Вплив додаткового шару Ag на формування впорядкованої фази L1₀-FePt у плівках Ag (0; 7,5 нм)/Fe₅₀Pt₅₀ (15 нм)/SiO₂ (100 нм)/Si(001)
Методами фізичного матеріялознавства вивчено вплив додаткового (верхнього) шару Ag з низькою поверхневою енергією (≅≅ 1,83 Дж/м₂) в плівках Ag (0; 7,5 нм)/Fe₅₀Pt₅₀ (15 нм) на підкладинках SiO₂ (100 нм)/Si(001) на процеси дифузійного формування фази L1₀, її структурні та магнетні властивості при відп...
Saved in:
| Published in: | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Date: | 2017 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2017
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130331 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Вплив додаткового шару Ag на формування впорядкованої фази L1₀-FePt у плівках Ag (0; 7,5 нм)/Fe₅₀Pt₅₀ (15 нм)/SiO₂ (100 нм)/Si(001) / М.Н. Шаміс, О.В. Фігурна, Т.І. Вербицька, Ю.М. Макогон // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 7. — С. 893-903. — Бібліогр.: 14 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-130331 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Шаміс, М.Н. Фігурна, О.В. Вербицька, Т.І. Макогон, Ю.М. 2018-02-10T18:22:21Z 2018-02-10T18:22:21Z 2017 Вплив додаткового шару Ag на формування впорядкованої фази L1₀-FePt у плівках Ag (0; 7,5 нм)/Fe₅₀Pt₅₀ (15 нм)/SiO₂ (100 нм)/Si(001) / М.Н. Шаміс, О.В. Фігурна, Т.І. Вербицька, Ю.М. Макогон // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 7. — С. 893-903. — Бібліогр.: 14 назв. — укр. 1024-1809 PACS: 66.30.Pa, 68.55.-a, 75.50.Ss, 75.50.Vv, 75.70.Ak, 81.40.Ef, 81.40.Rs DOI: 10.15407/mfint.39.07.0893 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130331 Методами фізичного матеріялознавства вивчено вплив додаткового (верхнього) шару Ag з низькою поверхневою енергією (≅≅ 1,83 Дж/м₂) в плівках Ag (0; 7,5 нм)/Fe₅₀Pt₅₀ (15 нм) на підкладинках SiO₂ (100 нм)/Si(001) на процеси дифузійного формування фази L1₀, її структурні та магнетні властивості при відпалах у вакуумі у 1,3⋅⋅1033 Па в температурному інтервалі 300–900°С тривалістю 30 с. Методами физического материаловедения изучено влияние дополнительного (верхнего) слоя Ag с низкой поверхностной энергией (≅≅ 1,83 Дж/м₂) в плёнках Ag (0; 7,5 нм)/Fe5₅₀Pt₅₀ (15 нм) на подложках SiO₂ (100 нм)/Si(001) на процессы диффузионного формирования фазы L1₀, её структурные и магнитные свойства при отжигах в вакууме 1,3⋅⋅1033 Па в температурном интервале 300–900°C длительностью 30 с. The influence of an additional Ag top layer with low surface energy (≅≅ 1.83 J/m₂) in films Ag (0; 7.5 nm)/Fe₅₀Pt₅₀0 (15 nm) on SiO₂ (100 nm)/Si(001) substrates on diffusion processes of the L1₀-phase formation, its structural and magnetic properties after annealing in vacuum 1.3⋅⋅1033 Pa at 300–900°C for 30 s is studied by physical materials science methods. Роботу виконано за фінансової підтримки німецької служби академічних обмінів (DAAD) за ґрантами № 57094397 (2014/2015), № 57198300 (2015/2016) у рамках стипендіяльної програми Леонарда Ойлера. Автори висловлюють подяку співробітникам кафедри експериментальної фізики-4 Університету м. Аугсбург (Німеччина), завідувачу кафедри проф. М. Албрехту та д-ру Г. Беддісу за виготовлення зразків, допомогу у проведені досліджень і обробці результатів. uk Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Металлические поверхности и плёнки Вплив додаткового шару Ag на формування впорядкованої фази L1₀-FePt у плівках Ag (0; 7,5 нм)/Fe₅₀Pt₅₀ (15 нм)/SiO₂ (100 нм)/Si(001) Влияние дополнительного слоя Ag на формирование упорядоченной фазы L1₀-FePt в плёнках Ag (0; 7,5 нм)/Fe₅₀Pt₅₀ (15 нм)/SiO₂ (100 нм)/Si(001) Effect of an Additional Ag Layer on Formation of the Ordered L1₀-FePt Phase in Ag (0; 7.5 nm)/Fe₅₀Pt₅₀ (15 nm)/SiO₂ (100 nm)/Si(001) Films Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Вплив додаткового шару Ag на формування впорядкованої фази L1₀-FePt у плівках Ag (0; 7,5 нм)/Fe₅₀Pt₅₀ (15 нм)/SiO₂ (100 нм)/Si(001) |
| spellingShingle |
Вплив додаткового шару Ag на формування впорядкованої фази L1₀-FePt у плівках Ag (0; 7,5 нм)/Fe₅₀Pt₅₀ (15 нм)/SiO₂ (100 нм)/Si(001) Шаміс, М.Н. Фігурна, О.В. Вербицька, Т.І. Макогон, Ю.М. Металлические поверхности и плёнки |
| title_short |
Вплив додаткового шару Ag на формування впорядкованої фази L1₀-FePt у плівках Ag (0; 7,5 нм)/Fe₅₀Pt₅₀ (15 нм)/SiO₂ (100 нм)/Si(001) |
| title_full |
Вплив додаткового шару Ag на формування впорядкованої фази L1₀-FePt у плівках Ag (0; 7,5 нм)/Fe₅₀Pt₅₀ (15 нм)/SiO₂ (100 нм)/Si(001) |
| title_fullStr |
Вплив додаткового шару Ag на формування впорядкованої фази L1₀-FePt у плівках Ag (0; 7,5 нм)/Fe₅₀Pt₅₀ (15 нм)/SiO₂ (100 нм)/Si(001) |
| title_full_unstemmed |
Вплив додаткового шару Ag на формування впорядкованої фази L1₀-FePt у плівках Ag (0; 7,5 нм)/Fe₅₀Pt₅₀ (15 нм)/SiO₂ (100 нм)/Si(001) |
| title_sort |
вплив додаткового шару ag на формування впорядкованої фази l1₀-fept у плівках ag (0; 7,5 нм)/fe₅₀pt₅₀ (15 нм)/sio₂ (100 нм)/si(001) |
| author |
Шаміс, М.Н. Фігурна, О.В. Вербицька, Т.І. Макогон, Ю.М. |
| author_facet |
Шаміс, М.Н. Фігурна, О.В. Вербицька, Т.І. Макогон, Ю.М. |
| topic |
