Вплив підшарів ґерманію на оптичні властивості нанорозмірних плівок міді
Експериментально досліджено спектри пропускання та відбивання тонких плівок міді різної товщини (у 2–20 нм), вирощених в умовах надвисокого вакууму (тиск залишкових компонентів газу не перевищував 10⁻⁷ Па) на чистій скляній підкладинці та підкладинці, попередньо покритій підшаром ґерманію масовою то...
Saved in:
| Published in: | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Date: | 2017 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2017
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130404 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Вплив підшарів ґерманію на оптичні властивості нанорозмірних плівок міді / Р.І. Бігун, З.В. Стасюк, О.В. Строганов, Д.С. Леонов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 9. — С. 1173-1182. — Бібліогр.: 11 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859620560197124096 |
|---|---|
| author | Бігун, Р.І. Стасюк, З.В. Строганов, О.В. Леонов, Д.С. |
| author_facet | Бігун, Р.І. Стасюк, З.В. Строганов, О.В. Леонов, Д.С. |
| citation_txt | Вплив підшарів ґерманію на оптичні властивості нанорозмірних плівок міді / Р.І. Бігун, З.В. Стасюк, О.В. Строганов, Д.С. Леонов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 9. — С. 1173-1182. — Бібліогр.: 11 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Металлофизика и новейшие технологии |
| description | Експериментально досліджено спектри пропускання та відбивання тонких плівок міді різної товщини (у 2–20 нм), вирощених в умовах надвисокого вакууму (тиск залишкових компонентів газу не перевищував 10⁻⁷ Па) на чистій скляній підкладинці та підкладинці, попередньо покритій підшаром ґерманію масовою товщиною у 0,5 нм, у видимому та ближньому інфрачервоному діяпазонах довжин хвиль (у 300–2500 нм) за кімнатної температури (300 К). Механізми формування та режими росту плівки металу є визначальними для контрольованого вибору параметрів перколяції й оптичних і електричних ефектів, що її супроводжують. Показано, що підшари ґерманію масовою товщиною у 0,5 нм зменшують на 1 нм порогову товщину плівок міді, за якої відбувається зміна їхніх оптичних властивостей, що супроводжує перколяційний перехід. При цьому збільшується відбивальна здатність таких зразків у порівнянні з аналогічними зразками, осадженими на чисту скляну поверхню, що зумовлено більшим ступенем заповнености конденсатом поверхні підкладинки.
Экспериментально исследованы спектры пропускания и отражения тонких плёнок меди различной толщины (2–20 нм), выращенных в условиях сверхвысокого вакуума (давление остаточных компонентов газа не превышало 10⁻⁷ Па) на чистой стеклянной подложке и подложке, предварительно покрытой подслоем германия массовой толщиной 0,5 нм, в видимом и ближнем инфракрасном диапазонах длин волн (300–2500 нм) при комнатной температуре (300 К). Механизмы формирования и режимы роста плёнки металла являются определяющими для контролируемого выбора параметров перколяции, а также сопровождающих её оптических и электрических эффектов. Показано, что подслои германия массовой толщиной 0,5 нм уменьшают на 1 нм пороговую толщину плёнок меди, при которой происходит изменение их оптических свойств, сопровождающее перколяционный переход. При этом увеличивается отражательная способность таких образцов по сравнению с аналогичными образцами, осаждёнными на чистую стеклянную поверхность, что обусловлено большей степенью заполненности конденсатом поверхности подложки.
The transmission and reflection spectra of thin copper films with different thicknesses (of 2–20 nm) grown under ultrahigh vacuum conditions (where the pressure of the residual gas components does not exceed 10⁻⁷ Pa) on a clean glass substrate and a glass substrate precoated with a germanium underlayer with thickness of 0.5 nm are investigated in the visible and near-infrared wavelength ranges (300–2500 nm) at 300 K. The mechanisms of formation and the modes of growth of a metal film are crucial for the controlled selection of parameters of the percolation and concomitant optical and electrical phenomena. As shown, the germanium underlayers with a mass thickness of 0.5 nm reduce the threshold thickness of copper films per 1 nm, for which the changes of optical properties accompanied a percolation transition are observed. Herewith, the reflectivity of these samples is increased in comparison with similar films deposited on a clean glass surface because of higher degree of parameter of a surface filling by deposited condensate.
|
| first_indexed | 2025-11-29T03:37:38Z |
| format | Article |
| fulltext |
PACS numbers: 64.60.ah, 73.61.At, 73.63.Bd, 78.20.Ci, 78.66.Bz, 81.15.Kk
Вплив підшарів ґерманію на оптичні властивості
нанорозмірних плівок міді
Р. І. Бігун, З. В. Стасюк, О. В. Строганов, Д. С. Леонов*
Львівський національний університет імені Івана Франка,
вул. Університетська, 1,
79000 Львів, Україна
*Технічний центр НАН України,
вул. Покровська, 13,
04070 Київ, Україна
1
Експериментально досліджено спектри пропускання та відбивання тон-
ких плівок міді різної товщини (у 2–20 нм), вирощених в умовах надви-
сокого вакууму (тиск залишкових компонентів газу не перевищував 10−7
Па) на чистій скляній підкладинці та підкладинці, попередньо покритій
підшаром ґерманію масовою товщиною у 0,5 нм, у видимому та ближньо-
му інфрачервоному діяпазонах довжин хвиль (у 300–2500 нм) за кімнат-
ної температури (300 К). Механізми формування та режими росту плівки
металу є визначальними для контрольованого вибору параметрів перко-
ляції й оптичних і електричних ефектів, що її супроводжують. Показано,
що підшари ґерманію масовою товщиною у 0,5 нм зменшують на 1 нм по-
рогову товщину плівок міді, за якої відбувається зміна їхніх оптичних
властивостей, що супроводжує перколяційний перехід. При цьому збіль-
шується відбивальна здатність таких зразків у порівнянні з аналогічними
зразками, осадженими на чисту скляну поверхню, що зумовлено більшим
ступенем заповнености конденсатом поверхні підкладинки.
