кристалла, Ri.ksl. — полнаÿ интегральнаÿ
интенсивность кинематической дифракции напрÿжённого кинема-
тически рассеивающего слоÿ, k — коэффициент, характеризующий
толщину кинематически рассеивающего слоÿ и выражающий её в
длинах экстинкции, m0 — линейный коэффициент фотоэлектриче-
ского поглощениÿ, cHr — вещественнаÿ часть Ôурье-компоненты
полÿризуемости кристалла, С — полÿризационный множитель, θB
— угол Брэгга, a — параметр реøётки, d — межплоскостное рас-
стоÿние, Q = (p|cHr|)2/[λsin(2θB)] — кинематическаÿ отражательнаÿ
способность на единицу длины пути, λ — длина волны излучениÿ,
| |/Λ = λ γ γ σ0 H — длина экстинкции, 2 2 2 ,C E −σ = c cH H E — статиче-
ский фактор Кривоглаза, γ0 и γH — изменÿющиесÿ при азимуталь-
ном вращении направлÿющие косинусы:
B Bcos sin cos sin cos ,γ = − θ ψ ϕ + θ ψ0
(2)
B Bcos sin cos sin cos ,γ = − θ ψ ϕ − θ ψH
где ψ — угол между отражающими плоскостÿми и поверхностью
кристалла, ϕ — азимутальный угол.
756 В. Б. МОЛОДКИН, А. И. НИЗКОВА, Е. И. БОГДАНОВ и др.
При этом оказалось, что длÿ определениÿ структурных парамет-
ров более удобной ÿвлÿетсÿ не сама величина ПИИДД Ri, а её отно-
øение к соответствующей ИИДД, рассчитанной длÿ идеального
кристалла Ri.perf.cr.:
i i.perf.cr. ,R Rr ≡ (3)
в результате величина r выступает параметром искаженности ис-
следуемого кристалла.
Из выражениÿ (1) видно, что наличие сильно деформированного
слоÿ толщиной tam должно приводить к уменьøению r. В то же вре-
мÿ наличие упруго деформированного слоÿ толщиной tksl должно
приводить к увеличению r, которое частично подавлÿетсÿ экспо-
ненциальным убыванием.
На основе модели (1)–(3) и экспериментальных данных (Ri) было
проведено исследование характеристик НПС (толщин аморфного и
кинематически рассеивающих слоёв) методом ПИИДД. Длÿ тол-
щин НПС, намного меньøих длины экстинкции РЛ, эксперимен-
тально полученные азимутальные зависимости (АЗ) ПИИДД и рас-
считанные АЗ ПИИДД всегда получались симметричными. Такие
Рис. 1. Экспериментально полученные АЗ ПИИДД РЛ (маркёры) [1] и рас-
считанные АЗ ПИИДД согласно модели (1)–(3) (сплоøнаÿ линиÿ) [2] длÿ
кристаллов с толщиной НПС, сравнимой с длиной экстинкции рентгенов-
ских лучей.
Fig. 1. Experimentally obtained TIIDD AD of x-rays (markers) [1] and TIIDD
AD calculated according to the model (1)–(3) (solid line) [2] for the crystals
with DSL thickness compared with extinction length of x-rays.
ÔИЗИЧЕСКАЯ ПРИРОДА И МЕТОДИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ДИАГНОСТИКИ 757
результаты длÿ тонких НПС в полном объёме представлены в рабо-
те [1].
Однако при исследовании монокристаллов кремниÿ с НПС, тол-
щина которого может быть сравнима или превыøать длину экс-
тинкции РЛ, был экспериментально обнаружен эффект асимметрии
АЗ ПИИДД, нормированной на ИИДД идеального кристалла [2].
На рисунке 1 представлены экспериментально полученные в рабо-
те [2] АЗ ПИИДД длÿ различных толщин поглощающих слоёв на по-
верхности монокристаллического кремниÿ, перпендикулÿрной
<111>. Можно видеть, что, когда толщина НПС больøе длины экс-
тинкции РЛ, экспериментально полученные АЗ ПИИДД асиммет-
ричны. Из рисунка 1 также видно, что вклад аморфного слоÿ (кото-
рый входит в общую характеристику НПС) не влиÿет непосредствен-
но на сам эффект асимметрии, который зависит от эффективной
толщины НПС, т.е. толщины кинематически рассеивающего слоÿ.
Как следует из рисунка 1, обнаруженный эффект асимметрии не
описываетсÿ моделью (1)–(3). Поэтому длÿ установлениÿ причины
этого эффекта ниже проведён сравнительный анализ физической
природы различий рассеÿниÿ РЛ НПС разной толщины.
2. УСТАНОВЛЕНИЕ ФИЗИЧЕСКОЙ ПРИРОДЫ ЭФФЕКТА
АСИММЕТРИИ АЗ ПИИДД ЗА СЧЁТ БОЛЬШИХ ТОЛЩИН НПС
Рассмотрим дифракцию РЛ в монокристаллах с НПС. Реальный
монокристалл после механической поверхностной обработки прак-
тически всегда имеет трёхслойную структуру, котораÿ описана в [1,
3]. На рисунке 2 представлена схема трёхслойной модели дифрак-
ции РЛ, учитывающаÿ дифракцию в кинематически рассеивающем
слое (эффективнаÿ часть НПС), но пренебрегающаÿ наличием де-
фектов в динамически рассеивающем слое.
