Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований

Проведены рентгеновские структурные исследования тонких плёнок TiN, полученных методом реактивного магнетронного распыления. Для уменьшения влияния высокочастотного шума и неоднородной фоновой интенсивности на форму дифракционных максимумов применена методика вейвлет-фильтрации с помощью семейства б...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Металлофизика и новейшие технологии
Datum:2017
Hauptverfasser: Фодчук, И.М., Роман, Ю.Т., Баловсяк, С.В.
Format: Artikel
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2017
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130328
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований / И.М. Фодчук, Ю.Т. Роман, С.В. Баловсяк // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 7. — С. 855-863. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862556621447626752
author Фодчук, И.М.
Роман, Ю.Т.
Баловсяк, С.В.
author_facet Фодчук, И.М.
Роман, Ю.Т.
Баловсяк, С.В.
citation_txt Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований / И.М. Фодчук, Ю.Т. Роман, С.В. Баловсяк // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 7. — С. 855-863. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Металлофизика и новейшие технологии
description Проведены рентгеновские структурные исследования тонких плёнок TiN, полученных методом реактивного магнетронного распыления. Для уменьшения влияния высокочастотного шума и неоднородной фоновой интенсивности на форму дифракционных максимумов применена методика вейвлет-фильтрации с помощью семейства биортогональных вейвлетов. Это позволило значительно повысить точность определения периода решётки, размера зерна и значения микродеформации. Проведено рентґенівські структурні дослідження тонких плівок TiN, одержаних методою реактивного магнетронного розпорошення. Для зменшення впливу високочастотного шуму та неоднорідної фонової інтенсивности на форму дифракційних максимумів застосовано методику вейвлет-фільтрації за допомогою сімейства біортогональних вейвлетів. Це уможливило значно підвищити точність визначення періоду ґратниці, розміру зерна та значення мікродеформації. X-ray structural studies of thin TiN films obtained by reactive magnetron sputtering are carried out. The wavelet-filtration technique by means of a set of biorthogonal wavelets is used to reduce the influence of both high-frequency noise and non-uniform background intensity on the shape of diffraction maxima. It allows us to improve the accuracy of determination of lattice period, grain size, and value of microdeformation significantly.
first_indexed 2025-11-25T22:33:28Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-130328
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1024-1809
language Russian
last_indexed 2025-11-25T22:33:28Z
publishDate 2017
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
record_format dspace
spelling Фодчук, И.М.
Роман, Ю.Т.
Баловсяк, С.В.
2018-02-10T18:13:00Z
2018-02-10T18:13:00Z
2017
Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований / И.М. Фодчук, Ю.Т. Роман, С.В. Баловсяк // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 7. — С. 855-863. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.
1024-1809
PACS: 02.60.Gf, 07.85.-m, 42.30.Va, 61.05.cp, 61.72.Mm, 68.55.ag, 81.05.Hd
DOI: doi.org/10.15407/mfint.39.07.0855
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130328
Проведены рентгеновские структурные исследования тонких плёнок TiN, полученных методом реактивного магнетронного распыления. Для уменьшения влияния высокочастотного шума и неоднородной фоновой интенсивности на форму дифракционных максимумов применена методика вейвлет-фильтрации с помощью семейства биортогональных вейвлетов. Это позволило значительно повысить точность определения периода решётки, размера зерна и значения микродеформации.
Проведено рентґенівські структурні дослідження тонких плівок TiN, одержаних методою реактивного магнетронного розпорошення. Для зменшення впливу високочастотного шуму та неоднорідної фонової інтенсивности на форму дифракційних максимумів застосовано методику вейвлет-фільтрації за допомогою сімейства біортогональних вейвлетів. Це уможливило значно підвищити точність визначення періоду ґратниці, розміру зерна та значення мікродеформації.
X-ray structural studies of thin TiN films obtained by reactive magnetron sputtering are carried out. The wavelet-filtration technique by means of a set of biorthogonal wavelets is used to reduce the influence of both high-frequency noise and non-uniform background intensity on the shape of diffraction maxima. It allows us to improve the accuracy of determination of lattice period, grain size, and value of microdeformation significantly.
ru
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
Металлофизика и новейшие технологии
Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом
Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований
Новий підхід до аналізи Х-променевих дифрактограм на основі вейвлет-перетворів
The New Approach to the Analysis of X-Ray Diffractograms Based on the Wavelet Transformations
Article
published earlier
spellingShingle Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований
Фодчук, И.М.
Роман, Ю.Т.
Баловсяк, С.В.
Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом
title Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований
title_alt Новий підхід до аналізи Х-променевих дифрактограм на основі вейвлет-перетворів
The New Approach to the Analysis of X-Ray Diffractograms Based on the Wavelet Transformations
title_full Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований
title_fullStr Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований
title_full_unstemmed Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований
title_short Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований
title_sort новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований
topic Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом
topic_facet Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130328
work_keys_str_mv AT fodčukim novyipodhodkanalizurentgenovskihdifraktogrammnaosnoveveivletpreobrazovanii
AT romanût novyipodhodkanalizurentgenovskihdifraktogrammnaosnoveveivletpreobrazovanii
AT balovsâksv novyipodhodkanalizurentgenovskihdifraktogrammnaosnoveveivletpreobrazovanii
AT fodčukim noviipídhíddoanalízihpromenevihdifraktogramnaosnovíveivletperetvorív
AT romanût noviipídhíddoanalízihpromenevihdifraktogramnaosnovíveivletperetvorív
AT balovsâksv noviipídhíddoanalízihpromenevihdifraktogramnaosnovíveivletperetvorív
AT fodčukim thenewapproachtotheanalysisofxraydiffractogramsbasedonthewavelettransformations
AT romanût thenewapproachtotheanalysisofxraydiffractogramsbasedonthewavelettransformations
AT balovsâksv thenewapproachtotheanalysisofxraydiffractogramsbasedonthewavelettransformations