Ключові слова: тонкі металеві плівки, підшари субатомової товщини, пе-
Corresponding authors: Roman Ivanovych Bihun
E-mail: bihun28@ukr.net
Ivan Franko National University of Lviv, 1 Universytetska Str., UA-79000 Lviv, Ukraine
*Technical Centre, N.A.S. of Ukraine, 13 Pokrovs’ka Str., 04070 Kyiv, Ukraine
Please cite this article as: R. I. Bihun, Z. V. Stasyuk, O. V. Stroganov, and D. S. Leonov,
Influence of Germanium Underlayers on Optical Properties of Nanosize Copper Films,
Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 39, No. 9: 1173–1182 (2017) (in Ukrainian),
DOI: 10.15407/mfint.39.09.1173.
Ìеталлоôиç. новейøие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol.
2017, т. 39, № 9, сс. 1173–1182 / DOI: 10.15407/mfint.39.09.1173
Оттиски доступнû непосредственно от издателя
Ôотокопирование разрешено только
в соответствии с лицензией
2017 ÈМÔ (Èнститут металлофизики
им. Ã. В. Курдюмова ÍÀÍ Óкраинû)
Íапечатано в Óкраине.
1173
mailto:bihun28@ukr.net
https://doi.org/10.15407/mfint.39.09.1173
https://doi.org/10.15407/mfint.39.09.1173
1174 Р. І. БІÃÓÍ, З. В. СТÀСЮК, О. В. СТРОÃÀÍОВ, Д. С. ЛЕОÍОВ
рколяція, коефіцієнт відбивання плівок.
The transmission and reflection spectra of thin copper films with different
thicknesses (of 2–20 nm) grown under ultrahigh vacuum conditions (where
the pressure of the residual gas components does not exceed 10−7
Pa) on a
clean glass substrate and a glass substrate precoated with a germanium un-
derlayer with thickness of 0.5 nm are investigated in the visible and near-
infrared wavelength ranges (300–2500 nm) at 300 K. The mechanisms of
formation and the modes of growth of a metal film are crucial for the con-
trolled selection of parameters of the percolation and concomitant optical and
electrical phenomena. As shown, the germanium underlayers with a mass
thickness of 0.5 nm reduce the threshold thickness of copper films per 1 nm,
for which the changes of optical properties accompanied a percolation transi-
tion are observed. Herewith, the reflectivity of these samples is increased in
comparison with similar films deposited on a clean glass surface because of
higher degree of parameter of a surface filling by deposited condensate.
Key words: thin metal films, sublayers of subatomic thickness, percolation,
coefficient of reflection of films.
Экспериментально исследованû спектрû пропускания и отражения тон-
ких плёнок меди различной толщинû (2–20 нм), вûращеннûх в условиях
сверхвûсокого вакуума (давление остаточнûх компонентов газа не пре-
вûшало 10−7
Па) на чистой стеклянной подложке и подложке, предвари-
тельно покрûтой подслоем германия массовой толщиной 0,5 нм, в види-
мом и ближнем инфракрасном диапазонах длин волн (300–2500 нм) при
комнатной температуре (300 К). Механизмû формирования и режимû
роста плёнки металла являются определяющими для контролируемого
вûбора параметров перколяции, а также сопровождающих её оптических
и электрических эффектов. Показано, что подслои германия массовой
толщиной 0,5 нм уменьшают на 1 нм пороговую толщину плёнок меди,
при которой происходит изменение их оптических свойств, сопровожда-
ющее перколяционнûй переход. При этом увеличивается отражательная
способность таких образцов по сравнению с аналогичнûми образцами,
осаждённûми на чистую стеклянную поверхность, что обусловлено боль-
шей степенью заполненности конденсатом поверхности подложки.
Ключевые слова: тонкие металлические плёнки, подслои субатомной
толщинû, перколяция, коэффициент отражения плёнок.
(Отримано 5 серпня 2017 р.)
1. ВСТУП
Плівки металів товщиною у декілька нанометрів є перспективними
для використання в сучасній мікро- та наноелектроніці в якості
омічних провідників з високим коефіцієнтом прозорости у видимо-
му та інфрачервоному діяпазонах довжин світлових хвиль [1]. Дос-
лідження електричних властивостей та вивчення взаємодії ультра-
ВПЛÈВ ПІДШÀРІВ Ge ÍÀ ОПТÈЧÍІ ВЛÀСТÈВОСТІ ÍÀÍОПЛІВОК Cu 1175
тонких шарів з електромагнетним випроміненням цікаве у зв’язку
з можливим використанням у сучасному приладобудуванні. Ó цьо-
му плані важливою проблемою є встановлення особливостей зміни
електричних та оптичних параметрів плівки в процесі переходу її
від острівцевої будови до суцільного шару при зміні товщини. В об-
ласті критичного переходу плівка проявляє унікальні оптичні та
електричні властивості, зумовлені змінами механізмів релаксації
носіїв струму та, зокрема, змінами їхнього розсіяння на поверхні
зразка та міжзеренних межах. Важливо встановити критичну тов-
щину шару dc, при якій проявляється згаданий перехід. Визначен-
ня величини dc можливе у рамках перколяційного підходу [2, 3]. З
літератури відомо, що за допомогою підшарів поверхнево активних
слабкопровідних речовин (Ge, Si, Sb) можна керувати величиною dc
плівок конкретного металу. Ступінь впливу підшару на формуван-
ня плівки істотно залежить від температури топлення металевого
зразка [4].
