Методи формування нанорозмірних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників

Методи формування нанорозмірних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників

Представлено аналіз методів запису мікро- та нанорельєфних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників. Показано, що при експонуванні плівок халькогенідних склоподібних напівпровідників оптичним випромінюванням, яке сфокусовано дифракційно обмеженими оптичними системами, відбитк...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Реєстрація, зберігання і обробка даних
Datum:2016
Hauptverfasser: Петров, В.В., Литвин, П.М., Трунов, М.Л., Крючин, А.А., Беляк, Є.В., Рубіш, В.М., Костюкевич, С.О., Коптюк, А.А.
Format: Artikel
Sprache:Ukrainian
Veröffentlicht: Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2016
Schlagworte:
Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/131595
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Методи формування нанорозмірних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників / В.В. Петров, П.М. Литвин, М.Л. Трунов, А.А. Крючин, Є.В. Беляк, В.М. Рубіш, С.О. Костюкевич, А.А. Коптюк // Реєстрація, зберігання і обробка даних. — 2016. — Т. 18, № 1. — С. 3-13. — Бібліогр.: 28 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-131595
record_format dspace
spelling Петров, В.В.
Литвин, П.М.
Трунов, М.Л.
Крючин, А.А.
Беляк, Є.В.
Рубіш, В.М.
Костюкевич, С.О.
Коптюк, А.А.
2018-03-25T13:42:30Z
2018-03-25T13:42:30Z
2016
Методи формування нанорозмірних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників / В.В. Петров, П.М. Литвин, М.Л. Трунов, А.А. Крючин, Є.В. Беляк, В.М. Рубіш, С.О. Костюкевич, А.А. Коптюк // Реєстрація, зберігання і обробка даних. — 2016. — Т. 18, № 1. — С. 3-13. — Бібліогр.: 28 назв. — укр.
1560-9189
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/131595
004.085
Представлено аналіз методів запису мікро- та нанорельєфних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників. Показано, що при експонуванні плівок халькогенідних склоподібних напівпровідників оптичним випромінюванням, яке сфокусовано дифракційно обмеженими оптичними системами, відбитки, розміри яких значно менші дифракційної межі, можуть бути отримані при використанні нелінійності експозиційної характеристики фоточутливих матеріалів. Наведено дані про запис нанорозмірних структур ближньопольовими та електронно-променевими фокусувальними системами.
Представлен анализ методов записи микро- и нанорельефных структур на пленках халькогенидных стеклообразных полупроводников. Показано, что при экспонировании пленок халькогенидных стеклообразных полупроводников оптическим излучением, сфокусированным дифракционно ограниченными оптическими системами, отпечатки, размеры которых значительно меньше дифракционной границы, могут быть получены при использовании нелинейности экспозиционной характеристики фоточувствительных материалов. Приведены данные о записи наноразмерных структур ближнеполевыми и электронно-лучевыми фокусирующими системами.
The analysis of methods of micro- and nanorelief structures recording at chalcogenide vitreous semiconductors films is presented. It is shown that exposing of the chalcogenide vitreous semiconductors films by optical radiation focused by diffraction limited optical systems allows to obtain prints with much smaller size than the diffraction boundary by using of the photosensitive materials exposure characte-ristics nonlinearity. The data of the recording nanosize structures by near field and electron beam systems are revealed
Автори висловлюють глибоку подяку співробітникам Інститутів проблем реєстрації інформації НАН України та фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України за допомогу у виготовленні зразків носіїв інформації, здійсненні запису інформації та їхньої подальшої обробки, а також за плідне обговорення результатів досліджень.
uk
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
Реєстрація, зберігання і обробка даних
Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
Методи формування нанорозмірних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників
Методи формування нанорозмірних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників
Preparation methods for nano-sized structures using films of chalcogenide glassy semiconductors
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Методи формування нанорозмірних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників
spellingShingle Методи формування нанорозмірних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників
Петров, В.В.
Литвин, П.М.
Трунов, М.Л.
Крючин, А.А.
Беляк, Є.В.
Рубіш, В.М.
Костюкевич, С.О.
Коптюк, А.А.
Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
title_short Методи формування нанорозмірних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників
title_full Методи формування нанорозмірних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників
title_fullStr Методи формування нанорозмірних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників
title_full_unstemmed Методи формування нанорозмірних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників
title_sort методи формування нанорозмірних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників
author Петров, В.В.
Литвин, П.М.
Трунов, М.Л.
Крючин, А.А.
Беляк, Є.В.
Рубіш, В.М.
Костюкевич, С.О.
Коптюк, А.А.
author_facet Петров, В.В.
Литвин, П.М.
Трунов, М.Л.
Крючин, А.А.
Беляк, Є.В.
Рубіш, В.М.
Костюкевич, С.О.
Коптюк, А.А.
topic Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
topic_facet Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
publishDate 2016
language Ukrainian
container_title Реєстрація, зберігання і обробка даних
publisher Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
format Article
title_alt Методи формування нанорозмірних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників
Preparation methods for nano-sized structures using films of chalcogenide glassy semiconductors
description Представлено аналіз методів запису мікро- та нанорельєфних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників. Показано, що при експонуванні плівок халькогенідних склоподібних напівпровідників оптичним випромінюванням, яке сфокусовано дифракційно обмеженими оптичними системами, відбитки, розміри яких значно менші дифракційної межі, можуть бути отримані при використанні нелінійності експозиційної характеристики фоточутливих матеріалів. Наведено дані про запис нанорозмірних структур ближньопольовими та електронно-променевими фокусувальними системами. Представлен анализ методов записи микро- и нанорельефных структур на пленках халькогенидных стеклообразных полупроводников. Показано, что при экспонировании пленок халькогенидных стеклообразных полупроводников оптическим излучением, сфокусированным дифракционно ограниченными оптическими системами, отпечатки, размеры которых значительно меньше дифракционной границы, могут быть получены при использовании нелинейности экспозиционной характеристики фоточувствительных материалов. Приведены данные о записи наноразмерных структур ближнеполевыми и электронно-лучевыми фокусирующими системами. The analysis of methods of micro- and nanorelief structures recording at chalcogenide vitreous semiconductors films is presented. It is shown that exposing of the chalcogenide vitreous semiconductors films by optical radiation focused by diffraction limited optical systems allows to obtain prints with much smaller size than the diffraction boundary by using of the photosensitive materials exposure characte-ristics nonlinearity. The data of the recording nanosize structures by near field and electron beam systems are revealed
issn 1560-9189
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/131595
citation_txt Методи формування нанорозмірних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників / В.В. Петров, П.М. Литвин, М.Л. Трунов, А.А. Крючин, Є.В. Беляк, В.М. Рубіш, С.О. Костюкевич, А.А. Коптюк // Реєстрація, зберігання і обробка даних. — 2016. — Т. 18, № 1. — С. 3-13. — Бібліогр.: 28 назв. — укр.
work_keys_str_mv AT petrovvv metodiformuvannânanorozmírnihstrukturnaplívkahhalʹkogenídnihsklopodíbnihnapívprovídnikív
AT litvinpm metodiformuvannânanorozmírnihstrukturnaplívkahhalʹkogenídnihsklopodíbnihnapívprovídnikív
AT trunovml metodiformuvannânanorozmírnihstrukturnaplívkahhalʹkogenídnihsklopodíbnihnapívprovídnikív
AT krûčinaa metodiformuvannânanorozmírnihstrukturnaplívkahhalʹkogenídnihsklopodíbnihnapívprovídnikív
AT belâkêv metodiformuvannânanorozmírnihstrukturnaplívkahhalʹkogenídnihsklopodíbnihnapívprovídnikív
AT rubíšvm metodiformuvannânanorozmírnihstrukturnaplívkahhalʹkogenídnihsklopodíbnihnapívprovídnikív
AT kostûkevičso metodiformuvannânanorozmírnihstrukturnaplívkahhalʹkogenídnihsklopodíbnihnapívprovídnikív
AT koptûkaa metodiformuvannânanorozmírnihstrukturnaplívkahhalʹkogenídnihsklopodíbnihnapívprovídnikív
AT petrovvv preparationmethodsfornanosizedstructuresusingfilmsofchalcogenideglassysemiconductors
AT litvinpm preparationmethodsfornanosizedstructuresusingfilmsofchalcogenideglassysemiconductors
AT trunovml preparationmethodsfornanosizedstructuresusingfilmsofchalcogenideglassysemiconductors
AT krûčinaa preparationmethodsfornanosizedstructuresusingfilmsofchalcogenideglassysemiconductors
AT belâkêv preparationmethodsfornanosizedstructuresusingfilmsofchalcogenideglassysemiconductors
AT rubíšvm preparationmethodsfornanosizedstructuresusingfilmsofchalcogenideglassysemiconductors
AT kostûkevičso preparationmethodsfornanosizedstructuresusingfilmsofchalcogenideglassysemiconductors
AT koptûkaa preparationmethodsfornanosizedstructuresusingfilmsofchalcogenideglassysemiconductors
first_indexed 2025-12-07T13:22:07Z
last_indexed 2025-12-07T13:22:07Z
_version_ 1850855892375830528

Ähnliche Einträge