Металлические поверхности и плёнки |
| topic_facet |
Металлические поверхности и плёнки |
| publishDate |
2017 |
| language |
Ukrainian |
| container_title |
Металлофизика и новейшие технологии |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Влияние дополнительного слоя Ag на формирование упорядоченной фазы L1₀-FePt в плёнках Ag (0; 7,5 нм)/Fe₅₀Pt₅₀ (15 нм)/SiO₂ (100 нм)/Si(001) Effect of an Additional Ag Layer on Formation of the Ordered L1₀-FePt Phase in Ag (0; 7.5 nm)/Fe₅₀Pt₅₀ (15 nm)/SiO₂ (100 nm)/Si(001) Films |
| description |
Методами фізичного матеріялознавства вивчено вплив додаткового (верхнього) шару Ag з низькою поверхневою енергією (≅≅ 1,83 Дж/м₂) в плівках Ag (0; 7,5 нм)/Fe₅₀Pt₅₀ (15 нм) на підкладинках SiO₂ (100 нм)/Si(001) на процеси дифузійного формування фази L1₀, її структурні та магнетні властивості при відпалах у вакуумі у 1,3⋅⋅1033 Па в температурному інтервалі 300–900°С тривалістю 30 с.
Методами физического материаловедения изучено влияние дополнительного (верхнего) слоя Ag с низкой поверхностной энергией (≅≅ 1,83 Дж/м₂) в плёнках Ag (0; 7,5 нм)/Fe5₅₀Pt₅₀ (15 нм) на подложках SiO₂ (100 нм)/Si(001) на процессы диффузионного формирования фазы L1₀, её структурные и магнитные свойства при отжигах в вакууме 1,3⋅⋅1033 Па в температурном интервале 300–900°C длительностью 30 с.
The influence of an additional Ag top layer with low surface energy (≅≅ 1.83 J/m₂) in films Ag (0; 7.5 nm)/Fe₅₀Pt₅₀0 (15 nm) on SiO₂ (100 nm)/Si(001) substrates on diffusion processes of the L1₀-phase formation, its structural and magnetic properties after annealing in vacuum 1.3⋅⋅1033 Pa at 300–900°C for 30 s is studied by physical materials science methods.
|
| issn |
1024-1809 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130331 |
| citation_txt |
Вплив додаткового шару Ag на формування впорядкованої фази L1₀-FePt у плівках Ag (0; 7,5 нм)/Fe₅₀Pt₅₀ (15 нм)/SiO₂ (100 нм)/Si(001) / М.Н. Шаміс, О.В. Фігурна, Т.І. Вербицька, Ю.М. Макогон // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 7. — С. 893-903. — Бібліогр.: 14 назв. — укр. |
| work_keys_str_mv |
AT šamísmn vplivdodatkovogošaruagnaformuvannâvporâdkovanoífazil10feptuplívkahag075nmfe50pt5015nmsio2100nmsi001 AT fígurnaov vplivdodatkovogošaruagnaformuvannâvporâdkovanoífazil10feptuplívkahag075nmfe50pt5015nmsio2100nmsi001 AT verbicʹkatí vplivdodatkovogošaruagnaformuvannâvporâdkovanoífazil10feptuplívkahag075nmfe50pt5015nmsio2100nmsi001 AT makogonûm vplivdodatkovogošaruagnaformuvannâvporâdkovanoífazil10feptuplívkahag075nmfe50pt5015nmsio2100nmsi001 AT šamísmn vliâniedopolnitelʹnogosloâagnaformirovanieuporâdočennoifazyl10feptvplenkahag075nmfe50pt5015nmsio2100nmsi001 AT fígurnaov vliâniedopolnitelʹnogosloâagnaformirovanieuporâdočennoifazyl10feptvplenkahag075nmfe50pt5015nmsio2100nmsi001 AT verbicʹkatí vliâniedopolnitelʹnogosloâagnaformirovanieuporâdočennoifazyl10feptvplenkahag075nmfe50pt5015nmsio2100nmsi001 AT makogonûm vliâniedopolnitelʹnogosloâagnaformirovanieuporâdočennoifazyl10feptvplenkahag075nmfe50pt5015nmsio2100nmsi001 AT šamísmn effectofanadditionalaglayeronformationoftheorderedl10feptphaseinag075nmfe50pt5015nmsio2100nmsi001films AT fígurnaov effectofanadditionalaglayeronformationoftheorderedl10feptphaseinag075nmfe50pt5015nmsio2100nmsi001films AT verbicʹkatí effectofanadditionalaglayeronformationoftheorderedl10feptphaseinag075nmfe50pt5015nmsio2100nmsi001films AT makogonûm effectofanadditionalaglayeronformationoftheorderedl10feptphaseinag075nmfe50pt5015nmsio2100nmsi001films |
| first_indexed |
2025-11-24T11:38:29Z |
| last_indexed |
2025-11-24T11:38:29Z |
| _version_ |
1850845653267120128 |
| fulltext |
PACS numbers: 66.30.Pa, 68.55.-a, 75.50.Ss, 75.50.Vv, 75.70.Ak, 81.40.Ef, 81.40.Rs
Вплив додаткового шару Ag на формування
впорядкованої фази L10-FePt у плівках
Ag (0; 7,5 нм)/Fe50Pt50 (15 нм)/SiO2 (100 нм)/Si(001)
М. Н. Шаміс, О. В. Фігурна, Т. І. Вербицька, Ю. М. Макогон
Національний технічний університет України
«Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського»,
просп. Перемоги, 37,
03056 Київ, Україна
Методами фізичного матеріялознавства вивчено вплив додаткового (вер-
хнього) шару Ag з низькою поверхневою енергією (≅ 1,83 Дж/м2) в плів-
ках Ag (0; 7,5 нм)/Fe50Pt50 (15 нм) на підкладинках SiO2 (100 нм)/Si(001)
на процеси дифузійного формування фази L10, її структурні та магнетні
властивості при відпалах у вакуумі у 1,3⋅10−3
Па в температурному інтер-
валі 300–900°С тривалістю 30 с. Плівкові композиції одержано методом
магнетронного осаджування на термічно окиснену підкладинку монокри-
сталічного Si(001). Встановлено, що у плівках після осадження формуєть-
ся невпорядкована фаза A1-FePt. Формування впорядкованої фази L10-
FePt у плівці Fe50Pt50 (15 нм) відбувається в процесі відпалу за температу-
ри у 700°C і супроводжується різким збільшенням коерцитивної сили,
яка продовжує зростати й після наступних високотемпературних відпа-
лів. У плівці з верхнім шаром Ag температура формування фази L10-FePt
підвищується до 800°C, але зростає текстура за напрямком [001], перпен-
дикулярним до підкладинки, у порівнянні з плівкою Fe50Pt50.
