Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований
Проведены рентгеновские структурные исследования тонких плёнок TiN, полученных методом реактивного магнетронного распыления. Для уменьшения влияния высокочастотного шума и неоднородной фоновой интенсивности на форму дифракционных максимумов применена методика вейвлет-фильтрации с помощью семейства б...
Saved in:
| Published in: | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Date: | 2017 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2017
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130328 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований / И.М. Фодчук, Ю.Т. Роман, С.В. Баловсяк // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 7. — С. 855-863. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-130328 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Фодчук, И.М. Роман, Ю.Т. Баловсяк, С.В. 2018-02-10T18:13:00Z 2018-02-10T18:13:00Z 2017 Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований / И.М. Фодчук, Ю.Т. Роман, С.В. Баловсяк // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 7. — С. 855-863. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. 1024-1809 PACS: 02.60.Gf, 07.85.-m, 42.30.Va, 61.05.cp, 61.72.Mm, 68.55.ag, 81.05.Hd DOI: doi.org/10.15407/mfint.39.07.0855 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130328 Проведены рентгеновские структурные исследования тонких плёнок TiN, полученных методом реактивного магнетронного распыления. Для уменьшения влияния высокочастотного шума и неоднородной фоновой интенсивности на форму дифракционных максимумов применена методика вейвлет-фильтрации с помощью семейства биортогональных вейвлетов. Это позволило значительно повысить точность определения периода решётки, размера зерна и значения микродеформации. Проведено рентґенівські структурні дослідження тонких плівок TiN, одержаних методою реактивного магнетронного розпорошення. Для зменшення впливу високочастотного шуму та неоднорідної фонової інтенсивности на форму дифракційних максимумів застосовано методику вейвлет-фільтрації за допомогою сімейства біортогональних вейвлетів. Це уможливило значно підвищити точність визначення періоду ґратниці, розміру зерна та значення мікродеформації. X-ray structural studies of thin TiN films obtained by reactive magnetron sputtering are carried out. The wavelet-filtration technique by means of a set of biorthogonal wavelets is used to reduce the influence of both high-frequency noise and non-uniform background intensity on the shape of diffraction maxima. It allows us to improve the accuracy of determination of lattice period, grain size, and value of microdeformation significantly. ru Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований Новий підхід до аналізи Х-променевих дифрактограм на основі вейвлет-перетворів The New Approach to the Analysis of X-Ray Diffractograms Based on the Wavelet Transformations Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований |
| spellingShingle |
Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований Фодчук, И.М. Роман, Ю.Т. Баловсяк, С.В. Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом |
| title_short |
Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований |
| title_full |
Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований |
| title_fullStr |
Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований |
| title_full_unstemmed |
Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований |
| title_sort |
новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований |
| author |
Фодчук, И.М. Роман, Ю.Т. Баловсяк, С.В. |
| author_facet |
Фодчук, И.М. Роман, Ю.Т. Баловсяк, С.В. |
| topic |
Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом |
| topic_facet |
Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом |
| publishDate |
2017 |
| language |
Russian |
| container_title |
Металлофизика и новейшие технологии |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Новий підхід до аналізи Х-променевих дифрактограм на основі вейвлет-перетворів The New Approach to the Analysis of X-Ray Diffractograms Based on the Wavelet Transformations |
| description |
Проведены рентгеновские структурные исследования тонких плёнок TiN, полученных методом реактивного магнетронного распыления. Для уменьшения влияния высокочастотного шума и неоднородной фоновой интенсивности на форму дифракционных максимумов применена методика вейвлет-фильтрации с помощью семейства биортогональных вейвлетов. Это позволило значительно повысить точность определения периода решётки, размера зерна и значения микродеформации.
Проведено рентґенівські структурні дослідження тонких плівок TiN, одержаних методою реактивного магнетронного розпорошення. Для зменшення впливу високочастотного шуму та неоднорідної фонової інтенсивности на форму дифракційних максимумів застосовано методику вейвлет-фільтрації за допомогою сімейства біортогональних вейвлетів. Це уможливило значно підвищити точність визначення періоду ґратниці, розміру зерна та значення мікродеформації.
X-ray structural studies of thin TiN films obtained by reactive magnetron sputtering are carried out. The wavelet-filtration technique by means of a set of biorthogonal wavelets is used to reduce the influence of both high-frequency noise and non-uniform background intensity on the shape of diffraction maxima. It allows us to improve the accuracy of determination of lattice period, grain size, and value of microdeformation significantly.