Ó даній роботі з метою встановлення критичної товщини dc, за
якої відбувається перколяційний перехід, досліджено оптичні спе-
ктри пропускання та відбивання у видимому та ближньому інфра-
червоному (ІЧ) діяпазонах довжин хвиль (300–2500 нм) тонких
шарів міді різної товщини, осаджених на чисту скляну поверхню та
на поверхню, попередньо покриту підшаром ґерманію масовою то-
вщиною 0,5 нм. Розглянуто кореляцію між оптичними та електри-
чними властивостями при перколяційному переході у досліджува-
них плівках міді.
2. МЕТОДИКА ЕКСПЕРИМЕНТУ
Конденсати плівок міді одержували в умовах статичного надвисо-
кого вакууму (тиск залишкових компонент газу не перевищував
10−7
Па) у відпаяних скляних експериментальних приладах. Мето-
дика препарування плівок міді ідентична методиці, використаній
при дослідженні структури плівок металів, описана в попередніх
роботах авторів [4]. Плівки міді одержували шляхом конденсації
пари термічно випаруваного металу при швидкості нанесення ≅0,01
нм/с на охолоджену до 78 К підкладинку в режимі ‘quench con-
densed’ з подальшою термостабілізацією за кімнатної температури
(Ткім = 300 К) впродовж однієї доби. Зауважимо, що електроногра-
фічні дослідження структури плівок не виявили ні слідів ґерманію
в об’ємі плівки міді (як наслідок можливих дифузійних процесів),
ні сполук ґерманію з міддю. Óльтратонкі плівки ґерманію товщи-
ною в декілька атомних шарів наносили на підкладинку безпосере-
дньо перед конденсацією пари досліджуваного металу при Т = 78 К.
Результати дослідження структури плівок міді за допомогою елек-
тронної мікроскопії на просвіт показали, що металеві конденсати
1176 Р. І. БІÃÓÍ, З. В. СТÀСЮК, О. В. СТРОÃÀÍОВ, Д. С. ЛЕОÍОВ
на поверхні підшарів ґерманію є ізотропними та однорідними в
площині підкладинки полікристалічними плівками металу. Ó ре-
жимі ‘quench condensed’ при Тпід << 0,5Ттопл [5, 6], де Ттопл — темпе-
ратура топлення металу, вдається формувати полікристалічні плі-
вки металів з періодом кристалічної ґратниці, близьким до анало-
гічного параметра кристалічної ґратниці масивного металу, та се-
редніми лінійними розмірами кристалітів D, незалежними від то-
вщини плівки металу. Ці розміри становлять D = 11–13 нм для плі-
вок міді, осаджених на чисту аморфну підкладинку, та D = 8–9 нм
для плівок міді, осаджених на аморфну підкладинку, попередньо
покриту підшаром ґерманію товщиною 0,5 нм. Одержаний резуль-
тат добре узгоджується з даними про еволюцію структури плівок
низки металів (Au, In, Bi, Pb, Sn, Fe, Co, Ni), термічно осаджених на
аморфні підкладинки вуглецю, в процесі зміни її температури [7,
8]. Оцінку товщини плівок здійснювали за зсувом резонансної час-
тоти п’єзокварцового вібратора з чутливістю не гіршою за 0,1 нм та
за допомогою додаткових прямих ÀСМ та СТМ досліджень морфо-
логії поверхні [4]. Дослідження спектрів пропускання T(λ) та від-
бивання R(λ) плівок міді реалізовано на Shimadzu UV-3600-VIS-NIR
у видимій та ближній інфрачервоній областях довжин хвиль в дія-
пазоні 300 ≤ λ ≤ 2500 нм. Спектри відбивання R(λ) досліджували
при близькому до нормального куті падіння електромагнетного ви-
промінення α = 8°. Зауважимо, що в рамках даного дослідження
вважається, що підшари ґерманію не впливають на спектральні ха-
рактеристики плівок міді, а лише змінюють умови росту та, відпо-
відно, структуру плівки металу.
3. ОБГОВОРЕННЯ ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНИХ РЕЗУЛЬТАТІВ
Íа рисунку 1, а представлено результати експериментального дос-
лідження спектрів відбивання R(λ) плівок міді різної товщини,
сформованих на чистій скляній підкладинці. Íа рисунку 1, б пока-
зано результати дослідження R(λ) плівок металу, нанесених на по-
верхню скла, попередньо покриту підшаром ґерманію масовою то-
вщиною 0,5 нм. Для порівняння на згаданих рисунках також наве-
дено спектри R(λ) для чистих підкладинок. Зауважимо, що залеж-
ності R(λ) для чистої скляної підкладинки та скляної підкладинки,
покритої підшаром ґерманію масовою товщиною 0,5 нм, при малих
товщинах плівок міді у 2–10 нм в ІЧ-області спектру практично не
відрізняються між собою. Для товщин плівок міді у 10–20 нм в ІЧ
області спостерігається значна відмінність у коефіцієнті відбиван-
ня, яку ми пов’язуємо з двома факторами. По-перше, плівкам міді,
осадженим на підшари ґерманію, притаманні менші середні лінійні
розміри кристалітів, а тому у порівнянні з плівками, сформовани-
ми на чистій поверхні скла, ступінь заповнення підкладинки Р є
ВПЛÈВ ПІДШÀРІВ Ge ÍÀ ОПТÈЧÍІ ВЛÀСТÈВОСТІ ÍÀÍОПЛІВОК Cu 1177
вищим. Крім того, середня амплітуда поверхневих неоднорідностей
у плівках міді, осаджених на підшари ґерманію, є меншою у порів-
нянні з плівками міді, осадженими на чисту скляну підкладинку, а
тому і коефіцієнт відбивання є більшим. Зауважимо, що згідно [9]
збільшення середньої амплітуди поверхневих неоднорідностей h
призводить до зменшення коефіцієнта відбивання R, що може бути
описане фактором Дебая–Валлера:
( )2 2 2
0 exp 16 /R R h= − p λ , (1)
де R0 — коефіцієнт відбивання гладкої (h = 0) поверхні плівки мета-
лу, h — середня амплітуда поверхневих неоднорідностей.