Ключові слова: нанорозмірна плівка, додатковий шар Ag, впорядкована
фаза L10-FePt, коерцитивна сила, відпал.
Corresponding author: Mark Natanovych Shamis
E-mail: m.n.shamis@gmail.com
National Technical University of Ukraine ‘Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute’,
37 Peremohy Ave., 03056 Kyiv, Ukraine
Please cite this article as: M. N. Shamis, O. V. Fihurna, T. I. Verbytska, and Iu. M. Makogon,
Effect of an Additional Ag Layer on Formation of the Ordered L10-FePt Phase in
Ag (0; 7.5 nm)/Fe50Pt50 (15 nm)/SiO2 (100 nm)/Si(001) Films, Metallofiz. Noveishie
Tekhnol., 39, No. 7: 893–903 (2017) (in Ukrainian), DOI: 10.15407/mfint.39.07.0893.
Ìеталлоôиç. новейøие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol.
2017, т. 39, № 7, сс. 893–903 / DOI: 10.15407/mfint.39.07.0893
Оттиски доступнû непосредственно от издателя
Фотокопирование разрешено только
в соответствии с лицензией
2017 ÈМФ (Èнститут металлофизики
им. Ã. В. Êурдюмова НÀН Украинû)
Напечатано в Украине.
893
mailto:m.n.shamis@gmail.com
894 М. Н. ШÀМІС, О. В. ФІÃУРНÀ, Т. І. ВЕРБÈЦЬÊÀ, Ю. М. МÀÊОÃОН
The influence of an additional Ag top layer with low surface energy (≅ 1.83
J/m2) in films Ag (0; 7.5 nm)/Fe50Pt50 (15 nm) on SiO2 (100 nm)/Si(001) sub-
strates on diffusion processes of the L10-phase formation, its structural and
magnetic properties after annealing in vacuum 1.3⋅10−3
Pa at 300–900°C for
30 s is studied by physical materials science methods. Film compositions are
obtained by magnetron deposition on substrate of monocrystalline Si(001)
with thermally oxidized layer. As determined, the disordered A1-FePt phase
is formed in as-deposited films. The ordered L10-FePt phase formation in
Fe50Pt50 (15 nm) film occurs during annealing at 700°C and is accompanied by
a sharp increase of coercivity, which continues to rise after further high-
temperature annealing. In film with Ag top layer, temperature of the L10-
FePt phase formation increases to 800°C, but, compared to the Fe50Pt50 film,
the (001) texture increases with direction perpendicularly to substrate.
Key words: nanoscale film, additional Ag layer, ordered L10-FePt phase, co-
ercivity, annealing.
Методами физического материаловедения изучено влияние дополнитель-
ного (верхнего) слоя Ag с низкой поверхностной энергией (≅ 1,83 Дж/м2) в
плёнках Ag (0; 7,5 нм)/Fe50Pt50 (15 нм) на подложках SiO2 (100 нм)/Si(001)
на процессû диффузионного формирования фазû L10, её структурнûе и
магнитнûе свойства при отжигах в вакууме 1,3⋅10−3
Па в температурном
интервале 300–900°C длительностью 30 с. Плёночнûе композиции полу-
ченû методом магнетронного осаждения на термически окислённую под-
ложку монокристаллического Si(001). Установлено, что в плёнках после
осаждения формируется неупорядоченная фаза A1-FePt. Формирование
упорядоченной фазû L10-FePt в плёнке Fe50Pt50 (15 нм) происходит в про-
цессе отжига при температуре 700°C и сопровождается резким увеличе-
нием коэрцитивной силû, которая возрастает и после последующих вû-
сокотемпературнûх отжигов. В плёнке с верхним слоем Ag температура
формирования фазû L10-FePt повûшается до 800°C, но возрастает тексту-
ра (001) в направлении, перпендикулярном к подложке, по сравнению с
плёнкой Fe50Pt50.
Ключевые слова: наноразмерная плёнка, дополнительнûй слой Ag, упо-
рядоченная фаза L10-FePt, коэрцитивная сила, отжиг.
(Отримано 30 червня 2017 р.)