|
| issn |
1024-1809 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130328 |
| citation_txt |
Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм на основе вейвлет-преобразований / И.М. Фодчук, Ю.Т. Роман, С.В. Баловсяк // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 7. — С. 855-863. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT fodčukim novyipodhodkanalizurentgenovskihdifraktogrammnaosnoveveivletpreobrazovanii AT romanût novyipodhodkanalizurentgenovskihdifraktogrammnaosnoveveivletpreobrazovanii AT balovsâksv novyipodhodkanalizurentgenovskihdifraktogrammnaosnoveveivletpreobrazovanii AT fodčukim noviipídhíddoanalízihpromenevihdifraktogramnaosnovíveivletperetvorív AT romanût noviipídhíddoanalízihpromenevihdifraktogramnaosnovíveivletperetvorív AT balovsâksv noviipídhíddoanalízihpromenevihdifraktogramnaosnovíveivletperetvorív AT fodčukim thenewapproachtotheanalysisofxraydiffractogramsbasedonthewavelettransformations AT romanût thenewapproachtotheanalysisofxraydiffractogramsbasedonthewavelettransformations AT balovsâksv thenewapproachtotheanalysisofxraydiffractogramsbasedonthewavelettransformations |
| first_indexed |
2025-11-25T22:33:28Z |
| last_indexed |
2025-11-25T22:33:28Z |
| _version_ |
1850566957121667072 |
| fulltext |
ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ИЗЛУЧЕНИЯ И ЧАСТИЦ
С КОНДЕНСИРОВАННЫМ ВЕЩЕСТВОМ
PACS numbers: 02.60.Gf, 07.85.-m, 42.30.Va, 61.05.cp, 61.72.Mm, 68.55.ag, 81.05.Hd
Новый подход к анализу рентгеновских дифрактограмм
на основе вейвлет-преобразований
И. М. Фодчук, Ю. Т. Роман, С. В. Баловсяк
Черновицкий национальный университет имени Юрия Федьковича,
ул. Коцюбинского, 2,
58012 Черновцы, Украина
Проведены рентгеновские структурные исследования тонких плёнок TiN,
полученных методом реактивного магнетронного распыления. Для
уменьшения влияния высокочастотного шума и неоднородной фоновой
интенсивности на форму дифракционных максимумов применена мето-
дика вейвлет-фильтрации с помощью семейства биортогональных вейв-
летов. Это позволило значительно повысить точность определения перио-
да решётки, размера зерна и значения микродеформации.
Ключевые слова: нитрид титана, тонкие плёнки, рентгеновская дифрак-
тометрия, вейвлет-анализ.
Проведено рентґенівські структурні дослідження тонких плівок TiN, оде-
ржаних методою реактивного магнетронного розпорошення. Для змен-
шення впливу високочастотного шуму та неоднорідної фонової інтенсив-
ности на форму дифракційних максимумів застосовано методику вейвлет-
фільтрації за допомогою сімейства біортогональних вейвлетів. Це умож-
ливило значно підвищити точність визначення періоду ґратниці, розміру
зерна та значення мікродеформації.
Ключові слова: нітрид титану, тонкі плівки, Х-променева дифрактомет-
Corresponding author: Igor Mykhaylovych Fodchuk
E-mail: ifodchuk@ukr.net
Yuriy Fedkovych Chernivtsi National University,
2 Kotsyubynsky Str., UA-58012 Chernivtsi, Ukraine
Please cite this article as: I. M. Fodchuk, Yu. T. Roman, and S. V. Balovsyak,
The New Approach to the Analysis of X-Ray Diffractograms Based on the Wavelet
Transformations, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 39, No. 7: 855–863 (2017)
(in Russian), DOI: 10.15407/mfint.39.07.0855.
Ìеталлоôиç. новейøие теõнол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol.
2017, т. 39, № 7, сс. 855–863 / DOI: 10.15407/mfint.39.07.0855
Îттиски доступны непосредственно от издателя
Фотокопирование разрешено только
в соответствии с лицензией
2017 ИМФ (Институт металлофизики
им. Ã. В. Êурдюмова ÍÀÍ Óкраины)
Íапечатано в Óкраине.
855
856 И. М. ФÎДЧÓÊ, Ю. Т. РÎМÀÍ, С. В. БÀЛÎВСЯÊ
рія, вейвлет-аналіза.
X-ray structural studies of thin TiN films obtained by reactive magnetron
sputtering are carried out. The wavelet-filtration technique by means of a set
of biorthogonal wavelets is used to reduce the influence of both high-
frequency noise and non-uniform background intensity on the shape of dif-
fraction maxima. It allows us to improve the accuracy of determination of
lattice period, grain size, and value of microdeformation significantly.
Key words: titanium nitride, thin films, x-ray diffraction, wavelet analysis.
(Получено 26 июня 2017 г.)
1. ВВЕДЕНИЕ
Тонкие плёнки нитрида титана (TiN) широко применяются в полу-
проводниковых устройствах [1–3] благодаря удачному сочетанию
совокупности физико-химических параметров: низкого удельного
сопротивления, достаточно высоких коэффициентов пропускания в
видимой области спектра, высокой твёрдости, химической инерт-
ности и стойкости к коррозии [4–6]. За последние годы опублико-
вано значительное количество работ по исследованию свойств нит-
рида титана [1–6], однако в литературе отсутствуют результаты де-
тальных исследований структурных свойств тонких полупровод-
никовых плёнок TiN, полученных методом реактивного магне-
тронного распыления [7]. Вышеуказанные исследования имеют
важное практическое значение для дальнейшей разработки прибо-
ров на основе гетеропереходов для электроники и солнечной энерге-
тики, поскольку на их эффективность существенно влияют харак-
теристики полупроводниковых компонент гетероструктур [8–12].