Из рисунка 2 видно, что в случае трёхслойной модели РЛ, прохо-
дÿ аморфный (только поглощающий слой — А) и кинематически
рассеивающий слой (К), ослабевают на величину, котораÿ опреде-
лÿетсÿ выражением I = I0e
−mt, где t — толщина облучаемого РЛ слоÿ
кристалла. Поэтому, ослабление интенсивности РЛ в аморфном и
кинематически рассеивающем слоÿх характеризуетсÿ фотоэлек-
трической проницаемостью и толщинами этих слоёв.
При измерениÿх дифференциальных кривых отражениÿ кри-
сталлов, содержащих НПС, когерентный пик от динамически рас-
сеивающей подложки усиливаетсÿ пиком, соответствующим коге-
рентному рассеÿнию в слое. Как известно, øирина кривой отраже-
ниÿ прÿмо пропорциональна неопределённости волнового вектора,
котораÿ находитсÿ из неопределённости координаты по формулам:
∆x∆p ∼ h, (4)
758 В. Б. МОЛОДКИН, А. И. НИЗКОВА, Е. И. БОГДАНОВ и др.
∆p ∼ ∆kh, (5)
где x — координата, p — импульс, k — волновой вектор, h — посто-
ÿннаÿ Планка,
∆k = k∆θB, (6)
где ∆θB — размытие угла Брэгга.
Из формул (4) и (5) следует, что неопределённость волнового век-
тора ∆k длÿ кинематически рассеивающего НПС будет равна:
∆kкин = 1/∆x = 1/tНПС, (7)
Рис. 2. Схема трёхслойной модели дифрактометрии неоднородных систем
без учёта дефектов в динамически рассеивающем объёме: А — аморфный
слой (дифракциÿ РЛ отсутствует), К — кинематически рассеивающий
слой, Д — динамически рассеивающий слой, I0 — интенсивность падаю-
щего луча, I
kin
— интенсивность от кинематически рассеивающего слоÿ,
Idyn
— интенсивность от динамически рассеивающего слоÿ.
Fig. 2. Scheme of triple-layer diffraction model of inhomogeneous systems
excluding defects in the dynamically scattered bulk: А—amorphous layer (x-
ray diffraction is absent), К—kinematically scattered layer, Д—dynamically
scattered layer, I0—intensity of the incident beam, I
kin—intensity from the
kinematically scattered layer, I
dyn—intensity from the dynamically scattered
layer.
ÔИЗИЧЕСКАЯ ПРИРОДА И МЕТОДИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ДИАГНОСТИКИ 759
где tНПС — толщина НПС.
Длÿ динамически рассеивающего слоÿ
∆kдин = 1/Λ. (8)
В случае тонкого наруøенного слоÿ (tНПС << Λ) при изменении k в
пределах 0,13–0,33 когерентное кинематическое рассеÿние имеет
øирокое угловое распределение, т.е. рассеÿние происходит в боль-
øой угловой области (см. рис. 3).
При этом неучтённый в (1)–(3) интерференционный вклад в сум-
марную интенсивность от области углового перекрытиÿ когерент-
ного кинематического рассеÿниÿ с когерентным динамическим
(рассеÿние от монокристаллического объёма кристалла) невелик
(см. рис. 3). В этом случае экспериментальные значениÿ практиче-
ски совпадают с рассчитанными по модели (1)–(3).
Когда на поверхности монокристалла присутствует НПС с тол-
щиной порÿдка или больøей длины экстинкции, угловаÿ область
кинематического рассеÿниÿ от НПС сужаетсÿ до øирины области
динамического рассеÿниÿ от слоÿ подложки, т.е. больøаÿ часть ко-
Рис. 3. Кривые отражениÿ от динамически рассеивающей области кри-
сталла и от кинематически рассеивающего слоÿ при k = 0,13–0,33.
Fig. 3. Reflection curves from both dynamically scattered area of crystal and
kinematically scattered layer for k = 0.13–0.33.
760 В. Б. МОЛОДКИН, А. И. НИЗКОВА, Е. И. БОГДАНОВ и др.
герентного рассеÿниÿ от НПС попадает в угловую область когерент-
ного рассеÿниÿ подложкой монокристалла (см. рис. 4). В этом слу-
чае интерференциÿ формирует больøой дополнительный вклад в
общую ПИИДД, который необходимо учитывать.
Таким образом, в формулах (1) должно поÿвитьсÿ дополнительно
новое интерференционное слагаемое, которое может быть описано
только в рамках динамической теории.
На основании выøеизложенного была разработана расчётнаÿ мо-
дель, где интерференционное слагаемое
interf.
i interf. i( )R R≡ отража-
тельной способности выражаетсÿ через амплитуды когерентных
волн, рассеÿнных от основного объёма кристалла и от кинематиче-
ски рассеивающего НПС, и задаётсÿ выражением [2, 5]:
coh kin * interf.
abs 0LS L i
1
2 Re( ) ,R F X X R
b
= ≡ (9)
где
0 ds ksl 0 am 0(( ) )(1/ 1/ )/2
abs ,t tF e− m +m +m γ + γ= H
kin 2
L (1 ) /2 ,iAX e η= − η A = ptksl/Λ,
,b = γ γ0 H mds — коэффициент экстинкции из-за диффузного рас-
Рис. 4. Кривые отражениÿ от динамически рассеивающей области кри-
сталла и от кинематически рассеивающего слоÿ при k = 3,33.
Fig. 4. Reflection curves from both dynamically scattered area of crystal and
kinematically scattered layer for k = 3.33.
