Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі цирконійових наноплівок, нанесених на неметалеві матеріяли
Наведено результати дослідження кінетики дисперґування цирконійових наноплівок завтовшки у 100 нм, яких було нанесено на поверхні зразків, виготовлених з монокристалів Al₂O₃ (лейкосапфір), ZrO₂, SiC та кераміки AlN, і відпалено у вакуумі за температур 1400–1600°C впродовж різного часу витримки при к...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Дата: | 2017 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2017
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130330 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі цирконійових наноплівок, нанесених на неметалеві матеріяли / Ю.В. Найдіч, І.І. Габ, Т.В. Стецюк, Б.Д. Костюк // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 7. — С. 881-892. — Бібліогр.: 10 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-130330 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Найдіч, Ю.В. Габ, І.І. Стецюк, Т.В. Костюк, Б.Д. 2018-02-10T18:18:48Z 2018-02-10T18:18:48Z 2017 Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі цирконійових наноплівок, нанесених на неметалеві матеріяли / Ю.В. Найдіч, І.І. Габ, Т.В. Стецюк, Б.Д. Костюк // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 7. — С. 881-892. — Бібліогр.: 10 назв. — укр. 1024-1809 PACS: 68.35.-p, 68.55.-a, 81.05.Je, 81.15.Cd, 81.20.Vj, 81.40.Ef, 82.70.Uv DOI: 10.15407/mfint.39.07.0881 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130330 Наведено результати дослідження кінетики дисперґування цирконійових наноплівок завтовшки у 100 нм, яких було нанесено на поверхні зразків, виготовлених з монокристалів Al₂O₃ (лейкосапфір), ZrO₂, SiC та кераміки AlN, і відпалено у вакуумі за температур 1400–1600°C впродовж різного часу витримки при кожній температурі в інтервалі 2–20 хв. Приведены результаты исследования кинетики диспергирования циркониевых наноплёнок толщиной в 100 нм, нанесённых на поверхности образцов, изготовленных из монокристаллов Al₂O₃ (лейкосапфир), ZrO₂, SiC и керамики AlN, и отожжённых в вакууме при температурах 1400–1600°C в течение различного времени выдержки при каждой температуре в интервале 2–20 мин. Dispersion kinetics of the zirconium nanofilms with thickness of 100 nm deposited onto samples’ surfaces, which are fabricated from single crystals of Al₂O₃ (leucosapphire), ZrO₂, SiC, and ceramics based on AlN and annealed in vacuum at 1400–1600°C is investigated during different time of soaking at each temperature in interval 2–20 min. uk Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Металлические поверхности и плёнки Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі цирконійових наноплівок, нанесених на неметалеві матеріяли Кинетика диспергирования при отжиге в вакууме циркониевых наноплёнок, нанесённых на неметаллические материалы Kinetics of a Dispersion of the Zirconium Nanofilms Deposited on Nonmetallic Materials During Annealing in Vacuum Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі цирконійових наноплівок, нанесених на неметалеві матеріяли |
| spellingShingle |
Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі цирконійових наноплівок, нанесених на неметалеві матеріяли Найдіч, Ю.В. Габ, І.І. Стецюк, Т.В. Костюк, Б.Д. Металлические поверхности и плёнки |
| title_short |
Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі цирконійових наноплівок, нанесених на неметалеві матеріяли |
| title_full |
Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі цирконійових наноплівок, нанесених на неметалеві матеріяли |
| title_fullStr |
Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі цирконійових наноплівок, нанесених на неметалеві матеріяли |
| title_full_unstemmed |
Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі цирконійових наноплівок, нанесених на неметалеві матеріяли |
| title_sort |
кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі цирконійових наноплівок, нанесених на неметалеві матеріяли |
| author |
Найдіч, Ю.В. Габ, І.І. Стецюк, Т.В. Костюк, Б.Д. |
| author_facet |
Найдіч, Ю.В. Габ, І.І. Стецюк, Т.В. Костюк, Б.Д. |
| topic |
Металлические поверхности и плёнки |
| topic_facet |
Металлические поверхности и плёнки |
| publishDate |
2017 |
| language |
Ukrainian |
| container_title |
Металлофизика и новейшие технологии |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Кинетика диспергирования при отжиге в вакууме циркониевых наноплёнок, нанесённых на неметаллические материалы Kinetics of a Dispersion of the Zirconium Nanofilms Deposited on Nonmetallic Materials During Annealing in Vacuum |
| description |
Наведено результати дослідження кінетики дисперґування цирконійових наноплівок завтовшки у 100 нм, яких було нанесено на поверхні зразків, виготовлених з монокристалів Al₂O₃ (лейкосапфір), ZrO₂, SiC та кераміки AlN, і відпалено у вакуумі за температур 1400–1600°C впродовж різного часу витримки при кожній температурі в інтервалі 2–20 хв.
Приведены результаты исследования кинетики диспергирования циркониевых наноплёнок толщиной в 100 нм, нанесённых на поверхности образцов, изготовленных из монокристаллов Al₂O₃ (лейкосапфир), ZrO₂, SiC и керамики AlN, и отожжённых в вакууме при температурах 1400–1600°C в течение различного времени выдержки при каждой температуре в интервале 2–20 мин.