Для определения структурных параметров тонких поликристал-
лических плёнок часто используется рентгеновская дифрактомет-
рия [13]. Êак правило, на экспериментальных распределениях ин-
тенсивности I(θ) в области малых углов отражения θ наблюдается
сильный высокочастотный шум и неоднородный фон, который по-
степенно уменьшается при увеличении угла θ [13]. В данной работе
для избавления от вышеназванных эффектов предлагается исполь-
зование методики вейвлет-фильтрации [14]. Íа примере анализа
дифрактограмм, полученных от тонких поликристаллических плё-
нок TiN, показан способ уменьшения влияния высокочастотного
шума и неоднородного фона на распределения I(θ). Это позволило
более точно определить параметры решётки a данных плёнок.
2. ОБЪЕКТ И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ
Îбъектами исследований является серия тонких плёнок TiN, тех-
ÍÎВЫЙ ПÎДХÎД Ê ÀÍÀЛИЗÓ РЕÍТÃЕÍÎВСÊИХ ДИФРÀÊТÎÃРÀММ 857
нология получения которых описана в работе [7].
Структурные исследования TiN были проведены в ЦÊПП «Диа-
гностика полупроводниковых материалов, структур и приборных
систем» в Институте физики полупроводников им. В. Е. Лашкарёва
ÍÀÍ Óкраины в двух- и трёхкристальной схемах дифракции рент-
геновских волн на дифрактометре X’Pert PRO MRD. Для съёмки
использовалась установка с высоким разрешением: параболическое
зеркало Ãегеля, размещённое за рентгеновской трубкой, за кото-
рым следуют четырёхкристальный монохроматор Бартельса (4×
×Ge220) и точечный детектор с трёхкратным кристаллом-анали-
затором (3×Ge220). Расхождение первичного пучка и угловое вос-
приятие кристалла-анализатора, использованного перед детекто-
ром, составляли ∆αi,f ≅ 12 угловых секунд.
3. ОСНОВНЫЕ СООТНОШЕНИЯ
Для расчёта размеров кристаллитов D и микродеформаций ε в тра-
диционных подходах используются соотношения [15, 16]:
0,94
,
cos
D
λ
=
β θ
(1)
/4tg ,ε = β θ (2)
где β — интегральная ширина дифракционного максимума, λ —
длина волны рентгеновских лучей, θ — угол дифракции.
В поликристаллических образцах уширение кривых дифракци-
онного отражения, в основном, определяется двумя факторами:
размерами блоков и величиной микродеформаций. Ãлавная про-
блема возникает при определении вклада каждого из них в физиче-
ское уширение β дифракционного максимума. Êак правило, для её
разрешения используется метод аппроксимаций [15].
Экспериментальные общие уширения максимумов B′ и b′ интен-
сивности I(θ) от образца и эталона искажаются из-за дублетности
Kα-излучения. Поэтому сначала нужно внести поправки на дублет-
ность линий Kα1 и Kα2 для образца и эталона. По подправленным
значениям B и b соответственно от образца и эталона можно найти
истинное физическое уширение β [15]:
,
( ) ( )
b
B
g x f x dx
β
=
∫
(3)
где g(x) — функция распределения интенсивности при одновремен-
ном воздействии микродеформаций и размеров блоков на ширину
линии, f(x) — функция распределения интенсивности, связанная с
858 И. М. ФÎДЧÓÊ, Ю. Т. РÎМÀÍ, С. В. БÀЛÎВСЯÊ
геометрией съёмки.
Íа практике, как правило, в качестве аппроксимирующих
функций используют функции Ãаусса или Êоши.
Вклад от дисперсности блоков и микродеформаций в истинное
физическое уширение согласно [15] определяется как:
,
( ) ( )
mn
M x N x dx
β =
∫
(4)
где m и n — части физического уширения, связанные с дисперсно-
стью блоков и микродеформациями соответственно, M(x) — функ-
ция распределения интенсивности, вызванная только микродефор-
мациями решётки, N(x) — функция распределения интенсивности,
связанная только с размерами блоков.
Для материалов с кубической решёткой функции M(x) и N(x) за-
даются функцией Êоши или квадратичной функцией Êоши [15].
Тогда из (4) получим:
2( 2 )
.
4
m n
m n
+
β =
+
(5)
В методе аппроксимаций для расчёта m и n необходимо исполь-
зовать, как минимум, два дифракционных максимума. Для повы-
шения точности желательно, чтобы эти максимумы отвечали отра-
жениям от одного семейства плоскостей. Вместо (5) получим два со-
отношения:
2
1 1
1
1 1
( 2 )
,
4
m n
m n
+
β =
+
(6)
2
2 2
2
2 2
( 2 )
.
4
m n
m n
+
β =
+
(7)
Óчитывая (1) и (2), получим ещё два уравнения:
2 1
1 2
cos
,
cos
m
m
θ
=
θ
(8)
2 2
1 2
tg
.
tg
n
n
θ
=
θ
(9)
Îбщее решение уравнений (6)–(9) позволяет определить необхо-
димые для построения номограмм отношения m1/β1 и n2/β2. Их удоб-
нее представлять как функцию отношения β2/β1 [15]:
( ) ( )1 1 2 1 2 2 2 1/ / и / / .m f n fβ = β β β = β β (10)
ÍÎВЫЙ ПÎДХÎД Ê ÀÍÀЛИЗÓ РЕÍТÃЕÍÎВСÊИХ ДИФРÀÊТÎÃРÀММ 859
Построив номограммы и зная рабочее отношение β2/β1, находят
величины m1/β1 и n2/β2, а по ним, в свою очередь, D и ε.