Порівняльна аналіза даних, наведених на рис. 1, а, б, показує,
що коефіцієнт відбивання R плівок малих товщин 2–5 нм, сформо-
ваних на чистій поверхні скла, менший за коефіцієнт відбивання
плівок такої ж товщини, осаджених на поверхні підшару ґерманію.
Дане явище можна пояснити на основі порівняння умов формуван-
ня плівок на чистій поверхні скла та на поверхні підшару ґерманію.
Íа початковій стадії росту плівки зародки кристалізації металу на
поверхні скла проявляють тенденцію до коалесценції, у противагу
цьому при зародженні плівки міді на поверхні підшару ґерманію
атоми металу створюють ковалентні зв’язки з атомами ґерманію і,
а б
Рис. 1. Спектри відбивання R плівок міді різної товщини: а — плівки, оса-
джені на чисту скляну підкладинку; б — плівки, осаджені на скляну підк-
ладинку, попередньо покриту підшаром ґерманію масовою товщиною у
0,5 нм.
Fig. 1. Spectra of reflection R of copper films of different thickness: а—films
deposited on a clean glass substrate; б—films deposited on a glass substrate
precoated by a germanium layer with a mass thickness of 0.5 nm.
1178 Р. І. БІÃÓÍ, З. В. СТÀСЮК, О. В. СТРОÃÀÍОВ, Д. С. ЛЕОÍОВ
таким чином, достатньо сильно зв’язуються з поверхнею підклади-
нки у місці падіння на поверхню, створюючи дрібні кристаліти, що
ускладнює процес коалесценції. В результаті на поверхні підшару
ґерманію при нанесенні шару металу даної масової товщини забез-
печується більш ефективне заповнення P поверхні підкладинки у
порівнянні з заповненням чистої поверхні скла, яка покривається
кристалітами більших розмірів.
Тому, у випадку формування дуже тонких плівок на чистій пове-
рхні скла, незаповненою металом залишається більша частина по-
верхні підкладинки у порівнянні з випадком плівок, конденсова-
них на поверхні підшару ґерманію, що і приводить до відмінностей
величин коефіцієнта відбивання.
Даний висновок узгоджується з результатами дослідження стру-
ктури тонких плівок золота, осаджених на чистій скляній підкла-
динці та скляній підкладинці, покритій підшарами поверхнево ак-
тивних речовин. Було показано, що вплив підшарів ґерманію на
формування плівок зводиться до запобігання явищу коалесценції
зародків кристалізації і, таким чином, до росту плівок, середні роз-
міри кристалітів D у яких менші за середні розміри кристалітів у
плівках, нанесених на чисту поверхню скла. Коефіцієнт відбивання
R плівок міді великих товщин (d > 10 нм) проявляє тенденцію до
зростання в міру збільшення товщини плівки металу для довжин
а б
Рис. 2. Спектри пропускання T плівок міді різної товщини: а — плівки,
осаджені на чисту скляну підкладинку; б — плівки, осаджені на скляну
підкладинку, попередньо покриту підшаром ґерманію масовою товщиною
у 0,5 нм.
Fig. 2. Transmission spectrum T of copper films with different thickness: а—
films deposited on a clean glass substrate; б—films deposited on a glass sub-
strate precoated by a germanium layer with a mass thickness of 0.5 nm.
ВПЛÈВ ПІДШÀРІВ Ge ÍÀ ОПТÈЧÍІ ВЛÀСТÈВОСТІ ÍÀÍОПЛІВОК Cu 1179
хвиль світла λ > 400–500 нм.
Спектральні залежності коефіцієнта пропускання T плівок міді,
сформованих на чистій поверхні скла та на поверхні скла, покритій
підшаром ґерманію масовою товщиною 0,5 нм, показані відповідно
на рис. 2, а і б. Для порівняння на згаданих рисунках також наве-
дено спектри Т(λ) для чистих підкладинок. Зауважимо, що залеж-
ності Т(λ) для чистої скляної підкладинки та скляної підкладинки,
покритої підшаром ґерманію масовою товщиною 0,5 нм, практично
не відрізняються між собою.
Сказане підтверджує аналіз розмірних залежностей коефіцієнта
пропускання T плівок для декількох вибраних довжин хвиль з дос-
ліджуваного діяпазону. Íа рисунку 3 показано залежності T від то-
вщини d плівок міді, сформованих на чистій поверхні скла (рис. 3,
а) та на поверхні скла, покритій підшаром ґерманію масовою тов-
щиною 0,5 нм (рис. 3, б), для семи довжин хвиль, які відповідають
ближньому та середньому ІЧ діяпазону спектру. Згідно з перколя-
ційним підходом [2], товщина плівки d в точці перетину згаданих
а б
Рис. 3. Розмірні залежності спектрів пропускання плівок міді для різних
довжин хвиль: 1000, 1200, 1400, 1600, 1800, 2000, 2500 нм. Точка пере-
тину кривих відповідає масовій товщині dc та перколяційному переходу: а
— плівки міді, осаджені на чисту скляну підкладинку; б — плівки міді,
осаджені на скляну підкладинку, попередньо покриту підшаром ґерманію
масовою товщиною у 0,5 нм; температура вимірювання Т = 300 К.