Dispersion kinetics of the zirconium nanofilms with thickness of 100 nm deposited onto samples’ surfaces, which are fabricated from single crystals of Al₂O₃ (leucosapphire), ZrO₂, SiC, and ceramics based on AlN and annealed in vacuum at 1400–1600°C is investigated during different time of soaking at each temperature in interval 2–20 min.
|
| issn |
1024-1809 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130330 |
| citation_txt |
Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі цирконійових наноплівок, нанесених на неметалеві матеріяли / Ю.В. Найдіч, І.І. Габ, Т.В. Стецюк, Б.Д. Костюк // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 7. — С. 881-892. — Бібліогр.: 10 назв. — укр. |
| work_keys_str_mv |
AT naidíčûv kínetikadisperguvannâprivídpalíuvakuumícirkoníiovihnanoplívoknanesenihnanemetalevímateríâli AT gabíí kínetikadisperguvannâprivídpalíuvakuumícirkoníiovihnanoplívoknanesenihnanemetalevímateríâli AT stecûktv kínetikadisperguvannâprivídpalíuvakuumícirkoníiovihnanoplívoknanesenihnanemetalevímateríâli AT kostûkbd kínetikadisperguvannâprivídpalíuvakuumícirkoníiovihnanoplívoknanesenihnanemetalevímateríâli AT naidíčûv kinetikadispergirovaniâpriotžigevvakuumecirkonievyhnanoplenoknanesennyhnanemetalličeskiematerialy AT gabíí kinetikadispergirovaniâpriotžigevvakuumecirkonievyhnanoplenoknanesennyhnanemetalličeskiematerialy AT stecûktv kinetikadispergirovaniâpriotžigevvakuumecirkonievyhnanoplenoknanesennyhnanemetalličeskiematerialy AT kostûkbd kinetikadispergirovaniâpriotžigevvakuumecirkonievyhnanoplenoknanesennyhnanemetalličeskiematerialy AT naidíčûv kineticsofadispersionofthezirconiumnanofilmsdepositedonnonmetallicmaterialsduringannealinginvacuum AT gabíí kineticsofadispersionofthezirconiumnanofilmsdepositedonnonmetallicmaterialsduringannealinginvacuum AT stecûktv kineticsofadispersionofthezirconiumnanofilmsdepositedonnonmetallicmaterialsduringannealinginvacuum AT kostûkbd kineticsofadispersionofthezirconiumnanofilmsdepositedonnonmetallicmaterialsduringannealinginvacuum |
| first_indexed |
2025-11-26T08:21:09Z |
| last_indexed |
2025-11-26T08:21:09Z |
| _version_ |
1850615506170544128 |
| fulltext |
PACS numbers: 68.35.-p, 68.55.-a, 81.05.Je, 81.15.Cd, 81.20.Vj, 81.40.Ef, 82.70.Uv
Кінетика дисперґування при відпалі у вакуумі цирконійових
наноплівок, нанесених на неметалеві матеріяли
Ю. В. Найдіч, І. І. Габ, Т. В. Стецюк, Б. Д. Костюк
Інститут проблем матеріалознавства ім. I. М. Францевича НАН України,
вул. Академіка Кржижановського, 3,
03142 Київ, Україна
Наведено результати дослідження кінетики дисперґування цирконійових
наноплівок завтовшки у 100 нм, яких було нанесено на поверхні зразків,
виготовлених з монокристалів Al2O3 (лейкосапфір), ZrO2, SiC та кераміки
AlN, і відпалено у вакуумі за температур 1400–1600°C впродовж різного
часу витримки при кожній температурі в інтервалі 2–20 хв.
Ключові слова: кінетика дисперґування, цирконійова наноплівка, моно-
кристал, лейкосапфір, кераміка.
Dispersion kinetics of the zirconium nanofilms with thickness of 100 nm de-
posited onto samples’ surfaces, which are fabricated from single crystals of
Al2O3 (leucosapphire), ZrO2, SiC, and ceramics based on AlN and annealed in
vacuum at 1400–1600°C is investigated during different time of soaking at
each temperature in interval 2–20 min.
Key words: dispersion kinetics, zirconium nanofilms, single crystal, leu-
cosapphire, ceramics.
Приведены результаты исследования кинетики диспергирования цирко-
ниевых наноплёнок толщиной в 100 нм, нанесённых на поверхности об-
разцов, изготовленных из монокристаллов Al2O3 (лейкосапфир), ZrO2, SiC
и керамики AlN, и отожжённых в вакууме при температурах 1400–
Corresponding author: Іvan Іvanovych Gab
E-mail: gab@ipms.kiev.ua
I. M. Frantsevich Institute for Problems in Materials Science, N.A.S. of Ukraine,
3 Academician Krzhyzhanovsky Str., UA-03142 Kyiv, Ukraine
Please cite this article as: Yu. V. Naidich, І. І. Gab, Т. V. Stetsyuk, and B. D. Kоstyuk,
Kinetics of a Dispersion of the Zirconium Nanofilms Deposited on Nonmetallic
Materials During Annealing in Vacuum, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 39,
No. 7: 881–892 (2017) (in Ukrainian), DOI: 10.15407/mfint.39.07.0881.
Металлоôиз. новеéøие теõнол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol.
2017, т. 39, № 7, сс. 881–892 / DOI: 10.15407/mfint.39.07.0881
Îттиски доступны непосредственно от издателя
Ôотокопирование разрешено только
в соответствии с лицензией
2017 ÈÌÔ (Èнститут металлофизики
им. Г. В. Курдюмова НÀН Óкраины)
Напечатано в Óкраине.