Для повышения точности определения структурных параметров
были использованы вейвлет-преобразования [14]. Вейвлетный ана-
лиз представляет собой особый тип линейного преобразования сиг-
налов и физических данных. Базис собственных функций, по кото-
рому проводятся вейвлетные разложения сигналов, обладает мно-
гими специфическими свойствами и возможностями: вейвлетные
функции базиса позволяют сконцентрировать внимание на тех или
иных локальных особенностях рассматриваемых процессов, кото-
рые не могут быть обнаружены с помощью традиционных преобра-
зований Фурье и Лапласа [14]. Поэтому для обработки дифракци-
онных кривых используются вейвлет-преобразования, которые
позволили устранить высокочастотный шум и неоднородный фон
интенсивности на рентгеновских дифрактограммах. Использовано
одномерное дискретное вейвлетное преобразование (discrete wavelet
transform—DWT) [14], которое, по сравнению с непрерывным
вейвлетным преобразованием, требует меньших ресурсов, обеспе-
чивая при этом должную точность полученных результатов обра-
ботки.
Вейвлет-анализ рентгеновских кривых выполнен в среде Matlab
средствами пакета «Wavelet Toolbox» в следующем порядке:
1. вычисление одномерных вейвлетных преобразований исход-
ной рентгеновской дифрактограммы;
2. коррекция вейвлетных коэффициентов DL для каждого уровня
L, где L = 1, ... , Lmax (при этом коэффициенты D1 отвечают за мак-
симальные частоты сигналов, а коэффициенты Dmax — за мини-
мальные);
3. получение результирующей дифрактограммы путём обратного
вейвлетного преобразования.
4. РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ
Íа экспериментальной дифрактограмме (рис. 1, кривая а) наблю-
даются два дифракционных максимума, на форму которых значи-
тельно влияют высокочастотный шум и неоднородный фон, кото-
рый постепенно уменьшается при увеличении угла θ. Это значи-
тельно усложняет анализ экспериментальных данных. Íаличие
этих максимумов согласуется с литературными данными, получен-
ными в работе [7] для плёнок TiN с кубической решёткой типа NaCl.
Применение вейвлет-анализа позволяет, в первую очередь,
устранить высокочастотный шум путём обнуления вейвлетных ко-
эффициентов, которым отвечают максимальные частоты сигнала.
При этом использовано семейство биортогональных вейвлетов [14].
При вейвлет-фильтрации высокочастотного шума коэффициенты
860 И. М. ФÎДЧÓÊ, Ю. Т. РÎМÀÍ, С. В. БÀЛÎВСЯÊ
уровней D1–D2 устанавливались равными нулю (рис. 1, кривая б),
поскольку при занулении коэффициентов уровней с большим мас-
штабом происходило искажение формы полезного сигнала. Îпре-
делено, что для фильтрации высокочастотного шума на рентгенов-
ских дифрактограммах целесообразно использовать биортогональ-
ные вейвлеты при масштабе функции ≅ 6,8.
Óстранения неоднородного фона на рентгеновской дифрактограм-
ме можно достичь путём уменьшения вклада средних и высоких ча-
стот, т. е. оставляя только коэффициенты уровня D9 (рис. 1, кривая
в). Óдаление фона также было выполнено с помощью семейства
биортогональных вейвлетов при том же масштабе функции ≅ 6,8.
Результирующая дифрактограмма на рисунке 1 (кривая г) полу-
чена путём вычитания фона из кривой без высокочастотного шума.
Это позволило применить в качестве аппроксимирующей функции
для анализа дифракционных максимумов (111) и (200) квадратич-
ную функцию Êоши. Положения максимумов интенсивности на
исходной дифрактограмме для отражений (111) и (200) наблюдают-
ся при углах 2θ1 = 36,9° и 2θ2 = 43,14° соответственно, а после подав-
лении фона и шума — при 2θ1 = 37,02° и 2θ2 = 43,11°. Параметры
Рис. 1. Рентгеновская дифрактограмма тонких плёнок TiN: без обработки
(а); после устранения высокочастотного шума (б); вклад от фона, получен-
ный при уменьшении вкладов средних и высоких частот путём пропуска-
ния только вейвлетных коэффициентов уровня D9 (в); полезный сигнал (г),
полученный путём вычитания зависимости (б) от (в).
Fig. 1. X-ray diffractograms of thin TiN films: without processing (а); after
elimination of high-frequency noise (б); background obtained by the reduction of
contributions of the medium and high frequencies keeping only the D9-level co-
efficients (в); desired signal (г) obtained by subtracting dependence (б) from (в).
