Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій

• Published in: Журнал физики и инженерии поверхности
• Date: 2017
• Main Authors: Азарєнков, М.О., Дудін, С.В., Зиков, О.В., Фаренік, В.І., Яковін, С.Д.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2017
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/130544
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій / М.О. Азарєнков, С.В. Дудін, О.В. Зиков, В.І. Фаренік, С.Д. Яковін // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 119-142. — Бібліогр.: 48 назв. — укр.

Огляд присвячено дослідженням процесів генерації та транспортування іонних потоків у плазмових системах з комбінованими електричними і магнітними полями, які широко використовуються в технологіях іонно-плазмової обробки поверхні. Обзор посвящен исследованию процессов генерации и транспортировки ионн...