881
882 Ю. В. НÀЙДІЧ, І. І. ГÀБ, Т. В. СТЕЦЮК, Б. Д. КÎСТЮК
1600°C в течение различного времени выдержки при каждой температуре
в интервале 2–20 мин.
Ключевые слова: кинетика диспергирования, циркониевая наноплёнка,
монокристалл, лейкосапфир, керамика.
(Отримано 19 червня 2017 р.)
1. ВСТУП
З’єднання кераміки та інших неметалевих матеріялів з металами з
застосуванням металевих припоїв та прокладок, що деформуються,
широко застосовується в сучасній техніці. Для одержання таких
з’єднань часто використовують тонкі металеві плівки, які знахо-
дять широке застосування в різних галузях науки й техніки.
Товщина плівок, нанесених на металеві та неметалеві матеріяли,
може знаходитись в широкому діяпазоні — від кількох нанометрів
до десятків мікронів. В техніці дуже часто використовують метале-
ві плівки різних товщин, які можуть бути нанесені різними спосо-
бами (плазмовим напорошенням, магнетронним розпорошенням,
хемічним та електрохемічним методами, електронно-променевим
розпорошенням тощо) на неметалеві деталі з метою з’єднання їх
між собою або з металами паянням або зварюванням тиском [1–6].
Îсобливу роль при з’єднанні таких різнорідних матеріялів відіг-
рають адгезійно активні метали, до яких відносяться титан, цирко-
ній, ніобій, гафній та інші. Ці метали або додають в склад метале-
вих припоїв, або використовують в якості покриттів, зокрема у ви-
гляді тонких плівок на з’єднуваних поверхнях матеріялів, а при
застосуванні зварювання тиском можливо одержати з’єднання різ-
них матеріялів через прокладки з цих металів, які деформуються.
Наведені метали мають добру адгезію як до неметалевих, так і до
металевих матеріялів і забезпечують добре розтікання металевих
припоїв і взаємодію на межі припій–тверді поверхні, що мають бу-
ти з’єднані.
Позаяк в процесі паяння чи зварювання тиском металізовані не-
металеві деталі мають нагрітися до достатньо високих температур
(1300–1600°С), вивчення процесів дисперґування–коаґулювання,
що відбуваються при відпалі в цих металевих наноплівках, стано-
вить як пізнавальний інтерес, так і практичне значення для розро-
бки технологічних режимів з’єднання неметалевих матеріялів.
Раніше нами була досліджена кінетика дисперґування при від-
палі у вакуумі наноплівок ніобію та гафнію, нанесених на оксидні
та неоксидні неметалеві матеріяли, зокрема сапфір, кераміку на
основі ZrO2 та ін. [7, 8].
Завданням даної роботи було вивчення кінетики дисперґування
при відпалі цирконійових наноплівок, нанесених на деякі оксидні
КІНЕТÈКÀ ДÈСПЕРҐÓВÀННЯ ПРÈ ВІДПÀЛІ Ó ВÀКÓÓÌІ НÀНÎПЛІВÎК 883
та неоксидні матеріяли.
2. МАТЕРІЯЛИ ТА МЕТОДИКА ЕКСПЕРИМЕНТУ
Цирконійову наноплівку завтовшки у 100 нм наносили на немета-
леві підкладинки розміром 4×4×1 мм3, які були виготовлені з лей-
косапфіру (монокристал оксиду алюмінію), монокристалів діокси-
ду цирконію та карбіду кремнію, а також нітридоалюмінійової ке-
раміки, електронно-променевим розпорошенням [9]. Підкладинки
були виготовлені з матеріялів, які або самі широко використову-
ються в техніці, зокрема, лейкосапфір, або вони є основою високо-
температурних керамік. Плівки наносили на поліровані поверхні
підкладинок. Параметр шорсткості поверхні Rz дорівнював 0,03–
0,05 мкм.
Відполіровані поверхні підкладинок знежирювали ацетоном та
етиловим спиртом, після чого підкладинки з лейкосапфіру та діок-
сиду цирконію відпалювали на повітрі за температури 1200°С про-
тягом двох годин, а потім ці ж підкладинки разом з підкладинками,
виготовленими з монокристалу карбіду кремнію та нітридокремні-
йової кераміки, ще відпалювали у вакуумі не нижче 2⋅10−3
Па за тієї
ж температури протягом однієї години. Товщину 100 нм металевих
наноплівок вибрали, зважуючи на те, що такі плівки є суцільними,
повністю вкривають оксидні поверхні, мають добру адгезію до них
та забезпечують добре розтікання припою [10]. Більш товсті плівки
мають властивість злущуватися завдяки наявності в них залишко-
вих напружень як внаслідок ростових напружень при багатошаро-
вому напорошенні, так і через велику ріжницю в температурних
коефіцієнтах лінійного розширення (ТКЛР) металів плівок та ма-
теріялів підкладинок. Плівки наносили протягом 10–15 хв. на під-
кладинки, температура яких була в межах 100°С, а товщину плівок
визначали за допомогою спеціяльного пристрою, чутливим елемен-
том якого є кварцовий датчик.