ÍÎВЫЙ ПÎДХÎД Ê ÀÍÀЛИЗÓ РЕÍТÃЕÍÎВСÊИХ ДИФРÀÊТÎÃРÀММ 861
решётки а, определённые исходя из местоположений максимумов
(111) и (200) интенсивности на исходной дифрактограмме, равны
а1 = 0,4219 нм и а2 = 0,4194 нм соответственно. Такой разброс значе-
ний ∆a ≅ 0,0025 нм обусловлен, по-видимому, негативным влияни-
ем фона. После вейвлет-обработки дифрактограммы и соответству-
ющей аппроксимации максимумов интенсивности получены пара-
метры а1 = 0,4206 нм и а2 = 0,4196 нм. В этом случае разница между
этими значениями ∆a ≅ 0,0009 нм существенно меньше и находится
в пределах погрешности измерений для поликристаллических тон-
ких плёнок.
Решая уравнения (6)–(10) и на их основе построив номограммы,
получим, что β2/β1 = 1,145 и, соответственно, m1/β1 = 0,276 и n2/β2 =
= 0,812. Из уравнений (1) и (2) получим средний размер зерна плён-
ки D ≅ 13,5 нм и усреднённое значение деформации ε ≅ 11,4⋅10−3.
Такой размер зёрен свидетельствует о развитой текстуре и способ-
ствует сглаживанию морфологии поверхности. Это может иметь
положительное влияние с точки зрения повышения микротвёрдо-
сти покрытия [19] и привести к значительному улучшению корро-
зионной стойкости материала [20].
5. ВЫВОДЫ
1. Проведены рентгеновские структурные исследования тонких
плёнок TiN, полученных методом реактивного магнетронного рас-
пыления. Íа рентгеновских дифрактограммах наблюдаются харак-
терные максимумы интенсивности, которые присущи объёмным
поликристаллическим образцам нитрида титана стехиометриче-
ского состава с кубической решёткой типа NaCl.
2. Вейвлет-фильтрация, как современная методика компьютерной
обработки данных, позволила уменьшить влияние высокочастотно-
го шума и неоднородной фоновой интенсивности на форму дифрак-
ционных максимумов, полученных от тонких плёнок TiN. Филь-
трация высокочастотного шума и удаление фона на рентгеновской
дифрактограмме было выполнено с помощью семейства биортого-
нальных вейвлетов при масштабе функции ≅ 6,8.
Такой подход значительно упрощает дальнейший анализ ди-
фрактограмм и существенно повышает точность определения ха-
рактеристик исследуемых плёнок. Óточнённые структурные пара-
метры плёнок TiN: период решётки a = 0,4201 нм, размер зерна
D ≅ 13,5 нм, значение микродеформации ε ≅ 11,4⋅10−3.
ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА
1. X. Lu, G. Wang, T. Zhai, M. Yu, S. Xie, Y. Ling, C. Liang, Y. Tong, and Y. Li,
862 И. М. ФÎДЧÓÊ, Ю. Т. РÎМÀÍ, С. В. БÀЛÎВСЯÊ
Nano Lett., 12, No. 10: 5376 (2012).
2. V. M. Vinokur, T. I. Baturina, M. V. Fistul, A. Yu. Mironov, M. R. Baklanov,
and C. Strunk, Nature, 452, No. 7187: 613 (2008).
3. M. Tao, D. Udeshi, S. Agarwal, E. Maldonado, and W. P. Kirk, Solid-State
Electron., 48, No. 2: 335 (2004).
4. G. Gagnon, J. F. Currie, C. Beique, J. L. Brebner, L. Gujrathi, and S. G. Onllet,
J. Appl. Phys., 75, No. 2: 1565 (1994).
5. М. Í. Солован, В. В. Брус, Э. В. Майструк, П. Д. Марьянчук,
Неорганические материалы, 50, № 1: 46 (2014).
6. M. S. R. N. Kiran, M. Ghanashyam Krishna, and K. A. Padmanabhan,
Appl. Surf. Sci., 255, No. 5: 1934 (2008).
7. М. Í. Солован, В. В. Брус, П. Д. Марьянчук, Фиçика и теõника
полупроводников, 48, № 2: 232 (2014).
8. V. V. Brus, M. I. Ilashchuk, Z. D. Kovalyuk, P. D. Maryanchuk, and
K. S. Ulyanytskiy, Semicond. Sci. Technol., 26, No. 12: 125006 (2011).
9. В. В. Брус, М. И. Илащук, З. Д. Êовалюк, П. Д. Марьянчук,
Ê. С. Óльяницкий, Б. Í. Ãрицюк, Фиçика и теõника полупроводников, 45,
№ 8: 1109 (2011).
10. A. L. Fahrenbruch and R. H. Bube, Fundamentals of Solar Cells: Photovoltaic
Solar Energy Conversion (New York: Academic Press: 1983).
11. B. L. Sharma and R. K. Purohit, Semiconductor Heterojunctions (Oxford, New
York: Pergamon Press: 1974).
12. M. N. Solovan, V. V. Brus, P. D. Maryanchuk, I. M. Fodchuk, V. M. Lorents,
A. M. Sletov, M. M. Sletov, and M. Gluba, Opt. Spectrosc., 117, No. 5: 755
(2014).
