Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах

• Published in: Журнал физики и инженерии поверхности
• Date: 2017
• Main Authors: Гончаров, А.А., Юнда, А.Н., Зыков, А.В., Фареник, В.И., Шелест, И.В., Буранич, В.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2017
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130542
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах / А.А. Гончаров, А.Н. Юнда, А.В. Зыков, В.И. Фареник, И.В. Шелест, В.В. Буранич // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 105–114. — Бібліогр.: 36 назв. — рос.

В данной работе проведены исследования параметров синтеза тонких пленок диборида тантала, полученных в системах ВЧ- и ПТ-магнетронного распыления. Сделан сравнительный анализ энергетических условий синтеза этих пленок. Показано, что в зависимости от метода, используемого для получения пленки (ВЧ или...