Плівки на всі підкладинки були нанесені в однакових умовах, а
їх якість контролювали за допомогою металографічного мікроско-
пу XJL-17. Відпал вкритих металевими плівками неметалевих зра-
зків виконували у вакуумній камері протягом різних проміжків
часу (від 2 до 20 хв.) за різних температур (1200–1600°С) у вакуумі
не гірше 2⋅10−3
Па.
Відпалені зразки досліджували за допомогою сканувальних еле-
ктронних мікроскопів JCM-6700, JCM-5000 та атомно-силового мі-
кроскопу Nano Scope III a, одержуючи при цьому мікрофотографії.
Шляхом використання цих мікрофотографій була вирахувана
частина поверхні підкладинок, вкрита острівцями плівок металів,
планіметричним методом зважування. Тобто визначали вагу вирі-
заних з мікрофотографій елементів металізованих покриттів зраз-
884 Ю. В. НÀЙДІЧ, І. І. ГÀБ, Т. В. СТЕЦЮК, Б. Д. КÎСТЮК
ків [2]. Дані, одержані за цим методом, були оброблені та представ-
лені у вигляді залежностей площ поверхонь зразків, що залишили-
ся вкритими фраґментами металевих плівок після відпалу, від па-
раметрів відпалу (температури та часу відпалу).
3. РЕЗУЛЬТАТИ ДОСЛІДЖЕНЬ ТА ЇХ ОБГОВОРЕННЯ
Вихідні плівки цирконію на всіх підкладинках були суцільними,
без будь яких суттєвих дефектів і на мікрофотографіях, одержаних
з використанням електронних сканувальних мікроскопів, видно
лише темне поле однорідного темно-сірого кольору.
При відпалі цирконійової плівки на лейкосапфірі перші зміни в
структурі плівки у вигляді дрібних тріщин з’явилися лише після її
п’ятихвилинного відпалу при 1400°С. Кількість тріщин побільша-
ла після десятихвилинної витримки за цієї ж температури, а після
двадцятихвилинного відпалу цирконійова плівка вже помітно дис-
перґувала (рис. 1, а). Після двохвилинного відпалу при 1500°С плі-
вка почала дисперґувати та одночасно в ній з’явились продовгуваті,
але не широкі тріщини. Подальше збільшення часу відпалу за цієї
температури до п’яти та десяти хвилин інтенсифікувало процес ро-
зтріскування та дисперґування наноплівки, котрий значно посили-
вся після двадцятихвилинної витримки (рис. 1, б). В результаті ві-
дпалу при 1600°С плівка почала достатньо інтенсивно дисперґувати
з перших хвилин відпалу, тобто від двох до п’яти хвилин витримки.
Після десятихвилинного відпалу при 1600°С плівка дисперґувала
майже повністю (рис. 1, в), і завершився процес її розпаду після
двадцятихвилинної витримки, коли залишки плівки вкривали
лише близько 20% поверхні лейкосапфіру (рис. 2).
а
б
в
Рис. 1. СЕÌ-зображення (×3000) плівки цирконію завтовшки у 100 нм на
лейкосапфірі, відпаленої у вакуумі: а — 1400°С, 20 хв., б — 1500°С, 20 хв., в
— 1600°С, 10 хв.
Fig. 1. SEM images (×3000) of zirconium film with thickness of 100 nm on
leucosapphire after annealing in vacuum: а—1400°С, 20 min, б—1500°С, 20
min, в—1600°С, 10 min.
КІНЕТÈКÀ ДÈСПЕРҐÓВÀННЯ ПРÈ ВІДПÀЛІ Ó ВÀКÓÓÌІ НÀНÎПЛІВÎК 885
На рисунку 2 наведено графіки, що відображають кінетику дис-
перґування цирконійової наноплівки на лейкосапфірі при відпалі її
за різних температур (1400–1600°С) протягом витримки при кож-
ній температурі від 2 до 20 хв.
Вихідна плівка цирконію на діоксиді цирконію (монокристал),
також як і на лейкосапфірі, була суцільною і залишалась такою аж
до п’ятихвилинного відпалу при 1400°С. При цьому в ній виникли
лише поодинокі тріщини, мабуть через ріжницю в термічних коефі-
цієнтах лінійного розширення цирконію (5⋅10−6
1/°С) та монокрис-
талу діоксиду цирконію (11⋅10−6
1/°С). Після десятихвилинного від-
палу при 1400°С в структурі наноплівки з’явились певні зміни і вона
почала частково спучуватися та розтріскуватися, а після двадцяти-
хвилинної витримки вся плівка почала дисперґувати (рис. 3, а).
Вже в перші хвилини відпалу плівки при 1500°С був виявлений
початок її дисперґування. Цей процес інтенсифікувався при пода-
льшому збільшенні часу витримки до 10 хв., а після двадцятихви-
линного відпалу плівка в значній мірі дисперґувала, але при цьому
вона вкривала близько 83% поверхні монокристалу діоксиду цир-
конію (рис. 3, б).
Зміни в структурі плівки були виявлені також після двохвилин-
ного її відпалу при 1600°С, а після п’ятихвилинної витримки плів-
ка значною мірою спучилася та почала розтріскуватися. Після де-
сятихвилинного відпалу плівка почала інтенсивно дисперґувати
Рис. 2. Залежність площі лейкосапфіру, вкритої цирконійовою плівкою,
від часу відпалу за різних температур (1400–1600°С).
Fig. 2. Dependence of leucosapphire area covered by zirconium film on anneal-
ing time at various temperatures (1400–1600°C).
