Особливості формування і вплив нагріву на структуру багатошарових композицій Sb/B₄ С з кристалічними шарами сурми
Описані особливості змін в структурі багатошарової композиції Sb/B₄С з кристалічним шарами Sb при нагріванні до 450 °С. Композиція Sb/B₄С виготовлена методом магнетронного розпилення і мала товщину шарів 7 нм (Sb) і 8,5 нм (B₄С). Дослідження проводилося за допомогою рентгенівської дифрактометрії на...
Gespeichert in:
| Datum: | 2017 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainian |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2017
|
| Schriftenreihe: | Журнал физики и инженерии поверхности |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130538 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Особливості формування і вплив нагріву на структуру багатошарових композицій Sb/B₄ С з кристалічними шарами сурми / І.А. Копилець, В.В. Кондратенко // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 74–79. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-130538 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| fulltext |
|
| spelling |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-1305382025-02-23T19:27:01Z Особливості формування і вплив нагріву на структуру багатошарових композицій Sb/B₄ С з кристалічними шарами сурми Особенности формирования и влияние нагрева на структуру многослойных композиций Sb/B₄С с кристаллическими слоями сурьмы Features of formation and effect of heating on the structure of Sb/B₄С multilayer composition with the crystalline antimony layers Копилець, І.А. Кондратенко, В.В. Описані особливості змін в структурі багатошарової композиції Sb/B₄С з кристалічним шарами Sb при нагріванні до 450 °С. Композиція Sb/B₄С виготовлена методом магнетронного розпилення і мала товщину шарів 7 нм (Sb) і 8,5 нм (B₄С). Дослідження проводилося за допомогою рентгенівської дифрактометрії на малих і великих кутах. Дані моделювання малокутових дифрактограм вказують на наявність перемішаних зон на межах чистих сурм’яних і B₄C шарів. Ці перемішані зони, з неоднорідним складом по товщині, при нагріванні розшаровуються та істотно зменшуються. Аморфний стан шарів B₄C і початкова текстура шарів Sb зберігаються в ході відпалів. Багатошарові періодичні композиції Sb/B₄С з періодом 15,6 нм і кристалічними шарами сурми демонструють досконалу шарувату будову до температури 350 °С. Описаны особенности изменений в структуре многослойной композиции Sb/B₄С с кристаллическим слоями Sb при нагревании до 450 °С. Композиция Sb/B₄С изготовлена методом магнетронного распыления и имела толщины слоев 7 нм (Sb) и 8,5 нм (B₄С). Исследование проводилось с помощью рентгеновской дифрактометрии на малых и больших углах. Данные моделирования малоугловых дифрактограмм указывают на наличие перемешанных зон на границах чистых сурьмяных и B₄C слоев. Эти перемешанные зоны, с неоднородным составом по толщине, при нагревании расслаиваются и существенно уменьшаются. Аморфное состояние слоев B₄C и начальная текстура слоев Sb сохраняются в ходе отжигов. Многослойные периодические композиции Sb/B₄С с периодом 15,6 нм и кристаллическими слоями сурьмы демонстрируют совершенное слоистое строение до температуры 350 °С. Details of structure changes in the Sb/B₄С multilayer composition with crystalline Sb layers under heating up to 450 °С are described. The Sb/B₄С composition was made by magnetron sputtering and had layers’ thicknesses of 7 nm (Sb) and 8,5 nm (B₄С). The research was conducted using X-ray diffractometry at small and large angles. Computer modeling of the small-angle diffractograms indicates the presence of mixed zones at borders between the layers of pure antimony and B₄C. These mixed zones, with an inhomogeneous composition in thickness, delaminated and diminished substantially under heating. Amorphous state of the B₄C layers and the initial crystalline texture of the Sb layers saved during annealing. The Sb/B₄С multilayer periodic composition with a period of 15.6 nm, and with the layers of crystalline antimony, demonstrates the perfect stratified structure up to a temperature of 350 °С. 2017 Article Особливості формування і вплив нагріву на структуру багатошарових композицій Sb/B₄ С з кристалічними шарами сурми / І.