Особливості формування і вплив нагріву на структуру багатошарових композицій Sb/B₄ С з кристалічними шарами сурми

• Published in: Журнал физики и инженерии поверхности
• Date: 2017
• Main Authors: Копилець, І.А., Кондратенко, В.В.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2017
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130538
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Особливості формування і вплив нагріву на структуру багатошарових композицій Sb/B₄ С з кристалічними шарами сурми / І.А. Копилець, В.В. Кондратенко // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 74–79. — Бібліогр.: 8 назв. — укр.

Описані особливості змін в структурі багатошарової композиції Sb/B₄С з кристалічним шарами Sb при нагріванні до 450 °С. Композиція Sb/B₄С виготовлена методом магнетронного розпилення і мала товщину шарів 7 нм (Sb) і 8,5 нм (B₄С). Дослідження проводилося за допомогою рентгенівської дифрактометрії на...