Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі цирконійових наноплівок, нанесених на неметалеві матеріяли

• Published in: Металлофизика и новейшие технологии
• Date: 2017
• Main Authors: Найдіч, Ю.В., Габ, І.І., Стецюк, Т.В., Костюк, Б.Д.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2017
• Subjects: Металлические поверхности и плёнки
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130330
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі цирконійових наноплівок, нанесених на неметалеві матеріяли / Ю.В. Найдіч, І.І. Габ, Т.В. Стецюк, Б.Д. Костюк // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 7. — С. 881-892. — Бібліогр.: 10 назв. — укр.

Наведено результати дослідження кінетики дисперґування цирконійових наноплівок завтовшки у 100 нм, яких було нанесено на поверхні зразків, виготовлених з монокристалів Al₂O₃ (лейкосапфір), ZrO₂, SiC та кераміки AlN, і відпалено у вакуумі за температур 1400–1600°C впродовж різного часу витримки при кожній температурі в інтервалі 2–20 хв. Приведены результаты исследования кинетики диспергирования циркониевых наноплёнок толщиной в 100 нм, нанесённых на поверхности образцов, изготовленных из монокристаллов Al₂O₃ (лейкосапфир), ZrO₂, SiC и керамики AlN, и отожжённых в вакууме при температурах 1400–1600°C в течение различного времени выдержки при каждой температуре в интервале 2–20 мин. Dispersion kinetics of the zirconium nanofilms with thickness of 100 nm deposited onto samples’ surfaces, which are fabricated from single crystals of Al₂O₃ (leucosapphire), ZrO₂, SiC, and ceramics based on AlN and annealed in vacuum at 1400–1600°C is investigated during different time of soaking at each temperature in interval 2–20 min.