Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований

• Published in: Металлофизика и новейшие технологии
• Date: 2017
• Main Authors: Фодчук, И.М., Роман, Ю.Т., Баловсяк, С.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2017
• Subjects: Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130328
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований / И.М. Фодчук, Ю.Т. Роман, С.В. Баловсяк // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 7. — С. 855-863. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.

Проведены рентгеновские структурные исследования тонких плёнок TiN, полученных методом реактивного магнетронного распыления. Для уменьшения влияния высокочастотного шума и неоднородной фоновой интенсивности на форму дифракционных максимумов применена методика вейвлет-фильтрации с помощью семейства биортогональных вейвлетов. Это позволило значительно повысить точность определения периода решётки, размера зерна и значения микродеформации. Проведено рентґенівські структурні дослідження тонких плівок TiN, одержаних методою реактивного магнетронного розпорошення. Для зменшення впливу високочастотного шуму та неоднорідної фонової інтенсивности на форму дифракційних максимумів застосовано методику вейвлет-фільтрації за допомогою сімейства біортогональних вейвлетів. Це уможливило значно підвищити точність визначення періоду ґратниці, розміру зерна та значення мікродеформації. X-ray structural studies of thin TiN films obtained by reactive magnetron sputtering are carried out. The wavelet-filtration technique by means of a set of biorthogonal wavelets is used to reduce the influence of both high-frequency noise and non-uniform background intensity on the shape of diffraction maxima. It allows us to improve the accuracy of determination of lattice period, grain size, and value of microdeformation significantly.