Fig. 3. Size dependences of the transmission spectra of copper films for dif-
ferent wavelengths: 1000, 1200, 1400, 1600, 1800, 2000, 2500 nm. The in-
tersection point of these curves corresponds to the mass thickness dc of the
percolation transition: а—films of copper deposited on a clean glass sub-
strate; б—copper films deposited on a glass substrate precoated with a sub-
strate of germanium with a mass thickness of 0.5 nm; measurement tempera-
ture T = 300 K.
1180 Р. І. БІÃÓÍ, З. В. СТÀСЮК, О. В. СТРОÃÀÍОВ, Д. С. ЛЕОÍОВ
залежностей відповідає критичній товщині dс, за якої відбувається
перколяційний перехід.
З даних, представлених на рис. 3, видно, що у плівках міді, сфо-
рмованих на чистій поверхні скла, величина dc = 7,4 нм, а у плів-
ках, нанесених на поверхню підшару ґерманію, dc = 6,5 нм. Заува-
жимо, що цей результат узгоджується з даними, одержаними в ро-
ботах [10, 11] при дослідженні електропровідности плівок міді, ви-
готовлених з використанням аналогічної методики. В цих роботах
показано, що при конденсації пари металу в аналогічних умовах на
чисту поверхню скла та поверхню скла, покриту підшаром ґерма-
нію масовою товщиною 5 нм, величини dc виявилися рівними 7 нм
та 6 нм відповідно.
Àналіз розмірних залежностей спектрів поглинання дослідже-
них плівок міді в припущенні ефективного середовища [2] також
підтверджує одержаний результат. Розрахунок спектрів поглинан-
ня в інфрачервоній області здійснено в наближенні слабопоглина-
льної підкладинки [10]. В результаті одержано, що із зростанням
масової товщини плівки металу має місце зростання коефіцієнта
поглинання A до певного максимуму, який відповідає товщині плі-
вки металу, рівній dc, з подальшим падінням величини A в міру
зростання товщини плівки. Хід розмірної залежности A(d) справед-
ливий як для плівок міді, нанесених на чисту поверхню скла, так і
для плівок, сформованих на поверхні підшару ґерманію.
Встановити вигляд функціональної залежности A(d) на основі
одержаних нами експериментальних даних неможливо, оскільки
таку залежність можна одержати при неперервному мірянні вели-
чин R і T у процесі формування плівки. Для дискретних змін d гра-
фік залежности A(d) має вигляд ламаної кривої, показаної на рис. 4.
Спостережувана поведінка розмірних залежностей коефіцієнта
поглинання може бути пояснена на основі підходу, що враховує
зміни будови плівки металу при зростанні товщини плівки.
Відомо, що дисперсні плівки металів внаслідок плазмонного ре-
зонансу сильніше поглинають світло на відмінну від суцільних.
Максимум поглинання відповідає області перколяційного переходу
[11]. В області товщин до перколяційного переходу (d < dc) плівка
складається з ізольованих острівців, в кожному з яких локалізова-
на електронна підсистема, в якій виникають плазмони під час взає-
модії з електромагнетним випроміненням. Більше того, концент-
рація ізольованих острівців у приперколяційній ділянці товщин
досягає свого максимуму, а тому й коефіцієнт поглинання сягає
свого максимального значення Amax ≅ 0,5. Середні лінійні розміри
кристалітів у плівках міді на поверхні підшару ґерманію у 1,4 рази
менші за лінійні розміри кристалітів у плівках міді, виготовлених в
ідентичних умовах на чистій поверхні скла. Це в свою чергу ство-
рює на поверхні підшару ґерманію підвищену концентрацію ізо-
ВПЛÈВ ПІДШÀРІВ Ge ÍÀ ОПТÈЧÍІ ВЛÀСТÈВОСТІ ÍÀÍОПЛІВОК Cu 1181
льованих острівців, внаслідок чого зростає ступінь заповнености
поверхні підкладинки металом [4], що в свою чергу зменшує поро-
гову товщину dc перколяційного переходу та підвищує коефіцієнт
відбивання R відповідних плівок металів.
4. ВИСНОВКИ
1. Встановлено, що товщина dc плівки металу, яка відповідає пер-
коляційному переходу, за даними вимірювань оптичних властивос-
тей тонких плівок міді, добре узгоджується з аналогічною величи-
ною, розрахованою за даними розмірних залежностей опору відпа-
лених плівок міді.
2. Підшари ґерманію зменшують порогову товщину плівки металу,
яка відповідає перколяційному переходу за даними оптичних вимі-
рювань, та зсувають її в область менших товщин.
3. Виявлено, що поглинальна здатність плівок міді, осаджених на
підшари ґерманію та осаджених на чисту скляну поверхню, сягає
максимального значення за товщин, що відповідають перколяцій-
ному переходу. Це обумовлено максимальною концентрацією ізо-
льованих острівців, які формуються на поверхні підкладинки в об-
ласті товщин плівок, що обумовлюють перколяційний перехід.
ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА
1. A. Axelevitch, B. Gorenstein, and G. Golan, Physics Procedia, 32: 1 (2012).
Рис. 4. Розмірні залежності коефіцієнта поглинання плівок міді, осадже-
них на чисту скляну підкладинку (λ = 1000, 1500, 2000, 2500 нм).