1. ВСТУП
На сьогоднішній день актуальною проблемою є створення пристроїв
зберігання інформації з надвеликою щільністю запису. Вже досяг-
нуто щільність запису 1200 ÃБіт/дюйм2
[1] і подальше її підвищен-
ня вимагає використання нових методів запису інформації. Перс-
пективною технологією, яка може значно збільшити щільність за-
пису є технологія термічно активованого магнетного запису Heat
Assisted Magnetic Recording (HAMR). Теоретична межа щільності
запису інформації даним методом, за оцінками фахівців, складає
ВПЛÈВ ШÀРУ Ag НÀ ФОРМУВÀННЯ ФÀЗÈ L10-FePt У ПЛІВÊÀХ 895
50 ТБіт/дюйм2
[1], що відповідає 80 Тбайт на одну пластину жорст-
кого диска у формфакторі 3,5 дюйми. Передові розробники таких
пристроїв ставлять за мету до 2020 року створити жорсткий диск
ємністю 20 ТБ [2], але для цього необхідно використовувати нові
матеріяли для забезпечення великої щільності запису та термічної
стабільності інформації. Вони повинні мати велике значення маг-
нетокристалічної анізотропії, малий розмір зерна. Такими матері-
ялами є стопи із впорядкованою структурою L10, наприклад, FePt.
Ці стопи мають високі магнетні властивості, зокрема високу енер-
гію магнетокристалічної анізотропії впорядкованої фази L10-FePt
(KU = 7⋅106
Дж/м3), що забезпечує стабільність зберігання інформа-
ції, при малому розмірі зерна [1].
Впорядкована фаза L10-FePt утворюється з невпорядкованої фази
А1-FePt після осаджування на нагріту підкладинку або після про-
ведення відпалу [3–10].
Для уможливлення використання плівок на основі FePt необхід-
но вирішити певні технологічні задачі, такі як зниження темпера-
тури впорядковування та контролю орієнтації зерен фази L10-FePt
[1]. Зниження температури впорядковування може бути досягнуто
впливом багатьох чинників, у тому числі фізико-технологічних па-
раметрів одержання [3, 4], за рахунок впливу підкладинки [5], до-
давання легувальних елементів [4, 6–8], використання багатошаро-
вих структур [9].
У даній роботі досліджено вплив додаткового верхнього шару
срібла з низькою поверхневою енергією (≅ 1,83 Дж/м2) на форму-
вання фазового складу, структури та магнетних властивостей в на-
норозмірних плівках на основі стопу FePt еквіатомового складу при
відпалах у вакуумі.
2. МЕТОД ДОСЛІДЖЕННЯ
Плівки Fe50Pt50 (15 нм) та Ag (7,5 нм)/Fe50Pt50 (15 нм) одержували
пошаровим осаджуванням шарів Fe50Pt50 та Ag магнетронним мето-
дом на підкладинку термічно окисненого (шар SiO2 товщиною
100 нм) монокристалічного Si орієнтації (001) за кімнатної темпе-
ратури. Êонтроль за товщиною осаджених шарів здійснювали за
допомогою Резерфордового зворотнього розсіяння, а також за до-
помогою кварцового резонатора. Статистична величина похибки
при вимірюванні товщини плівки складала ±0,5 нм.
Відпал проводився у вакуумі 10−3
Па в інтервалі температур 500–
900°С з ізотермічною витримкою впродовж 30 с. Швидкість нагрі-
вання складала ≅ 5°С/с, а швидкість охолодження ≅ 0,25°С/с.
Дослідження кристалічної структури плівок після осадження і
відпалів проводили методом рентґеноструктурного фазового аналі-
зу шляхом зйомки спектрів на дифрактометрі RIGAKU ULTIMA IV
896 М. Н. ШÀМІС, О. В. ФІÃУРНÀ, Т. І. ВЕРБÈЦЬÊÀ, Ю. М. МÀÊОÃОН
з використанням монохроматизованого випромінення CuKα. Сту-
пінь орієнтації вісі легкого намагнетування в напрямку [001] відно-
сно нормалі до поверхні визначався за відношенням інтеґральних
інтенсивностей рефлексів I(001)/I(111), ступінь упорядкування —
за відношенням I(001)/I(002) [4]. Розмір зерен фази FePt було оці-
нено за формулою Дебая–Шеррера за рефлексом (111) FePt. На-
пружений стан визначено методом sin2ψ, а магнетні властивості
плівок — методом SQUID.
3. РЕЗУЛЬТАТИ ТА ЇХ ОБГОВОРЕННЯ
Після осадження в плівках Fe50Pt50 (15 нм) та Ag (7,5 нм)/Fe50Pt50
(15 нм) формується неупорядкована фаза А1-FePt (рис. 1, а, б). В
плівці з верхнім шаром срібла на дифрактограмі зафіксовано реф-
лекс (111) Ag (рис. 1, б).
За результатами рентґеноструктурного фазового аналізу відпали
в інтервалі температур 500–600°С не супроводжуються помітною
зміною структурно-фазового складу.
Після відпалу за температури 700°С на дифрактограмі від плівки
Fe50Pt50 (15 нм)/SiO2/Si (001) спостерігається поява надструктурно-
го рефлексу (001) FePt та зміщення рефлексу (111) FePt у бік біль-
ших кутів, що свідчить про початок формування упорядкованої фа-
Рис. 1. Спектри рентґенівської дифракції для плівок Fe50Pt50 (15 нм)/SiO2/
Si(001) (а) і Ag (7,5 нм)/Fe50Pt50 (15 нм)/SiO2/Si(001) (б) після осадження та
відпалів у вакуумі за температур 600–900°С тривалістю 30 с. Випромінен-
ня CuKα.
Fig. 1. XRD patterns for the Fe50Pt50 (15 nm)/SiO2/Si (001) (а) and Ag (7.5
nm)/Fe50Pt50 (15 nm)/SiO2/Si(001) (б) films after deposition and annealing in
vacuum at 600–900°C during 30 s. CuKα radiation.
ВПЛÈВ ШÀРУ Ag НÀ ФОРМУВÀННЯ ФÀЗÈ L10-FePt У ПЛІВÊÀХ 897
зи L10-FePt з гранецентрованою тетрагональною ґратницею.
Для плівки з верхнім шаром срібла Ag (7,5 нм)/Fe50Pt50 (15 нм)/
SiO2/Si(001) після відпалу за температури 700°С також спостеріга-
ється зміщення рефлексу (111) FePt у бік більших кутів, що
пов’язано з процесами впорядкування і появою тетрагональних
спотворень ґратниці. Надструктурний рефлекс (001) FePt спостері-
гається після відпалу за температури у 800°С.
