Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах
В данной работе проведены исследования параметров синтеза тонких пленок диборида тантала, полученных в системах ВЧ- и ПТ-магнетронного распыления. Сделан сравнительный анализ энергетических условий синтеза этих пленок. Показано, что в зависимости от метода, используемого для получения пленки (ВЧ или...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Журнал физики и инженерии поверхности |
|---|---|
| Дата: | 2017 |
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2017
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130542 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах / А.А. Гончаров, А.Н. Юнда, А.В. Зыков, В.И. Фареник, И.В. Шелест, В.В. Буранич // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 105–114. — Бібліогр.: 36 назв. — рос. |