ÔИЗИЧЕСКАЯ ПРИРОДА И МЕТОДИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ДИАГНОСТИКИ 761
сеÿниÿ,
k,y yη = + (10)
0( ) ,y b= − α − α σ 0 0 (1 1 ),bα = c + α = −∆θsin2θB, k k ,y b= α σ
αk = −∆θksin2θB, c0, cH — фурье-компоненты полÿризуемости кри-
сталла, ∆θk — угловое отклонение направлениÿ рассеÿниÿ излуче-
ниÿ, рассеÿнного в кинематическом слое, ∆θ — отклонение падаю-
щего луча от точного условиÿ Вульфа–Брэгга.
Длÿ кинематической амплитуды выражение имеет следующий
вид:
k k
k k 2
2
kin kin kin
L r i Lr Li
k k
1 1
( ) ,
(2 )/ (2 )/( )
t b
t b i
i
e e
X i X iX
b b CE
p αp α
λ γ γσΛ− −
= = c + c = +
α σ α
0 H
H H (11)
где
kin
Lr r i[(1 cos ) sin ],X Cα= − ϕ c + ϕcH H
kin
Li i r[(1 cos ) sin ],X Cα= − ϕ c + ϕcH H
k k2 ( ),t bϕ = p α λ γ γ0 H k2 ,C CE bα = α а cHr и cHi — действитель-
наÿ и мнимаÿ части фурье-компоненты полÿризуемости кристалла.
Длÿ динамической амплитуды:
* 2 *
0 0r 0i( 1) ,X b y s y X iX= − − = − (12)
где
2 2 2 2 2 2 2
0r r r i r i( ( ( 1) 4 ( 1)) /2),r iX b y s y y y y y y= − − − + + − −
2 2 2 2 2 2 2
0i i r i r i r i( ( ( 1) 4 ( 1)) /2),X b y s y y y y y y= − − − + − − −
s = sgn(Rey),
2
r {(1 ) },y z k E= − + B rsin2 ( ),z b C= ∆θ θ cH
i 2 2
(1 )
,
2(1 )
ky g b
y
k CE b
′− − +
=
+
,g g h= + i
r
(1 1 / )
,
2
b
g b
C
+
= − c
c0
H
1
ds
r
1
,
2
b
h b
C KE
−+
= −m
cH
,k E= k
i r .k = c cH H
Интерференционное слагаемое, исходÿ из (9)–(12), примет сле-
дующий вид:
coh kin kin
LS abs Lr 0r Li 0i
1
2 ( ).R F X X X X
b
= + (13)
При вычислении интегральной интенсивности длÿ интерферен-
ционного слагаемого получено [2]:
762 В. Б. МОЛОДКИН, А. И. НИЗКОВА, Е. И. БОГДАНОВ и др.
i coh kin kin
LS abs Lr 0r Li 0i
1
2 ( )( ).R F d X X X X
b
∞
−∞
= ∆θ +∫ (14)
Длÿ вычислениÿ вклада в интегральную интенсивность от ин-
терференционного слагаемого необходимо проводить численное ин-
тегрирование выражениÿ (14). На основе разработанных ранее мо-
делей [1, 6, 7] была предложена обобщённаÿ модель (15), учитыва-
ющаÿ интерференционное слагаемое (9) и позволÿющаÿ рассчиты-
вать толщину НПС длÿ произвольного случаÿ (когда толщины НПС
меньøе или больøе длины экстинкции):
i i.perf.cr. i.ksl. i.inter. 0 abs( ) exp[ { }(1 1 )].R R R R t k a d= + + −m + Λ γ + γ0 H (15)
На рисунке 5 изображены АЗ нормированной ПИИДД (r) длÿ
кристаллов с различными коэффициентами k, рассчитанные с ис-
пользованием модели (15). Видно, что чем больøе толщина кине-
матически рассеивающего слоÿ, т.е. чем больøе k, тем более асим-
метричной ÿвлÿетсÿ АЗ нормированной ПИИДД.
Рассчитанные по модели (1)–(3) АЗ ПИИДД длÿ любых наборов
параметров НПС (тонких или толстых НПС) оказывались симмет-
Рис. 5. АЗ нормированной ПИИДД, рассчитанные длÿ кристалла с НПС с
учётом интерференции при tam = 7,2 мкм и k = 0,033 (øтриховаÿ линиÿ),
k = 0,33 (пунктирнаÿ линиÿ), k = 3,3 (øтрих-пунктирнаÿ линиÿ).
Fig. 5. The normalized TIIDD AD calculated for the crystal with DSL with tak-
ing into account the interference for tam = 7.2 mm and k = 0.033 (dashed line),
k = 0.33 (dotted line), k = 3.3 (dash-dotted line).
ÔИЗИЧЕСКАЯ ПРИРОДА И МЕТОДИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ДИАГНОСТИКИ 763
ричными. Неоднократное повторение эксперимента длÿ толстых
НПС всегда давало асимметрию АЗ ПИИДД. Чувствительность са-
мого метода АЗ ПИИДД (9)–(15), котораÿ даёт асимметрию, иллю-
стрирует рис. 6, из которого видно, что при изменении эффектив-
ной толщины на 10% асимметриÿ нормализованной ПИИДД изме-
нÿетсÿ так же на 10%.
Таблица 1 демонстрирует, что вклад интерференционного слага-
Рис. 6. Эффект асимметрии АЗ нормированной ПИИДД длÿ несимметрич-
ных (220) брэгг-рефлексов MoKα-излучениÿ при различных значениÿх k.
Fig. 6. Effect of asymmetry of the normalized TIIDD AD for the non-
symmetrical (220) Bragg reflections of MoKα-radiation for the different val-
ues of k.