Fig. 4. Size dependences of an absorption coefficient of copper films deposited
on a clean glass substrate (λ = 1000, 1500, 2000, 2500 nm).
1182 Р. І. БІÃÓÍ, З. В. СТÀСЮК, О. В. СТРОÃÀÍОВ, Д. С. ЛЕОÍОВ
2. P. Smilauer, Contemporary Physics, 32, No. 2: 89 (1991).
3. S. Ding, X. Wang, D. J. Chen, and Q. Q. Wang, Optics Express, 14, No. 4: 1541
(2006).
4. Р. І. Бігун, З. В. Стасюк, О. В. Строганов, В. М. Ãаврилюх, Д. С. Леонов,
Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 13, вип. 3: 459 (2015).
5. S. V. Dukarov, S. I. Petrushenko, V. N. Sukhov, and I. G. Churilov, Problems of
Atomic Science and Technology, 89, No. 1: 110 (2014).
6. N. Kaiser, Applied Optics, 41, No. 16: 3053 (2002).
7. N. T. Gladkikh, S. V. Dukarov, and V. N. Sukhov, Fizika Metallov i
Metallovedenie, 78, No. 3: 87 (1994) (in Russian).
8. С. È. Петрушенко, С. В. Дукаров, В. Í. Сухов, È. Ã. Чурилов, Журнал нано-
та електронної ôіçики, 7, No. 2: 02033 (2015).
9. È. À. Ãирка, В. Т. Ãрицûна, Ю. Ã. Казаринов, È. Í. Мисюра, Науковий
вісник Ужгородського університету. Серія Фіçика, вип. 29: 97 (2011).
10. Р. І. Бігун, М. Д. Бучковська, Í. С. Колтун, З. В. Стасюк, Д. С. Леонов,
Ìеталлоôиç. новейøие технол., 35, № 1: 85 (2013).
11. М. Д. Бучковська, Р. І. Бігун, З. В. Стасюк, Д. С. Леонов, Наносистеми,
наноматеріали, нанотехнології, 11, № 3: 551 (2013).
REFERENCES
1. A. Axelevitch, B. Gorenstein, and G. Golan, Physics Procedia, 32: 1 (2012).
2. P. Smilauer, Contemporary Physics, 32, No. 2: 89 (1991).
3. S. Ding, X. Wang, D. J. Chen, and Q. Q. Wang, Optics Express, 14, No. 4: 1541
(2006).
4. R. I. Bihun, Z. V. Stasiuk, O. V. Strohanov, V. M. Havryliukh, and
D. S. Leonov, Nanosistemi, Nanomateriali, Nanotehnologii, 13, No. 3: 459
(2015) (in Ukrainian).
5. S. V. Dukarov, S. I. Petrushenko, V. N. Sukhov, I. G Churilov, Problems of
Atomic Science and Technology, 89, No. 1: 110 (2014).
6. N. Kaiser, Applied Optics, 41, No. 16: 3053 (2002).
7. N. T. Gladkikh, S. V. Dukarov, and V. N. Sukhov, Fizika Metallov i
Metallovedenie, 78, No. 3: 87 (1994) (in Russian).
8. S. I. Petrushenko, S. V. Dukarov, V. N. Sukhov, and I. G. Churilov, Zhurnal
Nano- ta Elektronnoyi Fizyky, 7, No. 2: 02033 (2015) (in Russian).
9. I. A. Girka, V. T. Gritsyna, Yu. G. Kazarinov, and I. N. Misyura, Naukovyy
Visnyk Uzhgorodskogo Universytetu. Seriya Fizyka, Iss. 29: 97 (2011)
(in Russian).
10. R. I. Bigun, M. D. Buchkovs’ka, N. S. Koltun, Z. V. Stasyuk, and D. S. Leonov,
Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 35, No. 1: 85 (2013) (in Ukrainian).
11. M. D. Buchkovs’ka, R. I. Bigun, Z. V. Stasyuk, and D. S. Leonov, Nanosistemi,
Nanomateriali, Nanotehnologii, 11, No. 3: 551 (2013) (in Ukrainian).