Відомо, що на процеси формування впорядкованої фази впливає
рівень напруженості стану [11−14]. Згідно з принципом Ле Шате-
льє–Брауна, стискальні напруження сприяють фазовому перетво-
ренню A1-FePt → L10-FePt. Після осадження у шарі FePt в плівках
Fe50Pt50 (15 нм) рівень стискаючих напружень (−9,4 ÃПа) більший,
ніж у плівці Ag (7,5 нм)/Fe50Pt50 (15 нм) (−3,6 ÃПа). Цим можна по-
яснити зменшення на 100°С температури формування упорядкова-
ної фази L10-FePt, яка має менший об’єм ґратниці (рис. 2). З підви-
щенням температури відпалу до 700°С за рахунок дифузійних про-
цесів упорядкування рівень стискаючих напружень зменшується,
причому, у плівці з верхнім шаром срібла відбувається повна рела-
ксація напружень, а в плівці стопу починає формуватися упорядко-
вана фаза L10-FePt. Формування упорядкованої фази L10-FePt у
плівці з верхнім шаром срібла відбувається при 800°С і супрово-
джується знову появою стискальних напружень. Таку зміну на-
пруженого стану можна пояснити дифузією Ag по межах зерен фа-
зи L10-FePt і більшим коефіцієнтом термічного розширення (к.т.р.)
Ag, порівняно з к.т.р. FePt.
Зміну параметрів ґратниці а та с, їх відношення с/а фази L10-
Рис. 2. Залежність від температури відпалу напруженого стану у плівках
Fe50Pt50 (15 нм)/SiO2/Si(001) та Ag (7,5 нм)/Fe50Pt50 (15 нм)/SiO2/Si(001).
Fig. 2. Dependence of stress level in Fe50Pt50 (15 nm)/SiO2/Si(001) and Ag (7.5
nm)/Fe50Pt50 (15 nm)/SiO2/Si(001) films on annealing temperature.
898 М. Н. ШÀМІС, О. В. ФІÃУРНÀ, Т. І. ВЕРБÈЦЬÊÀ, Ю. М. МÀÊОÃОН
FePt зображено на рис. 3. Зі збільшенням температури відпалу с/а
зменшується для обох плівок внаслідок того, що параметр с змен-
шується (рис. 3, б), а параметр а збільшується (рис. 3, а), що вказує
на збільшення ступеню впорядкування при перетворенні фази А1-
FePt з гранецентрованою кубічною ґратницею у фазу L10-FePt з
гранецентрованою тетрагональною ґратницею.
Підвищення температури відпалу з 800 до 900°С не призводить
до збільшення кількості впорядкованої фази L10-FePt, оскільки ві-
дношення інтенсивностей надструктурного (001) і (002) рефлексів в
обох плівках практично не змінюється (рис. 4).
Відношення інтенсивностей рефлексів І(001)/І(111) фази L10-
FePt значно зростає з температурою відпалу в інтервалі температур
700−900°С для плівок з верхнім шаром срібла та без нього. Це свід-
чить про збільшення кількості зерен фази L10-FePt з орієнтацією
вісі легкого намагнетування с в напрямку [001], перпендикулярно-
му до підкладинки. Більш виражену текстуру (001) у плівці з верх-
нім шаром срібла можна пояснити меншим рівнем початкових сти-
скаючих напружень. Відомо, що еволюція орієнтації вісі с фази L10
залежить від зміни величини розтягувальних або стискальних на-
пружень [10−14].
Процеси структурно-фазових перетворень у плівках при оса-
дженні (рис. 5) і відпалах (рис. 6) супроводжуються зміною їх маг-
нетних властивостей. Після осадження в обох плівках формується
магнетном’яка фаза A1-FePt.
Рис. 3. Залежність параметрів ґратниці а (а), с (б) та їх відношення с/а (в) у
фазі L10-FePt для плівок Fe50Pt50 (15 нм)/SiO2/Si(001) і Ag (7,5 нм)/Fe50Pt50
(15 нм)/SiO2/Si(001) від температури відпалу.
Fig. 3. Dependence of lattice parameters a (a), c (б) and their ratio c/a (в) in
the L10-FePt phase for Fe50Pt50 (15 nm)/SiO2/Si(001) and Ag (7.5 nm)/Fe50Pt50
(15 nm)/SiO2/Si(001) films on annealing temperature.
ВПЛÈВ ШÀРУ Ag НÀ ФОРМУВÀННЯ ФÀЗÈ L10-FePt У ПЛІВÊÀХ 899
На рисунку 7 показано зміну коерцитивної сили у плівках
Fe50Pt50 (15 нм) та Ag (7,5 нм)/Fe50Pt50 (15 нм)/SiO2/Si(001), залежно
від температури відпалу при перпендикулярно прикладеному до
поверхні зразка магнетному полі.
Рис. 4. Відношення інтенсивностей структурних рефлексів І(001)/І(111) і
І(001)/І(002) фази L10-FePt у плівках Fe50Pt50 (15 нм)/SiO2/Si (001) та Ag
(7,5 нм)/Fe50Pt50 (15 нм)/SiO2/Si(001), залежно від температури відпалу.
Fig. 4. Intensities’ ratios, І(001)/І(111) and І(001)/І(002), of the ordered L10-
FePt-phase in Fe50Pt50 (15 nm)/SiO2/Si(001) and Ag (7.5 nm)/Fe50Pt50 (15
nm)/SiO2/Si(001) films depending on annealing temperature.
Рис. 5. Êриві намагнетування плівок Fe50Pt50 (15 нм)/SiO2/Si(001) (а) та Ag
(7,5 нм)/Fe50Pt50 (15 нм)/SiO2/Si(001) (б) після осадження.
Fig. 5. Hysteresis loops of Fe50Pt50 (15 nm)/SiO2/Si(001) (а) and Ag (7.5 nm)/
Fe50Pt50 (15 nm)/SiO2/Si(001) (б) films after deposition.