ТАБЛИЦА 1. Зависимость интерференционного вклада от эффективной
толщины наруøенного поверхностного слоÿ (k) монокристаллического
кремниÿ после øлифовки с различным размером øлифовального зерна
(М10, М60) в АЗ ПИИДД, полученные длÿ отражениÿ (220) на AgKα-
излучении.
TABLE 1. Dependence of the interference contribution from effective thick-
ness of the disturbed surface layer (k) of silicon single-crystal after its polish-
ing with different abrasive grain sizes (M10, M60) in the TIIDD AD obtained
for the (220) reflection using AgKα-radiation.
Способ обработки
поверхности
rexp. k (rinterf./rexp.)×100%
Шлифовка М10
(tabs = 10 мкм)
9,98 3,5 53%
Шлифовка М60
(tabs = 60 мкм) 13,21 7,76 64,2%
764 В. Б. МОЛОДКИН, А. И. НИЗКОВА, Е. И. БОГДАНОВ и др.
емого в общую картину рассеÿниÿ становитсÿ существенным при
больøих толщинах кинематически рассеивающих слоёв.
Таким образом, установлена физическаÿ природа эксперимен-
тально обнаруженного длÿ кристаллов с НПС эффекта асимметрии
АЗ ПИИДД, нормированной на ИИДД идеального кристалла. Этот
эффект асимметрии поÿвлÿетсÿ за счёт интерференции излучениÿ,
рассеÿнного кинематически и динамически рассеивающими слоÿ-
ми. В результате разработана теоретическаÿ модель, котораÿ поз-
волила создать экспериментальные и методические основы и прак-
тически реализовать новый метод количественного определениÿ
характеристик технологически наруøенных поверхностных слоёв
без разруøениÿ монокристалла. При этом величину обнаруженной
асимметрии АЗ ПИИДД, нормированной на ИИДД идеального кри-
сталла, предложено использовать в качестве меры толщины НПС
произвольных размеров.
3. ВЫВОДЫ
Таким образом, проведён детальный анализ интерференционной
природы эффекта асимметрии АЗ ПИИДД, нормированной на АЗ
ИИДД идеального кристалла, и новых возможностей его использо-
ваниÿ длÿ диагностики монокристаллов с НПС.
В результате предложен метод неразруøающей количественной
диагностики толщин НПС монокристаллов после различных меха-
нических обработок, в котором величину эффекта асимметрии, а
именно, величины вкладов в ПИИДД от асимметрии длÿ каждого
из значений азимутального угла в измерÿемом интервале описыва-
ют в рамках разработанной интерференционной модели и исполь-
зуют в качестве однозначной меры толщины кинематически рассе-
ивающего слоÿ.
ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА
1. В. Б. Молодкин, А. И. Низкова, С. И. Олиховский, В. Ô. Мазанко,
Е. И. Богданов, С. Е. Богданов, А. И. Гранкина, М. Т. Когут,
В. П. Кривицкий, Ю. Н. Прасолов, Ìеталлофиз. новейшие теõнол., 24,
№ 4: 521 (2002).
2. А. П. Шпак, М. В. Ковальчук, В. Б. Молодкин, В. Л. Носик, В. Ô. Мачулин,
С. И. Олиховский, А. И. Низкова, С. В. Дмитриев, А. А. Белоцкаÿ,
Е. И. Богданов, Я. В. Василик, А. И. Гранкина, М. Т. Когут,
В. В. Молодкин, Е. В. Первак, И. И. Рудницкаÿ, Ìеталлофиз. новейшие
теõнол., 32, № 10: 1301 (2010).
3. А. И. Низкова, Динамические эффекты в интегральной рентгеновской
дифрактометрии неидеальныõ кристаллов (Автореферат дисс. … д-ра
физ.-мат. наук) (Киев: Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН
ÔИЗИЧЕСКАЯ ПРИРОДА И МЕТОДИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ДИАГНОСТИКИ 765
Óкраины: 2004).
4. M. A. Krivoglaz, X-Ray and Neutron Diffraction in Nonideal Crystals (Berlin:
Springer: 1996).
5. С. В. Дмитриев, Динамическая теория экстинкционныõ эффектов
диффузного рассеяния (Дисс. … канд. физ.-мат. наук) (Киев: Институт
металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Óкраины: 2006).
6. В. Г. Барьÿхтар, А. Н. Гуреев, В. В. Кочелаб, В. Б. Молодкин и др.,
Ìеталлофизика, 11, № 3: 73 (1989).
7. В. Г. Барьÿхтар, Е. Н. Гаврилова, В. Б. Молодкин, С. И. Олиховский,
Ìеталлофизика, 14, № 11: 68 (1992).
REFERENCES
1. V. B. Molodkin, A. I. Nizkova, S. I. Olikhovskii, V. F. Mazanko, E. I. Bogdanov,
S. E. Bogdanov, A. I. Grankina, M. T. Kogut, V. P. Krivitskiy, and
Yu. N. Prasolov, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 24, No. 4: 521 (2002)
(in Russian).
2. A. P. Shpak, M. V. Koval’chuk, V. B. Molodkin, V. L. Nosik, V. F. Machulin,
S. I. Olikhovskii, A. I. Nizkova, S. V. Dmitriev, A. A. Belotskaya,
E. I. Bogdanov, Ya. V. Vasilik, A. I. Grankina, M. T. Kogut, V. V. Molodkin,
E. V. Pervak, and I. I. Rudnitskaya, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 32, No. 10:
1301 (2010) (in Russian).
