Вплив прискорюючої дії напруги імпульсного ВЧ генератора на властивості нанокомпозитних нітридних покриттів

• Published in: Журнал физики и инженерии поверхности
• Date: 2017
• Main Author: Турбін, П.В.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2017
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130540
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Вплив прискорюючої дії напруги імпульсного ВЧ генератора на властивості нанокомпозитних нітридних покриттів / П.В. Турбін // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 86–98. — Бібліогр.: 21 назв. — укр.

В короткому огляді на прикладі вивчення особливостей формування наноструктурованих вакуумно-дугових нітридних покриттів проаналізовано вплив дії імпульсного ВЧ генератора на властивості покриттів. Встановлено, що застосування імпульсного ВЧ генератора впливає на підвищення якості нанокомпозитних покриттів за рахунок оптимізації розмірів кристалітів, сприяє зниженню вмісту крапельної складової та поліпшенню властивостей покриттів. В кратком обзоре на примере изучения особенностей формирования наноструктурированных вакуумно-дуговых нитридных покрытий проанализировано влияние действия импульсного ВЧ генератора на свойства покрытий. Установлено, что применение импульсного ВЧ генератора влияет на повышение качества нанокомпозитных покрытий за счет оптимизации размеров кристаллитов, способствует снижению содержания капельной составляющей и улучшению свойств покрытий. In the brief overview on an example of the study of the peculiarities of the formation of nanostructured vacuum-arc nitride coatings, the effect of the pulsed RF generator on the properties of the coatings was analyzed. It is established that the use of a pulsed RF generator influences the improvement of the quality of nanocomposite coatings by optimizing the size of crystallites, helps to reduce the content of the droplet component and improves the properties of the coatings.