900 М. Н. ШÀМІС, О. В. ФІÃУРНÀ, Т. І. ВЕРБÈЦЬÊÀ, Ю. М. МÀÊОÃОН
Рис. 6. Êриві намагнетування плівок Fe50Pt50 (15 нм)/SiO2/Si(001) (а, в, д)
та Ag (7,5 нм)/Fe50Pt50 (15 нм)/SiO2/Si(001) (б, г, е) після відпалу за темпе-
ратур: 700°С (а, б), 800°С (в, г) і 900°С (д, е).
Fig. 6. Hysteresis loops of Fe50Pt50 (15 nm)/SiO2/Si(001) (а, в, д) and Ag
(7.5 nm)/Fe50Pt50 (15 nm)/SiO2/Si(001) (б, г, е) films after annealing at 700°С
(а, б), 800°С (в, г) and 900°С (д, е).
ВПЛÈВ ШÀРУ Ag НÀ ФОРМУВÀННЯ ФÀЗÈ L10-FePt У ПЛІВÊÀХ 901
Після відпалу за температури 600°С в обох плівках спостеріга-
ється мале значення коерцитивної сили (0,61 кЕ та 0,04 кЕ), так як
магнетнотверда фаза L10-FePt ще не сформувалася. Зі збільшенням
Рис. 7. Залежність коерцитивної сили в перпендикулярно прикладеному
полі у плівках Fe50Pt50 (15 нм)/SiO2/Si(001) та Ag (7,5 нм)/Fe50Pt50 (15 нм)/
SiO2/Si(001) від температури відпалу.
Fig. 7. Dependence of coercivity in plane field on annealing temperature in
Fe50Pt50 (15 нм)/SiO2/Si(001) and Ag (7.5 нм)/Fe50Pt50 (15 нм)/SiO2/Si(001)
films.
Рис. 8. Зміна розміру зерен FePt у плівках Fe50Pt50 (15 нм)/SiO2/Si(001) та
Ag (7,5 нм)/Fe50Pt50 (15 нм)/SiO2/Si(001) з температурою відпалу.
Fig. 8. Change of FePt-grains’ size on annealing temperature for Fe50Pt50
(15 нм)/SiO2/ Si(001) and Ag (7.5 нм)/Fe50Pt50 (15 нм)/SiO2/Si(001) films.
902 М. Н. ШÀМІС, О. В. ФІÃУРНÀ, Т. І. ВЕРБÈЦЬÊÀ, Ю. М. МÀÊОÃОН
температури відпалу відбувається фазовий перехід А1-FePt →
→ L10-FePt, що супроводжується зміною магнетних властивостей
— збільшується коерцитивна сила і досягає своїх максимальних
значень (12,9 кЕ і 12,5 кЕ) після відпалу при 900°С для обох плівок,
що можна пояснити збільшенням кількості магнетнотвердої фази.
Залежність розміру зерна від температури відпалу представлено
на рис. 8. Після осадження розмір зерен FePt становить 14 нм у плі-
вці без додаткового шару срібла та 11 нм з ним. Зі збільшенням те-
мператури відпалу розмір зерен FePt у плівках Fe50Pt50 (15 нм)/
SiO2/Si(001) і Ag (7,5 нм)/Fe50Pt50 (15 нм)/SiO2/Si(001) збільшується
і сягає значень 21 нм і 24 нм відповідно.
4. ВИСНОВКИ
Встановлено, що початковий рівень стискаючих напружень в плів-
ці FePt вливає на процеси формування магнетнотвердої упорядко-
ваної фази L10. Зниження рівня стискальних напружень за рахунок
додавання верхнього шару Ag підвищує температуру фазового пе-
ретворення А1-FePt → L10-FePt до 800°С, що на 100°С вище, ніж в
плівці стопу Fe50Pt50. При цьому в плівці стопу при формуванні фа-
зи L10-FePt спостерігається повна релаксація стискальних напру-
жень. У композиції з верхнім шаром срібла з підвищенням темпе-
ратури відпалу знову виникають стискальні напруження при пода-
льшій дифузії Ag по межах зерен FePt.
ПОДЯКИ
Роботу виконано за фінансової підтримки німецької служби акаде-
мічних обмінів (DAAD) за ґрантами № 57094397 (2014/2015),
№ 57198300 (2015/2016) у рамках стипендіяльної програми Лео-
нарда Ойлера. Àвтори висловлюють подяку співробітникам кафед-
ри експериментальної фізики-4 Університету м. Àугсбург (Німеч-
чина), завідувачу кафедри проф. М. Àлбрехту та д-ру Ã. Беддісу за
виготовлення зразків, допомогу у проведені досліджень і обробці
результатів.
ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА—REFERENCES
1. D. Weller , G. Parker , O. Mosendz , A. Lyberatos , D. Mitin , N. Y. Safonova,
and M. Albrecht, J. Vac. Sci. Technol., 34, Iss. 13: 060801 (2016).
2. T. Coughlin, 100 TB HDDs and A New Spin on Storage, Forbes. Link:
http://www.forbes.com/sites/tomcoughlin/2014/11/22/100-tb-hdds-and-a-
new-spin-on-storage/#573a08504c82
3. I. A. Vladymyrskyi, M. V. Karpets, F. Ganss, G. L. Katona, D. L. Beke,
https://doi.org/10.1116/1.4965980
http://www.forbes.com/sites/tomcoughlin/
http://www.forbes.com/sites/tomcoughlin/2014/11/22/100-tb-hdds-and-a-new-spin-on-storage/%23573a08504c82
http://www.forbes.com/sites/tomcoughlin/2014/11/22/100-tb-hdds-and-a-new-spin-on-storage/%23573a08504c82
ВПЛÈВ ШÀРУ Ag НÀ ФОРМУВÀННЯ ФÀЗÈ L10-FePt У ПЛІВÊÀХ 903
S. I. Sidorenko, T. Nagata, T. Nabatame, T. Chikyow, G. Beddies, M. Albrecht,
and Iu. M. Makogon, J. Appl. Phys., 114, Iss. 16: 164314 (2013).
4. I. A. Vladymyrskyi, A. E. Gafarov, A. P. Burmak, S. I. Sidorenko,
G. L. Katona, N. Y. Safonova, F. Ganss, G. Beddies, M. Albrecht,
Yu. N. Makogon, and D. L. Beke, J. Phys. D, 49, No. 3: 035003 (2016).