3. A. I. Nizkova, Dinamicheskie Effekty v Integral’noy Rentgenovskoy
Difraktometrii Neideal’nykh Kristallov [Dynamical Effects of the Integral
X-Ray Diffractometry in Nonideal Crystals] (Thesis of Disser. … for Dr.
Phys.-Math. Sci.) (Kyiv: G. V. Kurdyumov Institute for Metal Physics, N.A.S.
of Ukraine: 2004) (in Russian).
4. M. A. Krivoglaz, X-Ray and Neutron Diffraction in Nonideal Crystals (Berlin:
Springer: 1996).
5. S. V. Dmitriev, Dinamicheskaya Teoriya Ekstinktsionnykh Effektov
Diffuznogo Rasseyaniya [Dynamical Theory of Extinction Effects of Diffuse
Scattering] (Disser. … for Cand. Phys.-Math. Sci.) (Kyiv: G. V. Kurdyumov
Institute for Metal Physics, N.A.S. of Ukraine: 2006) (in Russian).
6. V. G. Bar’yakhtar, A. N. Gureev, V. V. Kochelab, V. B. Molodkin et al.,
Metallofizika, 11, No. 3: 73 (1989) (in Russian).
7. V. G. Bar’yakhtar, E. N. Gavrilova, V. B. Molodkin, and S. I. Olikhovskii,
Metallofizika, 14, No. 11: 68 (1992) (in Russian).
https://doi.org/10.1007/978-3-642-74291-0
https://doi.org/10.1007/978-3-642-74291-0
<<
/ASCII85EncodePages false
/AllowTransparency false
/AutoPositionEPSFiles true
/AutoRotatePages /None
/Binding /Left
/CalGrayProfile (Dot Gain 20%)
/CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2)
/sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CannotEmbedFontPolicy /Error
/CompatibilityLevel 1.4
/CompressObjects /Tags
/CompressPages true
/ConvertImagesToIndexed true
/PassThroughJPEGImages true
/CreateJobTicket false
/DefaultRenderingIntent /Default
/DetectBlends true
/DetectCurves 0.0000
/ColorConversionStrategy /CMYK
/DoThumbnails false
/EmbedAllFonts true
/EmbedOpenType false
/ParseICCProfilesInComments true
/EmbedJobOptions true
/DSCReportingLevel 0
/EmitDSCWarnings false
/EndPage -1
/ImageMemory 1048576
/LockDistillerParams false
/MaxSubsetPct 100
/Optimize true
/OPM 1
/ParseDSCComments true
/ParseDSCCommentsForDocInfo true
/PreserveCopyPage true
/PreserveDICMYKValues true
/PreserveEPSInfo true
/PreserveFlatness true
/PreserveHalftoneInfo false
/PreserveOPIComments true
/PreserveOverprintSettings true
/StartPage 1
/SubsetFonts true
/TransferFunctionInfo /Apply
/UCRandBGInfo /Preserve
/UsePrologue false
/ColorSettingsFile ()
/AlwaysEmbed [ true
]
/NeverEmbed [ true
]
/AntiAliasColorImages false
/CropColorImages true
/ColorImageMinResolution 300
/ColorImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleColorImages true
/ColorImageDownsampleType /Bicubic
/ColorImageResolution 300
/ColorImageDepth -1
/ColorImageMinDownsampleDepth 1
/ColorImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeColorImages true
/ColorImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterColorImages true
/ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG
/ColorACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/ColorImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000ColorACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000ColorImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasGrayImages false
/CropGrayImages true
/GrayImageMinResolution 300
/GrayImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleGrayImages true
/GrayImageDownsampleType /Bicubic
/GrayImageResolution 300
/GrayImageDepth -1
/GrayImageMinDownsampleDepth 2
/GrayImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeGrayImages true
/GrayImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterGrayImages true
/GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG
/GrayACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/GrayImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000GrayACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000GrayImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasMonoImages false
/CropMonoImages true
/MonoImageMinResolution 1200
/MonoImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleMonoImages true
/MonoImageDownsampleType /Bicubic
/MonoImageResolution 1200
/MonoImageDepth -1
/MonoImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeMonoImages true
/MonoImageFilter /CCITTFaxEncode
/MonoImageDict <<
/K -1
>>
/AllowPSXObjects false
/CheckCompliance [
/None
]
/PDFX1aCheck false
/PDFX3Check false
/PDFXCompliantPDFOnly false
/PDFXNoTrimBoxError true
/PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXSetBleedBoxToMediaBox true
/PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXOutputIntentProfile ()
/PDFXOutputConditionIdentifier ()
/PDFXOutputCondition ()
/PDFXRegistryName ()
/PDFXTrapped /False
/CreateJDFFile false
/Description <<
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
/BGR <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>
/CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002>
/CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002>
/CZE <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>
/DAN <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>
/DEU <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>
/ESP <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>
/ETI <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>
/FRA <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>
/GRE <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>
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
/HRV (Za stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.)
/HUN <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>
/ITA <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>
/JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002>
/KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e>
/LTH <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>
/LVI <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>
/NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.)
/NOR <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>
/POL <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>
/PTB <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>
/RUM <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>
/RUS <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>
/SKY <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>
/SLV <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>
/SUO <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>
/SVE <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>
/TUR <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>
/UKR <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>
/ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.)