13. A. N. Kuchuk, V. P. Kladko, V. F. Machulin, A. Piotrowska, E. Kaminska,
K. Golaszewska, R. Ratajczak, and R. Minikayev, Rev. Adv. Mater. Sci., 8,
No. 1: 22 (2004).
14. R. Gonzalez, R. Woods, and S. Eddins, Digital Image Processing Using
MATLAB (New Jersey: Pearson Education Inc.: 2004).
15. A. K. Kulkarni, H. Schulz Kirk, T. S. Lim, and M. Khan, Thin Solid Films, 345,
No. 2: 273 (1999).
16. S. B. Hu, J. P. Tu, Z. Mei, Z. Z. Li, and X. B. Zhang, Surf. Coat. Technol., 141,
Nos. 2–3: 174 (2001).
17. T. S. Li, H. Li, and F. Pan, Surf. Coat. Technol., 137, Nos. 2–3: 225 (2001).
18. M. Haichuan, J. Seok, and R. Y. Lin, J. Electrochem. Soc., 150, No. 2: C67
(2003).
REFERENCES
1. X. Lu, G. Wang, T. Zhai, M. Yu, S. Xie, Y. Ling, C. Liang, Y. Tong, and Y. Li,
Nano Lett., 12, No. 10: 5376 (2012).
2. V. M. Vinokur, T. I. Baturina, M. V. Fistul, A. Yu. Mironov, M. R. Baklanov,
and C. Strunk, Nature, 452, No. 7187: 613 (2008).
3. M. Tao, D. Udeshi, S. Agarwal, E. Maldonado, and W. P. Kirk, Solid-State
Electron., 48, No. 2: 335 (2004).
4. G. Gagnon, J. F. Currie, C. Beique, J. L. Brebner, L. Gujrathi, and S. G. Onllet,
J. Appl. Phys., 75, No. 2: 1565 (1994).
https://doi.org/10.1021/nl302761z
https://doi.org/10.1038/nature06837
https://doi.org/10.1016/S0038-1101(03)00316-2
https://doi.org/10.1016/S0038-1101(03)00316-2
https://doi.org/10.1063/1.356392
ÍÎВЫЙ ПÎДХÎД Ê ÀÍÀЛИЗÓ РЕÍТÃЕÍÎВСÊИХ ДИФРÀÊТÎÃРÀММ 863
5. M. N. Solovan, V. V. Brus, E. V. Maystruk, and P. D. Mar’yanchuk,
Neorganicheskie Materialy, 50, No. 1: 46 (2014) (in Russian).
6. M. S. R. N. Kiran, M. Ghanashyam Krishna, and K. A. Padmanabhan,
Appl. Surf. Sci., 255, No. 5: 1934 (2008).
7. M. N. Solovan, V. V. Brus, and P. D. Mar’yanchuk, Fizika i Tekhnika
Poluprovodnikov, 48, No. 2: 232 (2014) (in Russian).
8. V. V. Brus, M. I. Ilashchuk, Z. D. Kovalyuk, P. D. Maryanchuk, and
K. S. Ulyanytskiy, Semicond. Sci. Technol., 26, No. 12: 125006 (2011).
9. V. V. Brus, M. I. Ilashchuk, Z. D. Kovalyuk, P. D. Mar’yanchuk,
K. S. Ul’yanitskiy, and B. N. Gritsyuk, Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 45,
No. 8: 1109 (2011) (in Russian).
10. A. L. Fahrenbruch and R. H. Bube, Fundamentals of Solar Cells: Photovoltaic
Solar Energy Conversion (New York: Academic Press: 1983).
11. B. L. Sharma and R. K. Purohit, Semiconductor Heterojunctions (Oxford, New
York: Pergamon Press: 1974).
12. M. N. Solovan, V. V. Brus, P. D. Maryanchuk, I. M. Fodchuk, V. M. Lorents,
A. M. Sletov, M. M. Sletov, and M. Gluba, Opt. Spectrosc., 117, No. 5: 755
(2014).
13. A. N. Kuchuk, V. P. Kladko, V. F. Machulin, A. Piotrowska, E. Kaminska,
K. Golaszewska, R. Ratajczak, and R. Minikayev, Rev. Adv. Mater. Sci., 8,
No. 1: 22 (2004).
14. R. Gonzalez, R. Woods, and S. Eddins, Digital Image Processing Using
MATLAB (New Jersey: Pearson Education Inc.: 2004).
15. A. K. Kulkarni, H. Schulz Kirk, T. S. Lim, and M. Khan, Thin Solid Films, 345,
No. 2: 273 (1999).
16. S. B. Hu, J. P. Tu, Z. Mei, Z. Z. Li, and X. B. Zhang, Surf. Coat. Technol., 141,
Nos. 2–3: 174 (2001).