5. I. A. Vladymyrskyi, M. V. Karpets, G. L. Katona, D. L. Beke, S. I. Sidorenko,
T. Nagata, T. Nabatame, T. Chikyow, F. Ganss, G. Beddies, M. Albrecht, and
I. M. Makogon, J. Appl. Phys., 116, Iss. 4: 044310 (2014).
6. I. A. Vladymyrskyi, O. P. Pavlova, T. I. Verbitska, S. I. Sidorenko,
G. L. Katona, D. L. Beke, and Iu. M. Makogon, Vacuum, 101: 33 (2014).
7. Yu. M. Makogon, O. P. Pavlova, S. I. Sidorenko, T. I. Verbytska,
M. Yu. Verbytska, and O. V. Fihurna, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 37, No. 4:
487 (2015).
8. T. I. Verbitskaya, E. V. Figurnaya, M. Yu. Verbitskaya, I. A. Vladymyrskyi,
S. I. Sidorenko, E. P. Pavlova, and Yu. N. Makogon, Powder Metall. Met.
Ceram., 55, Nos. 1−2: 109 (2016).
9. M. Lee, R. Takechi, and N. Hosoito, J. Phys. Soc. Jpn., 86: 024706 (2017).
10. P. Rasmussen, X. Rui, and J. E. Shield, Appl. Phys. Lett., 86, Iss. 19: 191915
(2005).
11. S. N. Hsiao, F. T. Yuan, H. W. Chang, H. W. Huang, S. K. Chen, and H. Y. Lee,
Appl. Phys. Lett., 94, Iss. 23: 232505 (2009).
12. F. T. Yuan, S. H. Liu, W. M. Liao, S. N. Hsiao, S. K. Chen, and H. Y. Lee, IEEE
Trans. Magn., 48, Iss. 3: 1139 (2012).
13. S. N. Hsiao, S. H. Liu, S. K. Chen, F. T. Yuan, and H. Y. Lee, J. Appl. Phys.,
111, Iss. 7: 07A702 (2012).
14. Ch.-H. Lai, Ch.-H. Yang, C. C. Chiang, T. Balaji, and T. K. Tseng, Appl. Phys.
Lett., 85, Iss. 19: 4430 (2004).
https://doi.org/10.1063/1.4827202
https://doi.org/10.1088/0022-3727/49/3/035003
http://aip.scitation.org/author/Vladymyrskyi%2C+I+A
http://aip.scitation.org/author/Karpets%2C+M+V
http://aip.scitation.org/author/Katona%2C+G+L
http://aip.scitation.org/author/Beke%2C+D+L
http://aip.scitation.org/author/Sidorenko%2C+S+I
http://aip.scitation.org/author/Nagata%2C+T
http://aip.scitation.org/author/Nabatame%2C+T
http://aip.scitation.org/author/Chikyow%2C+T
http://aip.scitation.org/author/Ganss%2C+F
http://aip.scitation.org/author/Beddies%2C+G
http://aip.scitation.org/author/Albrecht%2C+M
http://aip.scitation.org/author/Makogon%2C+I+M
https://doi.org/10.1063/1.4891477
https://hungary.pure.elsevier.com/en/persons/d-beke
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2013.07.018
https://doi.org/10.15407/mfint.37.04.0487
https://doi.org/10.15407/mfint.37.04.0487
https://doi.org/10.1007/s11106-016-9785-0
https://doi.org/10.1007/s11106-016-9785-0
http://journals.jps.jp/author/Lee%2C+Mihee
http://journals.jps.jp/author/Takechi%2C+Ryota
http://journals.jps.jp/author/Hosoito%2C+Nobuyoshi
https://doi.org/10.7566/JPSJ.86.024706
https://doi.org/10.1063/1.1924889
https://doi.org/10.1063/1.1924889
https://doi.org/10.1063/1.3153513
https://doi.org/10.1109/TMAG.2011.2173660
https://doi.org/10.1109/TMAG.2011.2173660
https://doi.org/10.1063/1.3670515
https://doi.org/10.1063/1.3670515
http://aip.scitation.org/author/Lai%2C+Chih-Huang
http://aip.scitation.org/author/Yang%2C+Cheng-Han
http://aip.scitation.org/author/Chiang%2C+C+C
http://aip.scitation.org/author/Balaji%2C+T
http://aip.scitation.org/author/Tseng%2C+T+K
https://doi.org/10.1063/1.1819985
https://doi.org/10.1063/1.1819985
<<
/ASCII85EncodePages false
/AllowTransparency false
/AutoPositionEPSFiles true
/AutoRotatePages /None
/Binding /Left
/CalGrayProfile (Dot Gain 20%)
/CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2)
/sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CannotEmbedFontPolicy /Error
/CompatibilityLevel 1.4
/CompressObjects /Tags
/CompressPages true
/ConvertImagesToIndexed true
/PassThroughJPEGImages true
/CreateJobTicket false
/DefaultRenderingIntent /Default
/DetectBlends true
/DetectCurves 0.0000
/ColorConversionStrategy /CMYK
/DoThumbnails false
/EmbedAllFonts true
/EmbedOpenType false
/ParseICCProfilesInComments true
/EmbedJobOptions true
/DSCReportingLevel 0
/EmitDSCWarnings false
/EndPage -1
/ImageMemory 1048576
/LockDistillerParams false
/MaxSubsetPct 100
/Optimize true
/OPM 1
/ParseDSCComments true
/ParseDSCCommentsForDocInfo true
/PreserveCopyPage true
/PreserveDICMYKValues true
/PreserveEPSInfo true
/PreserveFlatness true
/PreserveHalftoneInfo false
/PreserveOPIComments true
/PreserveOverprintSettings true
/StartPage 1
/SubsetFonts true
/TransferFunctionInfo /Apply
/UCRandBGInfo /Preserve
/UsePrologue false
/ColorSettingsFile ()
/AlwaysEmbed [ true
]
/NeverEmbed [ true
]
/AntiAliasColorImages false
/CropColorImages true
/ColorImageMinResolution 300
/ColorImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleColorImages true
/ColorImageDownsampleType /Bicubic
/ColorImageResolution 300
/ColorImageDepth -1
/ColorImageMinDownsampleDepth 1
/ColorImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeColorImages true
/ColorImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterColorImages true
/ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG
/ColorACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/ColorImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000ColorACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000ColorImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasGrayImages false
/CropGrayImages true
/GrayImageMinResolution 300
/GrayImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleGrayImages true
/GrayImageDownsampleType /Bicubic
/GrayImageResolution 300
/GrayImageDepth -1
/GrayImageMinDownsampleDepth 2
/GrayImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeGrayImages true
/GrayImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterGrayImages true
/GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG
/GrayACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/GrayImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000GrayACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000GrayImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasMonoImages false
/CropMonoImages true
/MonoImageMinResolution 1200
/MonoImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleMonoImages true
/MonoImageDownsampleType /Bicubic
/MonoImageResolution 1200
/MonoImageDepth -1
/MonoImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeMonoImages true
/MonoImageFilter /CCITTFaxEncode
/MonoImageDict <<
/K -1
>>
/AllowPSXObjects false
/CheckCompliance [
/None
]
/PDFX1aCheck false
/PDFX3Check false
/PDFXCompliantPDFOnly false
/PDFXNoTrimBoxError true
/PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXSetBleedBoxToMediaBox true
/PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXOutputIntentProfile ()
/PDFXOutputConditionIdentifier ()
/PDFXOutputCondition ()
/PDFXRegistryName ()
/PDFXTrapped /False
/CreateJDFFile false
/Description <<
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
/BGR <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>
/CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002>
/CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002>
/CZE <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>
/DAN <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>
/DEU <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>
/ESP <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>
/ETI <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>
/FRA <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>
/GRE <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>
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
/HRV (Za stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.)