>>
/Namespace [
(Adobe)
(Common)
(1.0)
]
/OtherNamespaces [
<<
/AsReaderSpreads false
/CropImagesToFrames true
/ErrorControl /WarnAndContinue
/FlattenerIgnoreSpreadOverrides false
/IncludeGuidesGrids false
/IncludeNonPrinting false
/IncludeSlug false
/Namespace [
(Adobe)
(InDesign)
(4.0)
]
/OmitPlacedBitmaps false
/OmitPlacedEPS false
/OmitPlacedPDF false
/SimulateOverprint /Legacy
>>
<<
/AddBleedMarks false
/AddColorBars false
/AddCropMarks false
/AddPageInfo false
/AddRegMarks false
/ConvertColors /ConvertToCMYK
/DestinationProfileName ()
/DestinationProfileSelector /DocumentCMYK
/Downsample16BitImages true
/FlattenerPreset <<
/PresetSelector /MediumResolution
>>
/FormElements false
/GenerateStructure false
/IncludeBookmarks false
/IncludeHyperlinks false
/IncludeInteractive false
/IncludeLayers false
/IncludeProfiles false
/MultimediaHandling /UseObjectSettings
/Namespace [
(Adobe)
(CreativeSuite)
(2.0)
]
/PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK
/PreserveEditing true
/UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged
/UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile
/UseDocumentBleed false
>>
]
>> setdistillerparams
<<
/HWResolution [2400 2400]
/PageSize [612.000 792.000]
>> setpagedevice
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-130321 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1024-1809 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:23:12Z |
| publishDate | 2017 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Молодкин, В.Б. Низкова, А.И. Богданов, Е.И. Лизунов, В.В. Толмачев, Н.Г. Дмитриев, С.В. Василик, Я.В. Лизунова, С.В. Карпов, А.Г. Войток, О.Г. Почекуев, В.П. 2018-02-10T15:19:34Z 2018-02-10T15:19:34Z 2017 Физическая природа и методические основы диагностики с использованием эффекта асимметрии азимутальной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции рентгеновских лучей в кристаллах с нарушенным поверхностным слоем / В.Б. Молодкин, А.И. Низкова, Е.И. Богданов, В.В. Лизунов, Н.Г. Толмачев, С.В. Дмитриев, Я.В. Василик, С.В. Лизунова, А.Г. Карпов, О.Г. Войток, В.П. Почекуев // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 6. — С. 753-765. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 1024-1809 PACS: 61.05.C-, 61.72.Dd, 68.49.Uv, 68.65.Ac, 81.70.Fy DOI: 10.15407/mfint.39.06.0753 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130321 Проведён детальный анализ физической природы и разработаны методические основы диагностики с использованием обнаруженного авторами эффекта асимметрии азимутальной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции рентгеновских лучей, нормированной на азимутальную зависимость интегральной интенсивности динамической дифракции идеального кристалла. С учётом того, что эта асимметрия появляется за счёт интерференции лучей, дифрагированных в кинематически и динамически рассеивающих слоях, и растёт с увеличением толщины кинематически рассеивающего слоя, созданы и реализованы практически основы неразрушающего метода экспериментального определения толщин таких слоёв. Проведено детальну аналізу фізичної природи та розроблено методичні основи діягностики з використанням встановленого авторами ефекту асиметрії азимутальної залежности повної інтеґральної інтенсивности динамічної дифракції Рентґенових променів, нормованої на азимутальну залежність інтеґральної інтенсивности динамічної дифракції ідеального кристалу. Із врахуванням того, що ця асиметрія з’являється за рахунок інтерференції променів, які дифрагують у шарах, що розсіюють кінематично й динамічно, та збільшується зі збільшенням товщини шару, що розсіює кінематично, створено і реалізовано практично основи неруйнівного методу експериментального визначення товщин таких шарів. Detailed analysis of physical nature is carried out and methodological grounds are developed for diagnostics with using discovered by authors effect of asymmetry of azimuthal dependence (AD) of total integrated intensity of dynamical diffraction (TIIDD) of x-rays normalized to the perfect-crystal TIIDD AD. Allowing for this asymmetry appeared due to interference of beams diffracted in both kinematically and dynamically scattered layers and increased with increasing of kinematically scattered-layer thickness, the practical grounds of non-destructive methods for experimental determination of layer thickness are developed. ru Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом Физическая природа и методические основы диагностики с использованием эффекта асимметрии азимутальной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции рентгеновских лучей в кристаллах с нарушенным поверхностным слоем Фізична природа та методичні основи діягностики з використанням ефекту асиметрії азимутальної залежности повної інтеґральної інтенсивности динамічної дифракції Рентґенових променів у кристалах з порушеним поверхневим шаром The Physical Nature and Methodological Grounds of Diagnostics with Use of Effect of Asymmetry of Azimuthal Dependence of the Total Integrated Intensity of a Dynamical X-Ray Diffraction in Crystals with the Disturbed Surface Layer Article published earlier |