https://doi.org/10.1016/j.phpro.2012.03.510
https://doi.org/10.1080/00107519108213805
https://doi.org/10.1364/OE.14.001541
https://doi.org/10.1364/OE.14.001541
https://doi.org/10.1364/AO.41.003053
<<
/ASCII85EncodePages false
/AllowTransparency false
/AutoPositionEPSFiles true
/AutoRotatePages /None
/Binding /Left
/CalGrayProfile (Dot Gain 20%)
/CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2)
/sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CannotEmbedFontPolicy /Error
/CompatibilityLevel 1.4
/CompressObjects /Tags
/CompressPages true
/ConvertImagesToIndexed true
/PassThroughJPEGImages true
/CreateJobTicket false
/DefaultRenderingIntent /Default
/DetectBlends true
/DetectCurves 0.0000
/ColorConversionStrategy /CMYK
/DoThumbnails false
/EmbedAllFonts true
/EmbedOpenType false
/ParseICCProfilesInComments true
/EmbedJobOptions true
/DSCReportingLevel 0
/EmitDSCWarnings false
/EndPage -1
/ImageMemory 1048576
/LockDistillerParams false
/MaxSubsetPct 100
/Optimize true
/OPM 1
/ParseDSCComments true
/ParseDSCCommentsForDocInfo true
/PreserveCopyPage true
/PreserveDICMYKValues true
/PreserveEPSInfo true
/PreserveFlatness true
/PreserveHalftoneInfo false
/PreserveOPIComments true
/PreserveOverprintSettings true
/StartPage 1
/SubsetFonts true
/TransferFunctionInfo /Apply
/UCRandBGInfo /Preserve
/UsePrologue false
/ColorSettingsFile ()
/AlwaysEmbed [ true
]
/NeverEmbed [ true
]
/AntiAliasColorImages false
/CropColorImages true
/ColorImageMinResolution 300
/ColorImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleColorImages true
/ColorImageDownsampleType /Bicubic
/ColorImageResolution 300
/ColorImageDepth -1
/ColorImageMinDownsampleDepth 1
/ColorImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeColorImages true
/ColorImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterColorImages true
/ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG
/ColorACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/ColorImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000ColorACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000ColorImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasGrayImages false
/CropGrayImages true
/GrayImageMinResolution 300
/GrayImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleGrayImages true
/GrayImageDownsampleType /Bicubic
/GrayImageResolution 300
/GrayImageDepth -1
/GrayImageMinDownsampleDepth 2
/GrayImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeGrayImages true
/GrayImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterGrayImages true
/GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG
/GrayACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/GrayImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000GrayACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000GrayImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasMonoImages false
/CropMonoImages true
/MonoImageMinResolution 1200
/MonoImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleMonoImages true
/MonoImageDownsampleType /Bicubic
/MonoImageResolution 1200
/MonoImageDepth -1
/MonoImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeMonoImages true
/MonoImageFilter /CCITTFaxEncode
/MonoImageDict <<
/K -1
>>
/AllowPSXObjects false
/CheckCompliance [
/None
]
/PDFX1aCheck false
/PDFX3Check false
/PDFXCompliantPDFOnly false
/PDFXNoTrimBoxError true
/PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXSetBleedBoxToMediaBox true
/PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXOutputIntentProfile ()
/PDFXOutputConditionIdentifier ()
/PDFXOutputCondition ()
/PDFXRegistryName ()
/PDFXTrapped /False
/CreateJDFFile false
/Description <<
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
/BGR <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>
/CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002>
/CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002>
/CZE <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>
/DAN <FEFF004200720075006700200069006e0064007300740069006c006c0069006e006700650072006e0065002000740069006c0020006100740020006f007000720065007400740065002000410064006f006200650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e007400650072002c0020006400650072002000620065006400730074002000650067006e006500720020007300690067002000740069006c002000700072006500700072006500730073002d007500640073006b007200690076006e0069006e00670020006100660020006800f8006a0020006b00760061006c0069007400650074002e0020004400650020006f007000720065007400740065006400650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e0074006500720020006b0061006e002000e50062006e00650073002000690020004100630072006f00620061007400200065006c006c006500720020004100630072006f006200610074002000520065006100640065007200200035002e00300020006f00670020006e0079006500720065002e>
/DEU <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>
/ESP <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>
/ETI <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>
/FRA <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>
/GRE <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>
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
/HRV (Za stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.)
/HUN <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>
/ITA <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>
/JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002>
/KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e>
/LTH <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>
/LVI <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>
/NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.)
/NOR <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>
/POL <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>
/PTB <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>
/RUM <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>
/RUS <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>
/SKY <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>
/SLV <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>
/SUO <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>
/SVE <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>
/TUR <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>
/UKR <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>
/ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.)
>>
/Namespace [
(Adobe)
(Common)
(1.0)
]
/OtherNamespaces [
<<
/AsReaderSpreads false
/CropImagesToFrames true
/ErrorControl /WarnAndContinue
/FlattenerIgnoreSpreadOverrides false
/IncludeGuidesGrids false
/IncludeNonPrinting false
/IncludeSlug false
/Namespace [
(Adobe)
(InDesign)
(4.0)
]
/OmitPlacedBitmaps false
/OmitPlacedEPS false
/OmitPlacedPDF false
/SimulateOverprint /Legacy
>>
<<
/AddBleedMarks false
/AddColorBars false
/AddCropMarks false
/AddPageInfo false
/AddRegMarks false
/ConvertColors /ConvertToCMYK
/DestinationProfileName ()
/DestinationProfileSelector /DocumentCMYK
