Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій

Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій

Огляд присвячено дослідженням процесів генерації та транспортування іонних потоків у плазмових системах з комбінованими електричними і магнітними полями, які широко використовуються в технологіях іонно-плазмової обробки поверхні. Обзор посвящен исследованию процессов генерации и транспортировки ионн...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Журнал физики и инженерии поверхности
Дата:2017
Автори: Азарєнков, М.О., Дудін, С.В., Зиков, О.В., Фаренік, В.І., Яковін, С.Д.
Формат: Стаття
Мова:Ukrainian
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2017
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130544
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій / М.О. Азарєнков, С.В. Дудін, О.В. Зиков, В.І. Фаренік, С.Д. Яковін // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 119-142. — Бібліогр.: 48 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-130544
record_format dspace
spelling Азарєнков, М.О.
Дудін, С.В.
Зиков, О.В.
Фаренік, В.І.
Яковін, С.Д.
2018-02-16T09:20:13Z
2018-02-16T09:20:13Z
2017
Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій / М.О. Азарєнков, С.В. Дудін, О.В. Зиков, В.І. Фаренік, С.Д. Яковін // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 119-142. — Бібліогр.: 48 назв. — укр.
2519-2485
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130544
537.521.7
Огляд присвячено дослідженням процесів генерації та транспортування іонних потоків у плазмових системах з комбінованими електричними і магнітними полями, які широко використовуються в технологіях іонно-плазмової обробки поверхні.
Обзор посвящен исследованию процессов генерации и транспортировки ионных потоков в плазменных системах с комбинированными электрическими и магнитными полями, которые широко используются в технологиях ионно-плазменной обработки поверхности.
The review is devoted to experimental and theoretical study of ion beams generation and transport in plasma systems with combined electric and magnetic fields, which are widely used in the surface engineering plasma technologies.
Робота виконана при частковому фінансуванні Міністерством освіти і науки України за темами науково-дослідних робіт 0117U004875 та 0115U003166. Автори вдячні Турбіну П. В. за увагу до роботи.
uk
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Журнал физики и инженерии поверхности
Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій
Ионно-плазменные системы с комбинированными электрическим и магнитным полями для микро- и нанотехнологий
Ion-plasma systems with combined electrical and magnetic fields for micro- and nanotechnologies
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій
spellingShingle Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій
Азарєнков, М.О.
Дудін, С.В.
Зиков, О.В.
Фаренік, В.І.
Яковін, С.Д.
title_short Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій
title_full Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій
title_fullStr Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій
title_full_unstemmed Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій
title_sort іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій
author Азарєнков, М.О.
Дудін, С.В.
Зиков, О.В.
Фаренік, В.І.
Яковін, С.Д.
author_facet Азарєнков, М.О.
Дудін, С.В.
Зиков, О.В.
Фаренік, В.І.
Яковін, С.Д.
publishDate 2017
language Ukrainian
container_title Журнал физики и инженерии поверхности
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
format Article
title_alt Ионно-плазменные системы с комбинированными электрическим и магнитным полями для микро- и нанотехнологий
Ion-plasma systems with combined electrical and magnetic fields for micro- and nanotechnologies
description Огляд присвячено дослідженням процесів генерації та транспортування іонних потоків у плазмових системах з комбінованими електричними і магнітними полями, які широко використовуються в технологіях іонно-плазмової обробки поверхні. Обзор посвящен исследованию процессов генерации и транспортировки ионных потоков в плазменных системах с комбинированными электрическими и магнитными полями, которые широко используются в технологиях ионно-плазменной обработки поверхности. The review is devoted to experimental and theoretical study of ion beams generation and transport in plasma systems with combined electric and magnetic fields, which are widely used in the surface engineering plasma technologies.
issn 2519-2485
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130544
citation_txt Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій / М.О. Азарєнков, С.В. Дудін, О.В. Зиков, В.І. Фаренік, С.Д. Яковін // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 119-142. — Бібліогр.: 48 назв. — укр.
work_keys_str_mv AT azarênkovmo íonnoplazmovísistemizkombínovanimielektričnimiímagnítnimipolâmidlâmíkroínanotehnologíi
AT dudínsv íonnoplazmovísistemizkombínovanimielektričnimiímagnítnimipolâmidlâmíkroínanotehnologíi
AT zikovov íonnoplazmovísistemizkombínovanimielektričnimiímagnítnimipolâmidlâmíkroínanotehnologíi
AT fareníkví íonnoplazmovísistemizkombínovanimielektričnimiímagnítnimipolâmidlâmíkroínanotehnologíi
AT âkovínsd íonnoplazmovísistemizkombínovanimielektričnimiímagnítnimipolâmidlâmíkroínanotehnologíi
AT azarênkovmo ionnoplazmennyesistemyskombinirovannymiélektričeskimimagnitnympolâmidlâmikroinanotehnologii
AT dudínsv ionnoplazmennyesistemyskombinirovannymiélektričeskimimagnitnympolâmidlâmikroinanotehnologii
AT zikovov ionnoplazmennyesistemyskombinirovannymiélektričeskimimagnitnympolâmidlâmikroinanotehnologii
AT fareníkví ionnoplazmennyesistemyskombinirovannymiélektričeskimimagnitnympolâmidlâmikroinanotehnologii
AT âkovínsd ionnoplazmennyesistemyskombinirovannymiélektričeskimimagnitnympolâmidlâmikroinanotehnologii
AT azarênkovmo ionplasmasystemswithcombinedelectricalandmagneticfieldsformicroandnanotechnologies
AT dudínsv ionplasmasystemswithcombinedelectricalandmagneticfieldsformicroandnanotechnologies
AT zikovov ionplasmasystemswithcombinedelectricalandmagneticfieldsformicroandnanotechnologies
AT fareníkví ionplasmasystemswithcombinedelectricalandmagneticfieldsformicroandnanotechnologies
AT âkovínsd ionplasmasystemswithcombinedelectricalandmagneticfieldsformicroandnanotechnologies
first_indexed 2025-12-07T19:00:40Z
last_indexed 2025-12-07T19:00:40Z
_version_ 1850877191387086849

Схожі ресурси