| spellingShingle | Физическая природа и методические основы диагностики с использованием эффекта асимметрии азимутальной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции рентгеновских лучей в кристаллах с нарушенным поверхностным слоем Молодкин, В.Б. Низкова, А.И. Богданов, Е.И. Лизунов, В.В. Толмачев, Н.Г. Дмитриев, С.В. Василик, Я.В. Лизунова, С.В. Карпов, А.Г. Войток, О.Г. Почекуев, В.П. Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом |
| title | Физическая природа и методические основы диагностики с использованием эффекта асимметрии азимутальной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции рентгеновских лучей в кристаллах с нарушенным поверхностным слоем |
| title_alt | Фізична природа та методичні основи діягностики з використанням ефекту асиметрії азимутальної залежности повної інтеґральної інтенсивности динамічної дифракції Рентґенових променів у кристалах з порушеним поверхневим шаром The Physical Nature and Methodological Grounds of Diagnostics with Use of Effect of Asymmetry of Azimuthal Dependence of the Total Integrated Intensity of a Dynamical X-Ray Diffraction in Crystals with the Disturbed Surface Layer |
| title_full | Физическая природа и методические основы диагностики с использованием эффекта асимметрии азимутальной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции рентгеновских лучей в кристаллах с нарушенным поверхностным слоем |
| title_fullStr | Физическая природа и методические основы диагностики с использованием эффекта асимметрии азимутальной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции рентгеновских лучей в кристаллах с нарушенным поверхностным слоем |
| title_full_unstemmed | Физическая природа и методические основы диагностики с использованием эффекта асимметрии азимутальной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции рентгеновских лучей в кристаллах с нарушенным поверхностным слоем |
| title_short | Физическая природа и методические основы диагностики с использованием эффекта асимметрии азимутальной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции рентгеновских лучей в кристаллах с нарушенным поверхностным слоем |
| title_sort | физическая природа и методические основы диагностики с использованием эффекта асимметрии азимутальной зависимости полной интегральной интенсивности динамической дифракции рентгеновских лучей в кристаллах с нарушенным поверхностным слоем |
| topic | Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом |
| topic_facet | Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130321 |
| work_keys_str_mv | AT molodkinvb fizičeskaâprirodaimetodičeskieosnovydiagnostikisispolʹzovanieméffektaasimmetriiazimutalʹnoizavisimostipolnoiintegralʹnoiintensivnostidinamičeskoidifrakciirentgenovskihlučeivkristallahsnarušennympoverhnostnymsloem AT nizkovaai fizičeskaâprirodaimetodičeskieosnovydiagnostikisispolʹzovanieméffektaasimmetriiazimutalʹnoizavisimostipolnoiintegralʹnoiintensivnostidinamičeskoidifrakciirentgenovskihlučeivkristallahsnarušennympoverhnostnymsloem AT bogdanovei fizičeskaâprirodaimetodičeskieosnovydiagnostikisispolʹzovanieméffektaasimmetriiazimutalʹnoizavisimostipolnoiintegralʹnoiintensivnostidinamičeskoidifrakciirentgenovskihlučeivkristallahsnarušennympoverhnostnymsloem AT lizunovvv fizičeskaâprirodaimetodičeskieosnovydiagnostikisispolʹzovanieméffektaasimmetriiazimutalʹnoizavisimostipolnoiintegralʹnoiintensivnostidinamičeskoidifrakciirentgenovskihlučeivkristallahsnarušennympoverhnostnymsloem AT tolmačevng fizičeskaâprirodaimetodičeskieosnovydiagnostikisispolʹzovanieméffektaasimmetriiazimutalʹnoizavisimostipolnoiintegralʹnoiintensivnostidinamičeskoidifrakciirentgenovskihlučeivkristallahsnarušennympoverhnostnymsloem AT dmitrievsv fizičeskaâprirodaimetodičeskieosnovydiagnostikisispolʹzovanieméffektaasimmetriiazimutalʹnoizavisimostipolnoiintegralʹnoiintensivnostidinamičeskoidifrakciirentgenovskihlučeivkristallahsnarušennympoverhnostnymsloem AT vasilikâv fizičeskaâprirodaimetodičeskieosnovydiagnostikisispolʹzovanieméffektaasimmetriiazimutalʹnoizavisimostipolnoiintegralʹnoiintensivnostidinamičeskoidifrakciirentgenovskihlučeivkristallahsnarušennympoverhnostnymsloem AT lizunovasv fizičeskaâprirodaimetodičeskieosnovydiagnostikisispolʹzovanieméffektaasimmetriiazimutalʹnoizavisimostipolnoiintegralʹnoiintensivnostidinamičeskoidifrakciirentgenovskihlučeivkristallahsnarušennympoverhnostnymsloem AT karpovag fizičeskaâprirodaimetodičeskieosnovydiagnostikisispolʹzovanieméffektaasimmetriiazimutalʹnoizavisimostipolnoiintegralʹnoiintensivnostidinamičeskoidifrakciirentgenovskihlučeivkristallahsnarušennympoverhnostnymsloem AT voitokog fizičeskaâprirodaimetodičeskieosnovydiagnostikisispolʹzovanieméffektaasimmetriiazimutalʹnoizavisimostipolnoiintegralʹnoiintensivnostidinamičeskoidifrakciirentgenovskihlučeivkristallahsnarušennympoverhnostnymsloem