886 Ю. В. НÀЙДІЧ, І. І. ГÀБ, Т. В. СТЕЦЮК, Б. Д. КÎСТЮК
(рис. 3, в). Двадцятихвилинна витримка призвела до сильного роз-
паду плівки, при цьому елементи її виявилися певною мірою
пов’язані між собою, а не зовсім відокремленими і вкривали близь-
ко 68% поверхні монокристалу діоксиду цирконію (рис. 4).
а
б
в
Рис. 3. СЕÌ зображення (×3000) плівки цирконію завтовшки 100 нм на
діоксиді цирконію, відпаленої у вакуумі: а — 1400°С, 20 хв., б — 1500°С,
20 хв., в — 1600°С, 10 хв.
Fig. 3. SEM images (×3000) of zirconium film with thickness of 100 nm on
zirconia after annealing in vacuum: а—1400°С, 20 min, б—1500°С, 20 min,
в—1600°С, 10 min.
Рис. 4. Залежність площі діоксиду цирконію, вкритої цирконійовою плів-
кою, від часу відпалу при різних температурах (1400–1600°С).
Fig. 4. Dependence of the Zirconia area covered by zirconium film on anneal-
ing time at various temperatures (1400–1600°C).
КІНЕТÈКÀ ДÈСПЕРҐÓВÀННЯ ПРÈ ВІДПÀЛІ Ó ВÀКÓÓÌІ НÀНÎПЛІВÎК 887
На рисунку 4 побудовано графіки, що відображають кінетику ди-
сперґування цирконійової наноплівки на монокристалі діоксиду
цирконію при відпалі її за різних температур (1400–1600°С) протя-
гом витримки при кожній температурі від 2 до 20 хвилин.
Вихідна плівка цирконію на нітриді алюмінію, також як і на ок-
сидах, була суцільною і в ній також не відбувалось помітних змін
навіть після двадцятихвилинного нагріву до 1300°С. Перші зміни в
структурі плівки з’явилися після двохвилинного відпалу при
1400°С, після п’ятихвилинного відпалу за цієї температури в плівці
з’явились невеликі тріщини і вона почала спучуватись в деяких мі-
сцях. Кількість таких спучувань значно зросла після десятихви-
линного нагріву (рис. 5, а), а після двадцятихвилинного відпалу
плівка вже сильно дисперґувала (рис. 5, б), вкриваючи однак при
цьому більше ніж 90% поверхні нітриду алюмінію.
При відпалі плівки цирконію на нітриді алюмінію при 1500°С
зміни в структурі плівки вже були добре помітні після двох хвилин
відпалу. Плівка місцями спучилась та розтріскалась. Після
п’ятихвилинного відпалу за цієї температури плівка значною мі-
рою дисперґувала і цей процес значно посилився після десятихви-
линної витримки (рис. 5, в). Після двадцятихвилинного відпалу
а
б
в
г д
Рис. 5. СЕÌ зображення (×3000) плівки цирконію завтовшки 100 нм на
нітриді алюмінію, відпаленої у вакуумі: а — 1400°С, 10 хв., б — 1400°С, 20
хв., в — 1500°С, 10 хв., г — 1600°С, 2 хв., д — 1600°С, 20 хв.
Fig. 5. SEM images (×3000) of zirconium film with thickness of 100 nm on
aluminium nitride after annealing in vacuum: а—1400°С, 10 min, б—
1400°С, 20 min, в—1500°С, 10 min, г—1600°С, 2 min, д—1600°С, 20 min.
888 Ю. В. НÀЙДІЧ, І. І. ГÀБ, Т. В. СТЕЦЮК, Б. Д. КÎСТЮК
процес дисперґування плівки ще посилився.
Температура 1600°С, ймовірно, є критичною для відпалу цирко-
нійової наноплівки, нанесеної на нітрид алюмінію, оскільки вже
після двохвилинного нагріву окрім розпаду плівки спостерігається
значна взаємодія матеріялу плівки, тобто цирконію, з нітридом
алюмінію (рис. 5, г), а при подальшому відпалі протягом п’яти хви-
лин взаємодія не суттєво збільшилась. Після десятихвилинної ви-
тримки взаємодія матеріялу плівки з нітридом алюмінію трохи збі-
льшилась і залишилась практично на тому ж рівні після двадцяти-
хвилинного відпалу (рис. 5, д), тобто можна вважати, що процес ди-
сперґування плівки та зростання її взаємодії з нітридом алюмінію
завершений.
На рисунку 6 наведено графіки, що відображають кінетику дис-
перґування цирконійової наноплівки на нітриді алюмінію при від-
палі її за різних температур (1400–1600°С) протягом витримки при
кожній температурі від 2 до 20 хвилин.
Вихідна плівка цирконію на поверхні монокристалу карбіду
кремнію була суцільною і не зазнала помітних змін при її відпалі до
1400°С протягом двох хвилин, а вже після п’ятихвилинного відпа-
лу при 1400°С плівка розтріскалася (рис. 7, а), а при подальшому
збільшенні витримки до десяти хвилин плівка інтенсивно диспер-
ґувала (рис. 7, б). Після двадцятихвилинної витримки вона розпа-
Рис. 6. Залежність площі нітриду алюмінію, вкритої цирконійовою плів-
кою, від часу відпалу за різних температур (1400–1600°С).