/Downsample16BitImages true
/FlattenerPreset <<
/PresetSelector /MediumResolution
>>
/FormElements false
/GenerateStructure false
/IncludeBookmarks false
/IncludeHyperlinks false
/IncludeInteractive false
/IncludeLayers false
/IncludeProfiles false
/MultimediaHandling /UseObjectSettings
/Namespace [
(Adobe)
(CreativeSuite)
(2.0)
]
/PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK
/PreserveEditing true
/UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged
/UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile
/UseDocumentBleed false
>>
]
>> setdistillerparams
<<
/HWResolution [2400 2400]
/PageSize [612.000 792.000]
>> setpagedevice
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-130404 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1024-1809 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-11-29T03:37:38Z |
| publishDate | 2017 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Бігун, Р.І. Стасюк, З.В. Строганов, О.В. Леонов, Д.С. 2018-02-12T17:29:15Z 2018-02-12T17:29:15Z 2017 Вплив підшарів ґерманію на оптичні властивості нанорозмірних плівок міді / Р.І. Бігун, З.В. Стасюк, О.В. Строганов, Д.С. Леонов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2017. — Т. 39, № 9. — С. 1173-1182. — Бібліогр.: 11 назв. — укр. 1024-1809 PACS: 64.60.ah, 73.61.At, 73.63.Bd, 78.20.Ci, 78.66.Bz, 81.15.Kk DOI: doi.org/10.15407/mfint.39.09.1173 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130404 Експериментально досліджено спектри пропускання та відбивання тонких плівок міді різної товщини (у 2–20 нм), вирощених в умовах надвисокого вакууму (тиск залишкових компонентів газу не перевищував 10⁻⁷ Па) на чистій скляній підкладинці та підкладинці, попередньо покритій підшаром ґерманію масовою товщиною у 0,5 нм, у видимому та ближньому інфрачервоному діяпазонах довжин хвиль (у 300–2500 нм) за кімнатної температури (300 К). Механізми формування та режими росту плівки металу є визначальними для контрольованого вибору параметрів перколяції й оптичних і електричних ефектів, що її супроводжують. Показано, що підшари ґерманію масовою товщиною у 0,5 нм зменшують на 1 нм порогову товщину плівок міді, за якої відбувається зміна їхніх оптичних властивостей, що супроводжує перколяційний перехід. При цьому збільшується відбивальна здатність таких зразків у порівнянні з аналогічними зразками, осадженими на чисту скляну поверхню, що зумовлено більшим ступенем заповнености конденсатом поверхні підкладинки. Экспериментально исследованы спектры пропускания и отражения тонких плёнок меди различной толщины (2–20 нм), выращенных в условиях сверхвысокого вакуума (давление остаточных компонентов газа не превышало 10⁻⁷ Па) на чистой стеклянной подложке и подложке, предварительно покрытой подслоем германия массовой толщиной 0,5 нм, в видимом и ближнем инфракрасном диапазонах длин волн (300–2500 нм) при комнатной температуре (300 К). Механизмы формирования и режимы роста плёнки металла являются определяющими для контролируемого выбора параметров перколяции, а также сопровождающих её оптических и электрических эффектов. Показано, что подслои германия массовой толщиной 0,5 нм уменьшают на 1 нм пороговую толщину плёнок меди, при которой происходит изменение их оптических свойств, сопровождающее перколяционный переход. При этом увеличивается отражательная способность таких образцов по сравнению с аналогичными образцами, осаждёнными на чистую стеклянную поверхность, что обусловлено большей степенью заполненности конденсатом поверхности подложки. The transmission and reflection spectra of thin copper films with different thicknesses (of 2–20 nm) grown under ultrahigh vacuum conditions (where the pressure of the residual gas components does not exceed 10⁻⁷ Pa) on a clean glass substrate and a glass substrate precoated with a germanium underlayer with thickness of 0.5 nm are investigated in the visible and near-infrared wavelength ranges (300–2500 nm) at 300 K. The mechanisms of formation and the modes of growth of a metal film are crucial for the controlled selection of parameters of the percolation and concomitant optical and electrical phenomena. As shown, the germanium underlayers with a mass thickness of 0.5 nm reduce the threshold thickness of copper films per 1 nm, for which the changes of optical properties accompanied a percolation transition are observed. Herewith, the reflectivity of these samples is increased in comparison with similar films deposited on a clean glass surface because of higher degree of parameter of a surface filling by deposited condensate. uk Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Вплив підшарів ґерманію на оптичні властивості нанорозмірних плівок міді Влияние подслоёв германия на оптические свойства наноразмерных плёнок меди Influence of Germanium Underlayers on Optical Properties of Nanosize Copper Films Article published earlier |
| spellingShingle | Вплив підшарів ґерманію на оптичні властивості нанорозмірних плівок міді Бігун, Р.І. Стасюк, З.В. Строганов, О.В. Леонов, Д.С. Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов |
| title | Вплив підшарів ґерманію на оптичні властивості нанорозмірних плівок міді |
| title_alt | Влияние подслоёв германия на оптические свойства наноразмерных плёнок меди Influence of Germanium Underlayers on Optical Properties of Nanosize Copper Films |
| title_full | Вплив підшарів ґерманію на оптичні властивості нанорозмірних плівок міді |
| title_fullStr | Вплив підшарів ґерманію на оптичні властивості нанорозмірних плівок міді |
| title_full_unstemmed | Вплив підшарів ґерманію на оптичні властивості нанорозмірних плівок міді |
| title_short | Вплив підшарів ґерманію на оптичні властивості нанорозмірних плівок міді |
| title_sort | вплив підшарів ґерманію на оптичні властивості нанорозмірних плівок міді |
| topic | Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов |
| topic_facet | Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130404 |
| work_keys_str_mv | AT bígunrí vplivpídšarívgermaníûnaoptičnívlastivostínanorozmírnihplívokmídí AT stasûkzv vplivpídšarívgermaníûnaoptičnívlastivostínanorozmírnihplívokmídí AT stroganovov vplivpídšarívgermaníûnaoptičnívlastivostínanorozmírnihplívokmídí AT leonovds vplivpídšarívgermaníûnaoptičnívlastivostínanorozmírnihplívokmídí AT bígunrí vliâniepodsloevgermaniânaoptičeskiesvoistvananorazmernyhplenokmedi AT stasûkzv vliâniepodsloevgermaniânaoptičeskiesvoistvananorazmernyhplenokmedi AT stroganovov vliâniepodsloevgermaniânaoptičeskiesvoistvananorazmernyhplenokmedi AT leonovds vliâniepodsloevgermaniânaoptičeskiesvoistvananorazmernyhplenokmedi AT bígunrí influenceofgermaniumunderlayersonopticalpropertiesofnanosizecopperfilms AT stasûkzv influenceofgermaniumunderlayersonopticalpropertiesofnanosizecopperfilms AT stroganovov influenceofgermaniumunderlayersonopticalpropertiesofnanosizecopperfilms AT leonovds influenceofgermaniumunderlayersonopticalpropertiesofnanosizecopperfilms |