17. T. S. Li, H. Li, and F. Pan, Surf. Coat. Technol., 137, Nos. 2–3: 225 (2001).
18. M. Haichuan, J. Seok, and R. Y. Lin, J. Electrochem. Soc., 150, No. 2: C67
(2003).
https://doi.org/10.7868/S0002337X14010175
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2008.06.122
https://doi.org/10.1088/0268-1242/26/12/125006
https://doi.org/10.1134/S0030400X14110198
https://doi.org/10.1134/S0030400X14110198
https://doi.org/10.1016/S0040-6090(98)01430-8
https://doi.org/10.1016/S0040-6090(98)01430-8
https://doi.org/10.1016/S0257-8972(01)01041-6
https://doi.org/10.1016/S0257-8972(01)01041-6
https://doi.org/10.1016/S0257-8972(00)01096-3
https://doi.org/10.1149/1.1534711
https://doi.org/10.1149/1.1534711
<<
/ASCII85EncodePages false
/AllowTransparency false
/AutoPositionEPSFiles true
/AutoRotatePages /None
/Binding /Left
/CalGrayProfile (Dot Gain 20%)
/CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2)
/sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CannotEmbedFontPolicy /Error
/CompatibilityLevel 1.4
/CompressObjects /Tags
/CompressPages true
/ConvertImagesToIndexed true
/PassThroughJPEGImages true
/CreateJobTicket false
/DefaultRenderingIntent /Default
/DetectBlends true
/DetectCurves 0.0000
/ColorConversionStrategy /CMYK
/DoThumbnails false
/EmbedAllFonts true
/EmbedOpenType false
/ParseICCProfilesInComments true
/EmbedJobOptions true
/DSCReportingLevel 0
/EmitDSCWarnings false
/EndPage -1
/ImageMemory 1048576
/LockDistillerParams false
/MaxSubsetPct 100
/Optimize true
/OPM 1
/ParseDSCComments true
/ParseDSCCommentsForDocInfo true
/PreserveCopyPage true
/PreserveDICMYKValues true
/PreserveEPSInfo true
/PreserveFlatness true
/PreserveHalftoneInfo false
/PreserveOPIComments true
/PreserveOverprintSettings true
/StartPage 1
/SubsetFonts true
/TransferFunctionInfo /Apply
/UCRandBGInfo /Preserve
/UsePrologue false
/ColorSettingsFile ()
/AlwaysEmbed [ true
]
/NeverEmbed [ true
]
/AntiAliasColorImages false
/CropColorImages true
/ColorImageMinResolution 300
/ColorImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleColorImages true
/ColorImageDownsampleType /Bicubic
/ColorImageResolution 300
/ColorImageDepth -1
/ColorImageMinDownsampleDepth 1
/ColorImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeColorImages true
/ColorImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterColorImages true
/ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG
/ColorACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/ColorImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000ColorACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000ColorImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasGrayImages false
/CropGrayImages true
/GrayImageMinResolution 300
/GrayImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleGrayImages true
/GrayImageDownsampleType /Bicubic
/GrayImageResolution 300
/GrayImageDepth -1
/GrayImageMinDownsampleDepth 2
/GrayImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeGrayImages true
/GrayImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterGrayImages true
/GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG
/GrayACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/GrayImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000GrayACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000GrayImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasMonoImages false
/CropMonoImages true
/MonoImageMinResolution 1200
/MonoImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleMonoImages true
/MonoImageDownsampleType /Bicubic
/MonoImageResolution 1200
/MonoImageDepth -1
/MonoImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeMonoImages true
/MonoImageFilter /CCITTFaxEncode
/MonoImageDict <<
/K -1
>>
/AllowPSXObjects false
/CheckCompliance [
/None
]
/PDFX1aCheck false
/PDFX3Check false
/PDFXCompliantPDFOnly false
/PDFXNoTrimBoxError true
/PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXSetBleedBoxToMediaBox true
/PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXOutputIntentProfile ()
/PDFXOutputConditionIdentifier ()
/PDFXOutputCondition ()
/PDFXRegistryName ()
/PDFXTrapped /False
/CreateJDFFile false
/Description <<
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
/BGR <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>
/CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002>
/CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002>
/CZE <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>
/DAN <FEFF004200720075006700200069006e0064007300740069006c006c0069006e006700650072006e0065002000740069006c0020006100740020006f007000720065007400740065002000410064006f006200650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e007400650072002c0020006400650072002000620065006400730074002000650067006e006500720020007300690067002000740069006c002000700072006500700072006500730073002d007500640073006b007200690076006e0069006e00670020006100660020006800f8006a0020006b00760061006c0069007400650074002e0020004400650020006f007000720065007400740065006400650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e0074006500720020006b0061006e002000e50062006e00650073002000690020004100630072006f00620061007400200065006c006c006500720020004100630072006f006200610074002000520065006100640065007200200035002e00300020006f00670020006e0079006500720065002e>
/DEU <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>
/ESP <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>
/ETI <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>
/FRA <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>
/GRE <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>
/HEB <FEFF05D405E905EA05DE05E905D5002005D105D405D205D305E805D505EA002005D005DC05D4002005DB05D305D9002005DC05D905E605D505E8002005DE05E105DE05DB05D9002000410064006F006200650020005000440046002005D405DE05D505EA05D005DE05D905DD002005DC05D405D305E405E105EA002005E705D305DD002D05D305E405D505E1002005D005D905DB05D505EA05D905EA002E002005DE05E105DE05DB05D90020005000440046002005E905E005D505E605E805D5002005E005D905EA05E005D905DD002005DC05E405EA05D905D705D4002005D105D005DE05E605E205D505EA0020004100630072006F006200610074002005D5002D00410064006F00620065002000520065006100640065007200200035002E0030002005D505D205E805E105D005D505EA002005DE05EA05E705D305DE05D505EA002005D905D505EA05E8002E05D005DE05D905DD002005DC002D005000440046002F0058002D0033002C002005E205D905D905E005D5002005D105DE05D305E805D905DA002005DC05DE05E905EA05DE05E9002005E905DC0020004100630072006F006200610074002E002005DE05E105DE05DB05D90020005000440046002005E905E005D505E605E805D5002005E005D905EA05E005D905DD002005DC05E405EA05D905D705D4002005D105D005DE05E605E205D505EA0020004100630072006F006200610074002005D5002D00410064006F00620065002000520065006100640065007200200035002E0030002005D505D205E805E105D005D505EA002005DE05EA05E705D305DE05D505EA002005D905D505EA05E8002E>
/HRV (Za stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.)
