Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій

• Veröffentlicht in: Журнал физики и инженерии поверхности
• Datum: 2017
• Hauptverfasser: Азарєнков, М.О., Дудін, С.В., Зиков, О.В., Фаренік, В.І., Яковін, С.Д.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainisch
• Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2017
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130544
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій / М.О. Азарєнков, С.В. Дудін, О.В. Зиков, В.І. Фаренік, С.Д. Яковін // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 119-142. — Бібліогр.: 48 назв. — укр.

Огляд присвячено дослідженням процесів генерації та транспортування іонних потоків у плазмових системах з комбінованими електричними і магнітними полями, які широко використовуються в технологіях іонно-плазмової обробки поверхні. Обзор посвящен исследованию процессов генерации и транспортировки ионных потоков в плазменных системах с комбинированными электрическими и магнитными полями, которые широко используются в технологиях ионно-плазменной обработки поверхности. The review is devoted to experimental and theoretical study of ion beams generation and transport in plasma systems with combined electric and magnetic fields, which are widely used in the surface engineering plasma technologies.