Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій
Огляд присвячено дослідженням процесів генерації та транспортування іонних потоків у плазмових системах з комбінованими електричними і магнітними полями, які широко використовуються в технологіях іонно-плазмової обробки поверхні. Обзор посвящен исследованию процессов генерации и транспортировки ионн...
Saved in:
| Published in: | Журнал физики и инженерии поверхности |
|---|---|
| Date: | 2017 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2017
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130544 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій / М.О. Азарєнков, С.В. Дудін, О.В. Зиков, В.І. Фаренік, С.Д. Яковін // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 119-142. — Бібліогр.: 48 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862726992792649728 |
|---|---|
| author | Азарєнков, М.О. Дудін, С.В. Зиков, О.В. Фаренік, В.І. Яковін, С.Д. |
| author_facet | Азарєнков, М.О. Дудін, С.В. Зиков, О.В. Фаренік, В.І. Яковін, С.Д. |
| citation_txt | Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій / М.О. Азарєнков, С.В. Дудін, О.В. Зиков, В.І. Фаренік, С.Д. Яковін // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 119-142. — Бібліогр.: 48 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Журнал физики и инженерии поверхности |
| description | Огляд присвячено дослідженням процесів генерації та транспортування іонних потоків у плазмових системах з комбінованими електричними і магнітними полями, які широко використовуються в технологіях іонно-плазмової обробки поверхні.
Обзор посвящен исследованию процессов генерации и транспортировки ионных потоков в плазменных системах с комбинированными электрическими и магнитными полями, которые широко используются в технологиях ионно-плазменной обработки поверхности.
The review is devoted to experimental and theoretical study of ion beams generation and transport in plasma systems with combined electric and magnetic fields, which are widely used in the surface engineering plasma technologies.
|
| first_indexed | 2025-12-07T19:00:40Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-130544 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2519-2485 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-12-07T19:00:40Z |
| publishDate | 2017 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Азарєнков, М.О. Дудін, С.В. Зиков, О.В. Фаренік, В.І. Яковін, С.Д. 2018-02-16T09:20:13Z 2018-02-16T09:20:13Z 2017 Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій / М.О. Азарєнков, С.В. Дудін, О.В. Зиков, В.І. Фаренік, С.Д. Яковін // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 119-142. — Бібліогр.: 48 назв. — укр. 2519-2485 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130544 537.521.7 Огляд присвячено дослідженням процесів генерації та транспортування іонних потоків у плазмових системах з комбінованими електричними і магнітними полями, які широко використовуються в технологіях іонно-плазмової обробки поверхні. Обзор посвящен исследованию процессов генерации и транспортировки ионных потоков в плазменных системах с комбинированными электрическими и магнитными полями, которые широко используются в технологиях ионно-плазменной обработки поверхности. The review is devoted to experimental and theoretical study of ion beams generation and transport in plasma systems with combined electric and magnetic fields, which are widely used in the surface engineering plasma technologies. Робота виконана при частковому фінансуванні Міністерством освіти і науки України за темами науково-дослідних робіт 0117U004875 та 0115U003166. Автори вдячні Турбіну П. В. за увагу до роботи. uk Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Журнал физики и инженерии поверхности Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій Ионно-плазменные системы с комбинированными электрическим и магнитным полями для микро- и нанотехнологий Ion-plasma systems with combined electrical and magnetic fields for micro- and nanotechnologies Article published earlier |
| spellingShingle | Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій Азарєнков, М.О. Дудін, С.В. Зиков, О.В. Фаренік, В.І. Яковін, С.Д. |
| title | Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій |
| title_alt | Ионно-плазменные системы с комбинированными электрическим и магнитным полями для микро- и нанотехнологий Ion-plasma systems with combined electrical and magnetic fields for micro- and nanotechnologies |
| title_full | Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій |
| title_fullStr | Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій |
| title_full_unstemmed | Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій |
| title_short | Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій |
| title_sort | іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130544 |
| work_keys_str_mv | AT azarênkovmo íonnoplazmovísistemizkombínovanimielektričnimiímagnítnimipolâmidlâmíkroínanotehnologíi AT dudínsv íonnoplazmovísistemizkombínovanimielektričnimiímagnítnimipolâmidlâmíkroínanotehnologíi AT zikovov íonnoplazmovísistemizkombínovanimielektričnimiímagnítnimipolâmidlâmíkroínanotehnologíi AT fareníkví íonnoplazmovísistemizkombínovanimielektričnimiímagnítnimipolâmidlâmíkroínanotehnologíi AT âkovínsd íonnoplazmovísistemizkombínovanimielektričnimiímagnítnimipolâmidlâmíkroínanotehnologíi AT azarênkovmo ionnoplazmennyesistemyskombinirovannymiélektričeskimimagnitnympolâmidlâmikroinanotehnologii AT dudínsv ionnoplazmennyesistemyskombinirovannymiélektričeskimimagnitnympolâmidlâmikroinanotehnologii AT zikovov ionnoplazmennyesistemyskombinirovannymiélektričeskimimagnitnympolâmidlâmikroinanotehnologii AT fareníkví ionnoplazmennyesistemyskombinirovannymiélektričeskimimagnitnympolâmidlâmikroinanotehnologii AT âkovínsd ionnoplazmennyesistemyskombinirovannymiélektričeskimimagnitnympolâmidlâmikroinanotehnologii AT azarênkovmo ionplasmasystemswithcombinedelectricalandmagneticfieldsformicroandnanotechnologies AT dudínsv ionplasmasystemswithcombinedelectricalandmagneticfieldsformicroandnanotechnologies AT zikovov ionplasmasystemswithcombinedelectricalandmagneticfieldsformicroandnanotechnologies AT fareníkví ionplasmasystemswithcombinedelectricalandmagneticfieldsformicroandnanotechnologies AT âkovínsd ionplasmasystemswithcombinedelectricalandmagneticfieldsformicroandnanotechnologies |