/HUN <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>
/ITA <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>
/JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002>
/KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e>
/LTH <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>
/LVI <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>
/NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.)
/NOR <FEFF004200720075006b00200064006900730073006500200069006e006e007300740069006c006c0069006e00670065006e0065002000740069006c002000e50020006f0070007000720065007400740065002000410064006f006200650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740065007200200073006f006d00200065007200200062006500730074002000650067006e0065007400200066006f00720020006600f80072007400720079006b006b0073007500740073006b00720069006600740020006100760020006800f800790020006b00760061006c0069007400650074002e0020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740065006e00650020006b0061006e002000e50070006e00650073002000690020004100630072006f00620061007400200065006c006c00650072002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000200065006c006c00650072002000730065006e006500720065002e>
/POL <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>
/PTB <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>
/RUM <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>
/RUS <FEFF04180441043f043e043b044c04370443043904420435002004340430043d043d044b04350020043d0430044104420440043e0439043a043800200434043b044f00200441043e043704340430043d0438044f00200434043e043a0443043c0435043d0442043e0432002000410064006f006200650020005000440046002c0020043c0430043a04410438043c0430043b044c043d043e0020043f043e04340445043e0434044f04490438044500200434043b044f00200432044b0441043e043a043e043a0430044704350441044204320435043d043d043e0433043e00200434043e043f0435044704300442043d043e0433043e00200432044b0432043e04340430002e002000200421043e043704340430043d043d044b04350020005000440046002d0434043e043a0443043c0435043d0442044b0020043c043e0436043d043e0020043e0442043a0440044b043204300442044c002004410020043f043e043c043e0449044c044e0020004100630072006f00620061007400200438002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020043800200431043e043b043504350020043f043e04370434043d043804450020043204350440044104380439002e>
/SKY <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>
/SLV <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>
/SUO <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>
/SVE <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>
/TUR <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>
/UKR <FEFF04120438043a043e0440043804410442043e043204430439044204350020044604560020043f043004400430043c043504420440043800200434043b044f0020044104420432043e04400435043d043d044f00200434043e043a0443043c0435043d044204560432002000410064006f006200650020005000440046002c0020044f043a04560020043d04300439043a04400430044904350020043f045604340445043e0434044f0442044c00200434043b044f0020043204380441043e043a043e044f043a04560441043d043e0433043e0020043f0435044004350434043404400443043a043e0432043e0433043e0020043404400443043a0443002e00200020042104420432043e04400435043d045600200434043e043a0443043c0435043d0442043800200050004400460020043c043e0436043d04300020043204560434043a0440043804420438002004430020004100630072006f006200610074002004420430002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002004300431043e0020043f04560437043d04560448043e04570020043204350440044104560457002e>
/ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.)
>>
/Namespace [
(Adobe)
(Common)
(1.0)
]
/OtherNamespaces [
<<
/AsReaderSpreads false
/CropImagesToFrames true
/ErrorControl /WarnAndContinue
/FlattenerIgnoreSpreadOverrides false
/IncludeGuidesGrids false
/IncludeNonPrinting false
/IncludeSlug false
/Namespace [
(Adobe)
(InDesign)
(4.0)
]
/OmitPlacedBitmaps false
/OmitPlacedEPS false
/OmitPlacedPDF false
/SimulateOverprint /Legacy
>>
<<
/AddBleedMarks false
/AddColorBars false
/AddCropMarks false
/AddPageInfo false
/AddRegMarks false
/ConvertColors /ConvertToCMYK
/DestinationProfileName ()
/DestinationProfileSelector /DocumentCMYK
/Downsample16BitImages true
/FlattenerPreset <<
/PresetSelector /MediumResolution
>>
/FormElements false
/GenerateStructure false
/IncludeBookmarks false
/IncludeHyperlinks false
/IncludeInteractive false
/IncludeLayers false
/IncludeProfiles false
/MultimediaHandling /UseObjectSettings
/Namespace [
(Adobe)
(CreativeSuite)
(2.0)
]
/PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK
/PreserveEditing true
/UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged
/UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile
/UseDocumentBleed false
>>
]
>> setdistillerparams
<<
/HWResolution [2400 2400]
/PageSize [612.000 792.000]
>> setpagedevice
|