А. Копилець, В.В. Кондратенко // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 74–79. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. 2519-2485 PACS: 68.65.Ac, 64.70.Nd, 61.05.Cm, 68.60.Dv, 07.85.Fv, 61.46.-w, 81.40.Ef https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130538 539.216.2: 536.42 uk Журнал физики и инженерии поверхности application/pdf Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| description |
Описані особливості змін в структурі багатошарової композиції Sb/B₄С з кристалічним шарами Sb при нагріванні до 450 °С. Композиція Sb/B₄С виготовлена методом магнетронного розпилення і мала товщину шарів 7 нм (Sb) і 8,5 нм (B₄С). Дослідження проводилося за допомогою рентгенівської дифрактометрії на малих і великих кутах. Дані моделювання малокутових дифрактограм вказують на наявність перемішаних зон на межах чистих сурм’яних і B₄C шарів. Ці перемішані зони, з неоднорідним складом по товщині, при нагріванні розшаровуються та істотно зменшуються. Аморфний стан шарів B₄C і початкова текстура шарів Sb зберігаються в ході відпалів. Багатошарові періодичні композиції Sb/B₄С з періодом 15,6 нм і кристалічними шарами сурми демонструють досконалу шарувату будову до температури 350 °С. |
| format |
Article |
| author |
Копилець, І.А. Кондратенко, В.В. |
| spellingShingle |
Копилець, І.А. Кондратенко, В.В. Особливості формування і вплив нагріву на структуру багатошарових композицій Sb/B₄ С з кристалічними шарами сурми Журнал физики и инженерии поверхности |
| author_facet |
Копилець, І.А. Кондратенко, В.В. |
| author_sort |
Копилець, І.А. |
| title |
Особливості формування і вплив нагріву на структуру багатошарових композицій Sb/B₄ С з кристалічними шарами сурми |
| title_short |
Особливості формування і вплив нагріву на структуру багатошарових композицій Sb/B₄ С з кристалічними шарами сурми |
| title_full |
Особливості формування і вплив нагріву на структуру багатошарових композицій Sb/B₄ С з кристалічними шарами сурми |
| title_fullStr |
Особливості формування і вплив нагріву на структуру багатошарових композицій Sb/B₄ С з кристалічними шарами сурми |
| title_full_unstemmed |
Особливості формування і вплив нагріву на структуру багатошарових композицій Sb/B₄ С з кристалічними шарами сурми |
| title_sort |
особливості формування і вплив нагріву на структуру багатошарових композицій sb/b₄ с з кристалічними шарами сурми |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2017 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130538 |
| citation_txt |
Особливості формування і вплив нагріву на структуру багатошарових композицій Sb/B₄ С з кристалічними шарами сурми / І.А. Копилець, В.В. Кондратенко // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 74–79. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. |
| series |
Журнал физики и инженерии поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT kopilecʹía osoblivostíformuvannâívplivnagrívunastrukturubagatošarovihkompozicíjsbb4szkristalíčnimišaramisurmi AT kondratenkovv osoblivostíformuvannâívplivnagrívunastrukturubagatošarovihkompozicíjsbb4szkristalíčnimišaramisurmi AT kopilecʹía osobennostiformirovaniâivliânienagrevanastrukturumnogoslojnyhkompozicijsbb4sskristalličeskimisloâmisurʹmy AT kondratenkovv osobennostiformirovaniâivliânienagrevanastrukturumnogoslojnyhkompozicijsbb4sskristalličeskimisloâmisurʹmy AT kopilecʹía featuresofformationandeffectofheatingonthestructureofsbb4smultilayercompositionwiththecrystallineantimonylayers AT kondratenkovv featuresofformationandeffectofheatingonthestructureofsbb4smultilayercompositionwiththecrystallineantimonylayers |
| first_indexed |
2025-11-24T16:07:14Z |
| last_indexed |
2025-11-24T16:07:14Z |
| _version_ |
1849688519603126272 |