Fig. 6. Dependence of aluminium nitride area covered by zirconium film on
annealing time at various temperatures (1400–1600°C).
КІНЕТÈКÀ ДÈСПЕРҐÓВÀННЯ ПРÈ ВІДПÀЛІ Ó ВÀКÓÓÌІ НÀНÎПЛІВÎК 889
лася на великі шматки.
Внаслідок відпалу при 1500°С вже у перші дві хвилини у плівці
відбуваються зміни, але вона ще залишається суцільною. Після
п’ятихвилинної витримки за цієї ж температури плівка починає
дисперґувати та оголювати частину підкладинки з карбіду крем-
нію, і після десятихвилинного відпалу вона вже значно дисперґу-
вала та втратила свою цілісність. Внаслідок двадцятихвилинної ви-
тримки плівка вже майже повністю розпалася, вкриваючи при
цьому 60% поверхні монокристалу карбіду кремнію (рис. 7, в), і
при цьому вже відбувається взаємодія плівки цирконію з підклади-
нкою з карбіду кремнію.
Температуру відпалу 1600°С для цирконійової плівки на карбіді
кремнію, також як і для цієї плівки на нітриді алюмінію, можна
вважати критичною, оскільки плівка значно дисперґує вже після
двохвилинної витримки (рис. 7, г), після п’ятихвилинної витримки
помітні перші ознаки взаємодії цирконію з карбідом кремнію, при
десятихвилинному відпалі при 1600°С взаємодія плівки цирконію з
підкладинкою з карбіду кремнію значно посилюється (рис. 7, д), а в
результаті двадцятихвилинного відпалу рештки плівки вже повні-
стю провзаємодіяли з поверхнею монокристалу карбіду кремнію і
а
б
в
г д
Рис. 7. СЕÌ зображення (×3000) плівки цирконію завтовшки 100 нм на
карбіді кремнію, відпаленої у вакуумі: а — 1400°С, 5 хв., б — 1400°С, 10
хв., в — 1500°С, 20 хв., г — 1600°С, 2 хв., д — 1600°С, 10 хв.
Fig. 7. SEM images (×3000) of zirconium film with thickness of 100 nm on
silicon carbide after annealing in vacuum: а—1400°С, 5 min, б—1400°С, 10
min, в—1500°С, 20 min, г—1600°С, 2 min, д—1600°С, 10 min.
890 Ю. В. НÀЙДІЧ, І. І. ГÀБ, Т. В. СТЕЦЮК, Б. Д. КÎСТЮК
продукти цієї взаємодії вкривають лише чверть площі монокриста-
лу (рис. 8).
На рисунку 8 побудовано графіки, що відображають кінетику ди-
сперґування цирконійової наноплівки на монокристалі карбіду
кремнію при відпалі її за різних температур (1400–1600°С) протя-
гом витримки при кожній температурі від 2 до 20 хвилин.
4. ВИСНОВКИ
При дослідженні кінетики дисперґування цирконійових наноплі-
вок завтовшки 100 нм, нанесених на лейкосапфір, кераміку з ніт-
риду алюмінію, а також на монокристали діоксиду цирконію і кар-
біду кремнію, встановлено, що до 1400°С при короткочасному від-
палі (2–5 хв.) плівки ще є практично суцільними.
Показано, що процес дисперґування цирконійових наноплівок,
нанесених на лейкосапфір та діоксид цирконію, при збільшенні ча-
су відпалу при 1400°С інтенсифікується, але навіть після 20-хви-
линного відпалу плівки вкривають значну частину поверхні окси-
дів. Приблизно такі ж результати дає відпал плівок на обох оксидах
при 1500°С, що дає можливість використовувати цирконійові пок-
риття на цих матеріялах для подальшого паяння їх за температур
Рис. 8. Залежність площі монокристалу карбіду кремнію, вкритої цирко-
нійовою плівкою, від часу відпалу за різних температур (1400–1600°С).
Fig. 8. Dependence of silicon carbide area covered by zirconium film on an-
nealing time at various temperatures (1400–1600°C).
КІНЕТÈКÀ ДÈСПЕРҐÓВÀННЯ ПРÈ ВІДПÀЛІ Ó ВÀКÓÓÌІ НÀНÎПЛІВÎК 891
до 1500°С. При підвищенні температури відпалу до 1600°С плівки
починають інтенсивно дисперґувати з перших хвилин відпалу і це
дисперґування стрімко активізується зі збільшенням часу відпалу.
Виявлено, що плівки цирконію, нанесені на карбід кремнію та
нітрид алюмінію, починаючи вже з 1500°С взаємодіють з матерія-
лом підкладинки. Процеси розпаду цирконійової плівки на монок-
ристалі карбіду кремнію та її взаємодії з поверхнею підкладинки
відбуваються інтенсивніше, ніж на нітриді алюмінію.
Îтже, паяння карбіду кремнію та нітриду алюмінію, вкритих
цирконійовими плівками, можна використовувати лише до темпе-
ратур, не вищих за 1500°С, впродовж не більше ніж 10 хв.
Таким чином, використовуючи одержані в результаті даних дос-
ліджень графіки, можна підібрати потрібні параметри процесу па-
яння (температуру, час) досліджених неметалевих матеріялів, які
металізовані цирконійовими наноплівками.
ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА
1. F. Hafakeyama and K. Suganuma, J. Mater. Sci., 21, No. 7: 2455 (1986).
2. Ю. В. Найдич, È. È. Габ, Б. Д. Костюк, Т. В. Стецюк, Д. È. Куркова,
С. В. Дукаров, Доповіді академії наук України, 35: 97 (2007).
3. Ю. В. Найдич, È. È. Габ, Б. Д. Костюк Т. В. Стецюк, Д. È. Куркова,
С. В. Дукаров, В. Ю. Куликовский, À. À. Îноприенко, Адгезия расплавов и
паéка материалов, 38: 69 (2005).
4. G. Elssner, W. Diem, and J. S. Wallace, 17 Univ. Conf. Ceram. ‘Surfaces and
Interfaces Ceram. and Ceram.–Metal Syst.’ (July 28–August 1, 1980, Berkeley)
(New York–London: 1981), p. 629.
5. W. X. Pan, Т. Okamoto, and X. S. Ning, J. Mater. Sci., 29, No. 6: 1436 (1994).
6. B. J. Dalgleish, A. P. Tomsia, K. Nakashima, M. R. Locatelli, and
A. M. Glaeser, Scr. Met. et Mater., 31, No. 8: 1043 (1994).
7. Ю. В. Найдіч, І. І. Габ, Т. В. Стецюк, Б. Д. Костюк, Є. Ô. Кузьменко,
Адгезия расплавов и паéка материалов, 45: 71 (2012).
8. Ю. В. Найдич, È. È. Габ, Т. В. Стецюк, Б. Д. Костюк, Î. С. Литвин,
Сварочное производство,12: 21 (2013).
9. С. Ìетфессель, Тонкие пленки, иõ изготовление и измерение (Ìосква–
Ленинград: Госэнергоиздат: 1963) (пер. з нім.).
10. Физическая õимия конденсированныõ ôаз, сверõтвердыõ материалов и иõ
границ раздела (Ред. В. Н. Еременко) (Киев: Наукова думка: 1975).
REFERENCES
1. F. Hafakeyama and K. Suganuma, J. Mater. Sci., 21, No. 7: 2455 (1986).
2. Yu. V. Naidich, I. I. Gab, B. D. Kostyuk, T. V. Stetsyuk, D. I. Kurkova, and
S. V. Dukarov, Dopov. Nac. Akad. Nauk Ukr., 35: 97 (2007) (in Russian).
3. Yu. V. Naidich, I. I. Gab, B. D. Kostyuk, T. V. Stetsyuk, D. I. Kurkova,
S. V. Dukarov, V. Yu. Kulikovskyy, and A. A. Onoprienko, Adgeziya Rasplavov
https://doi.org/10.1007/BF01114292
892 Ю. В. НÀЙДІЧ, І. І. ГÀБ, Т. В. СТЕЦЮК, Б. Д. КÎСТЮК
i Payka Materialov, 38: 69 (2005) (in Russian).
4. G. Elssner, W. Diem, and J. S. Wallace, 17 Univ. Conf. Ceram. ‘Surfaces and
Interfaces Ceram. and Ceram.–Metal Syst.’ (July 28–August 1, 1980, Berkeley)
(New York–London: 1981), p. 629.
5. W. X. Pan, T. Okamoto, and X. S. Ning, J. Mater. Sci., 29, No. 6: 1436 (1994).
6. B. J. Dalgleish, A. P. Tomsia, K. Nakashima, M. R. Locatelli, and
A. M. Glaeser, Scr. Met. et Mater., 31, No. 8: 1043 (1994).
7. Yu. V. Naidich, I. I. Gab, T. V. Stetsyuk, B. D. Kostyuk, and E. F. Kuzmenko,
Adgeziya Rasplavov i Payka Materialov, 45: 71 (2012) (in Russian).
8. Yu. V. Naidich, I. I. Gab, T. V. Stetsyuk, B. D. Kostyuk, and O. S. Lytvin,
Svarochnoe Proizvodstvo, 2: 12 (1989) (in Russian).
9. S. Methfessel, Tonkie Plenki, Ikh Izgotovlenie i Izmerenie (Moscow–Leningrad:
Gosenergoizdat: 1963) (Russian translation).
10. Fizicheskaya Khimiya Kondensirovannykh Faz, Sverkhtverdykh Materialov i
Ikh Granits Razdela (Ed. V. N. Eremenko) (Kiev: Naukova Dumka: 1975) (in
Russian).