/HUN <FEFF004b0069007600e1006c00f30020006d0069006e0151007300e9006701710020006e0079006f006d00640061006900200065006c0151006b00e90073007a00ed007401510020006e0079006f006d00740061007400e100730068006f007a0020006c006500670069006e006b00e1006200620020006d0065006700660065006c0065006c0151002000410064006f00620065002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e00740075006d006f006b0061007400200065007a0065006b006b0065006c0020006100200062006500e1006c006c00ed007400e10073006f006b006b0061006c0020006b00e90073007a00ed0074006800650074002e0020002000410020006c00e90074007200650068006f007a006f00740074002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e00740075006d006f006b00200061007a0020004100630072006f006200610074002000e9007300200061007a002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002c0020007600610067007900200061007a002000610074007400f3006c0020006b00e9007301510062006200690020007600650072007a006900f3006b006b0061006c0020006e00790069007400680061007400f3006b0020006d00650067002e>
/ITA <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>
/JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002>
/KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e>
/LTH <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>
/LVI <FEFF0049007a006d0061006e0074006f006a00690065007400200161006f00730020006900650073007400610074012b006a0075006d00750073002c0020006c0061006900200076006500690064006f00740075002000410064006f00620065002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e007400750073002c0020006b006100730020006900720020012b00700061016100690020007000690065006d01130072006f00740069002000610075006700730074006100730020006b00760061006c0069007401010074006500730020007000690072006d007300690065007300700069006501610061006e006100730020006400720075006b00610069002e00200049007a0076006500690064006f006a006900650074002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e007400750073002c0020006b006f002000760061007200200061007400760113007200740020006100720020004100630072006f00620061007400200075006e002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002c0020006b0101002000610072012b00200074006f0020006a00610075006e0101006b0101006d002000760065007200730069006a0101006d002e>
/NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.)
/NOR <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>
/POL <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>
/PTB <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>
/RUM <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>
/RUS <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>
/SKY <FEFF0054006900650074006f0020006e006100730074006100760065006e0069006100200070006f0075017e0069007400650020006e00610020007600790074007600e100720061006e0069006500200064006f006b0075006d0065006e0074006f0076002000410064006f006200650020005000440046002c0020006b0074006f007200e90020007300610020006e0061006a006c0065007001610069006500200068006f0064006900610020006e00610020006b00760061006c00690074006e00fa00200074006c0061010d00200061002000700072006500700072006500730073002e00200056007900740076006f00720065006e00e900200064006f006b0075006d0065006e007400790020005000440046002000620075006400650020006d006f017e006e00e90020006f00740076006f00720069016500200076002000700072006f006700720061006d006f006300680020004100630072006f00620061007400200061002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002000610020006e006f0076016100ed00630068002e>
/SLV <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>
/SUO <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>
/SVE <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>
/TUR <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>
/UKR <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>
/ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.)
>>
/Namespace [
(Adobe)
(Common)
(1.0)
]
/OtherNamespaces [
<<
/AsReaderSpreads false
/CropImagesToFrames true
/ErrorControl /WarnAndContinue
/FlattenerIgnoreSpreadOverrides false
/IncludeGuidesGrids false
/IncludeNonPrinting false
/IncludeSlug false
/Namespace [
(Adobe)
(InDesign)
(4.0)
]
/OmitPlacedBitmaps false
/OmitPlacedEPS false
/OmitPlacedPDF false
/SimulateOverprint /Legacy
>>
<<
/AddBleedMarks false
/AddColorBars false
/AddCropMarks false
/AddPageInfo false
/AddRegMarks false
/ConvertColors /ConvertToCMYK
/DestinationProfileName ()
/DestinationProfileSelector /DocumentCMYK
/Downsample16BitImages true
/FlattenerPreset <<
/PresetSelector /MediumResolution
>>
/FormElements false
/GenerateStructure false
/IncludeBookmarks false
/IncludeHyperlinks false
/IncludeInteractive false
/IncludeLayers false
/IncludeProfiles false
/MultimediaHandling /UseObjectSettings
/Namespace [
(Adobe)
(CreativeSuite)
(2.0)
]
/PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK
/PreserveEditing true
/UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged
/UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile
/UseDocumentBleed false
>>
]
>> setdistillerparams
<<
/HWResolution [2400 2400]
/PageSize [612.000 792.000]
>> setpagedevice
|