AT počekuevvp fizičeskaâprirodaimetodičeskieosnovydiagnostikisispolʹzovanieméffektaasimmetriiazimutalʹnoizavisimostipolnoiintegralʹnoiintensivnostidinamičeskoidifrakciirentgenovskihlučeivkristallahsnarušennympoverhnostnymsloem AT molodkinvb fízičnaprirodatametodičníosnovidíâgnostikizvikoristannâmefektuasimetrííazimutalʹnoízaležnostipovnoííntegralʹnoííntensivnostidinamíčnoídifrakcíírentgenovihpromenívukristalahzporušenimpoverhnevimšarom AT nizkovaai fízičnaprirodatametodičníosnovidíâgnostikizvikoristannâmefektuasimetrííazimutalʹnoízaležnostipovnoííntegralʹnoííntensivnostidinamíčnoídifrakcíírentgenovihpromenívukristalahzporušenimpoverhnevimšarom AT bogdanovei fízičnaprirodatametodičníosnovidíâgnostikizvikoristannâmefektuasimetrííazimutalʹnoízaležnostipovnoííntegralʹnoííntensivnostidinamíčnoídifrakcíírentgenovihpromenívukristalahzporušenimpoverhnevimšarom AT lizunovvv fízičnaprirodatametodičníosnovidíâgnostikizvikoristannâmefektuasimetrííazimutalʹnoízaležnostipovnoííntegralʹnoííntensivnostidinamíčnoídifrakcíírentgenovihpromenívukristalahzporušenimpoverhnevimšarom AT tolmačevng fízičnaprirodatametodičníosnovidíâgnostikizvikoristannâmefektuasimetrííazimutalʹnoízaležnostipovnoííntegralʹnoííntensivnostidinamíčnoídifrakcíírentgenovihpromenívukristalahzporušenimpoverhnevimšarom AT dmitrievsv fízičnaprirodatametodičníosnovidíâgnostikizvikoristannâmefektuasimetrííazimutalʹnoízaležnostipovnoííntegralʹnoííntensivnostidinamíčnoídifrakcíírentgenovihpromenívukristalahzporušenimpoverhnevimšarom AT vasilikâv fízičnaprirodatametodičníosnovidíâgnostikizvikoristannâmefektuasimetrííazimutalʹnoízaležnostipovnoííntegralʹnoííntensivnostidinamíčnoídifrakcíírentgenovihpromenívukristalahzporušenimpoverhnevimšarom AT lizunovasv fízičnaprirodatametodičníosnovidíâgnostikizvikoristannâmefektuasimetrííazimutalʹnoízaležnostipovnoííntegralʹnoííntensivnostidinamíčnoídifrakcíírentgenovihpromenívukristalahzporušenimpoverhnevimšarom AT karpovag fízičnaprirodatametodičníosnovidíâgnostikizvikoristannâmefektuasimetrííazimutalʹnoízaležnostipovnoííntegralʹnoííntensivnostidinamíčnoídifrakcíírentgenovihpromenívukristalahzporušenimpoverhnevimšarom AT voitokog fízičnaprirodatametodičníosnovidíâgnostikizvikoristannâmefektuasimetrííazimutalʹnoízaležnostipovnoííntegralʹnoííntensivnostidinamíčnoídifrakcíírentgenovihpromenívukristalahzporušenimpoverhnevimšarom AT počekuevvp fízičnaprirodatametodičníosnovidíâgnostikizvikoristannâmefektuasimetrííazimutalʹnoízaležnostipovnoííntegralʹnoííntensivnostidinamíčnoídifrakcíírentgenovihpromenívukristalahzporušenimpoverhnevimšarom AT molodkinvb thephysicalnatureandmethodologicalgroundsofdiagnosticswithuseofeffectofasymmetryofazimuthaldependenceofthetotalintegratedintensityofadynamicalxraydiffractionincrystalswiththedisturbedsurfacelayer AT nizkovaai thephysicalnatureandmethodologicalgroundsofdiagnosticswithuseofeffectofasymmetryofazimuthaldependenceofthetotalintegratedintensityofadynamicalxraydiffractionincrystalswiththedisturbedsurfacelayer AT bogdanovei thephysicalnatureandmethodologicalgroundsofdiagnosticswithuseofeffectofasymmetryofazimuthaldependenceofthetotalintegratedintensityofadynamicalxraydiffractionincrystalswiththedisturbedsurfacelayer AT lizunovvv thephysicalnatureandmethodologicalgroundsofdiagnosticswithuseofeffectofasymmetryofazimuthaldependenceofthetotalintegratedintensityofadynamicalxraydiffractionincrystalswiththedisturbedsurfacelayer AT tolmačevng thephysicalnatureandmethodologicalgroundsofdiagnosticswithuseofeffectofasymmetryofazimuthaldependenceofthetotalintegratedintensityofadynamicalxraydiffractionincrystalswiththedisturbedsurfacelayer AT dmitrievsv thephysicalnatureandmethodologicalgroundsofdiagnosticswithuseofeffectofasymmetryofazimuthaldependenceofthetotalintegratedintensityofadynamicalxraydiffractionincrystalswiththedisturbedsurfacelayer AT vasilikâv thephysicalnatureandmethodologicalgroundsofdiagnosticswithuseofeffectofasymmetryofazimuthaldependenceofthetotalintegratedintensityofadynamicalxraydiffractionincrystalswiththedisturbedsurfacelayer AT lizunovasv thephysicalnatureandmethodologicalgroundsofdiagnosticswithuseofeffectofasymmetryofazimuthaldependenceofthetotalintegratedintensityofadynamicalxraydiffractionincrystalswiththedisturbedsurfacelayer AT karpovag thephysicalnatureandmethodologicalgroundsofdiagnosticswithuseofeffectofasymmetryofazimuthaldependenceofthetotalintegratedintensityofadynamicalxraydiffractionincrystalswiththedisturbedsurfacelayer AT voitokog thephysicalnatureandmethodologicalgroundsofdiagnosticswithuseofeffectofasymmetryofazimuthaldependenceofthetotalintegratedintensityofadynamicalxraydiffractionincrystalswiththedisturbedsurfacelayer AT počekuevvp thephysicalnatureandmethodologicalgroundsofdiagnosticswithuseofeffectofasymmetryofazimuthaldependenceofthetotalintegratedintensityofadynamicalxraydiffractionincrystalswiththedisturbedsurfacelayer |