https://doi.org/10.1007/BF00368906
https://doi.org/10.1016/0956-716X(94)90524-X
<<
/ASCII85EncodePages false
/AllowTransparency false
/AutoPositionEPSFiles true
/AutoRotatePages /None
/Binding /Left
/CalGrayProfile (Dot Gain 20%)
/CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2)
/sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CannotEmbedFontPolicy /Error
/CompatibilityLevel 1.4
/CompressObjects /Tags
/CompressPages true
/ConvertImagesToIndexed true
/PassThroughJPEGImages true
/CreateJobTicket false
/DefaultRenderingIntent /Default
/DetectBlends true
/DetectCurves 0.0000
/ColorConversionStrategy /CMYK
/DoThumbnails false
/EmbedAllFonts true
/EmbedOpenType false
/ParseICCProfilesInComments true
/EmbedJobOptions true
/DSCReportingLevel 0
/EmitDSCWarnings false
/EndPage -1
/ImageMemory 1048576
/LockDistillerParams false
/MaxSubsetPct 100
/Optimize true
/OPM 1
/ParseDSCComments true
/ParseDSCCommentsForDocInfo true
/PreserveCopyPage true
/PreserveDICMYKValues true
/PreserveEPSInfo true
/PreserveFlatness true
/PreserveHalftoneInfo false
/PreserveOPIComments true
/PreserveOverprintSettings true
/StartPage 1
/SubsetFonts true
/TransferFunctionInfo /Apply
/UCRandBGInfo /Preserve
/UsePrologue false
/ColorSettingsFile ()
/AlwaysEmbed [ true
]
/NeverEmbed [ true
]
/AntiAliasColorImages false
/CropColorImages true
/ColorImageMinResolution 300
/ColorImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleColorImages true
/ColorImageDownsampleType /Bicubic
/ColorImageResolution 300
/ColorImageDepth -1
/ColorImageMinDownsampleDepth 1
/ColorImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeColorImages true
/ColorImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterColorImages true
/ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG
/ColorACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/ColorImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000ColorACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000ColorImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasGrayImages false
/CropGrayImages true
/GrayImageMinResolution 300
/GrayImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleGrayImages true
/GrayImageDownsampleType /Bicubic
/GrayImageResolution 300
/GrayImageDepth -1
/GrayImageMinDownsampleDepth 2
/GrayImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeGrayImages true
/GrayImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterGrayImages true
/GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG
/GrayACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/GrayImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000GrayACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000GrayImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasMonoImages false
/CropMonoImages true
/MonoImageMinResolution 1200
/MonoImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleMonoImages true
/MonoImageDownsampleType /Bicubic
/MonoImageResolution 1200
/MonoImageDepth -1
/MonoImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeMonoImages true
/MonoImageFilter /CCITTFaxEncode
/MonoImageDict <<
/K -1
>>
/AllowPSXObjects false
/CheckCompliance [
/None
]
/PDFX1aCheck false
/PDFX3Check false
/PDFXCompliantPDFOnly false
/PDFXNoTrimBoxError true
/PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXSetBleedBoxToMediaBox true
/PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXOutputIntentProfile ()
/PDFXOutputConditionIdentifier ()
/PDFXOutputCondition ()
/PDFXRegistryName ()
/PDFXTrapped /False
/CreateJDFFile false
/Description <<
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
/BGR <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>
/CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002>
/CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002>
/CZE <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>
/DAN <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>
/DEU <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>
/ESP <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>
/ETI <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>
/FRA <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>
/GRE <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>
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
/HRV (Za stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.)
/HUN <FEFF004b0069007600e1006c00f30020006d0069006e0151007300e9006701710020006e0079006f006d00640061006900200065006c0151006b00e90073007a00ed007401510020006e0079006f006d00740061007400e100730068006f007a0020006c006500670069006e006b00e1006200620020006d0065006700660065006c0065006c0151002000410064006f00620065002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e00740075006d006f006b0061007400200065007a0065006b006b0065006c0020006100200062006500e1006c006c00ed007400e10073006f006b006b0061006c0020006b00e90073007a00ed0074006800650074002e0020002000410020006c00e90074007200650068006f007a006f00740074002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e00740075006d006f006b00200061007a0020004100630072006f006200610074002000e9007300200061007a002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002c0020007600610067007900200061007a002000610074007400f3006c0020006b00e9007301510062006200690020007600650072007a006900f3006b006b0061006c0020006e00790069007400680061007400f3006b0020006d00650067002e>
/ITA <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>
/JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002>
/KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e>
/LTH <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>
/LVI <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>
/NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.)
/NOR <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>
/POL <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>
/PTB <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>
/RUM <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>
/RUS <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>
/SKY <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>
/SLV <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>
/SUO <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>
/SVE <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>
/TUR <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>
/UKR <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>
/ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.)
>>
/Namespace [
(Adobe)
(Common)
(1.0)
]
/OtherNamespaces [
<<
/AsReaderSpreads false
/CropImagesToFrames true
/ErrorControl /WarnAndContinue
/FlattenerIgnoreSpreadOverrides false
/IncludeGuidesGrids false
/IncludeNonPrinting false
/IncludeSlug false
/Namespace [
(Adobe)
(InDesign)
(4.0)
]
/OmitPlacedBitmaps false
/OmitPlacedEPS false
/OmitPlacedPDF false
/SimulateOverprint /Legacy
>>
<<
/AddBleedMarks false
/AddColorBars false
/AddCropMarks false
/AddPageInfo false
/AddRegMarks false
/ConvertColors /ConvertToCMYK
/DestinationProfileName ()
/DestinationProfileSelector /DocumentCMYK
/Downsample16BitImages true
/FlattenerPreset <<
/PresetSelector /MediumResolution
>>
/FormElements false
/GenerateStructure false
/IncludeBookmarks false
/IncludeHyperlinks false
/IncludeInteractive false
/IncludeLayers false
/IncludeProfiles false
/MultimediaHandling /UseObjectSettings
/Namespace [
(Adobe)
(CreativeSuite)
(2.0)
]
/PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK
/PreserveEditing true
/UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged
/UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile
/UseDocumentBleed false
>>
]
>> setdistillerparams
<<
/HWResolution [2400 2400]
/PageSize [612.000 792.000]
>> setpagedevice
|