СБИС для микроэлектронного координатно-чувствительного детектора нового поколения с расширенным полем анализа для масс-спектрометрии

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2018
• Main Authors: Сидоренко, В.П., Радкевич, А.И., Прокофьев, Ю.В., Таякин, Ю.В., Вирозуб, Т.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2018
• Subjects: Функциональная микро- и наноэлектроника
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/133229
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: СБИС для микроэлектронного координатно-чувствительного детектора нового поколения с расширенным полем анализа для масс-спектрометрии / В.П. Сидоренко, А.И. Радкевич, Ю.В. Прокофьев, Ю.В. Таякин, Т.М. Вирозуб // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2018. — № 1. — С. 13-20. — Бібліогр.: 7назв. — рос.

Разработана специализированная СБИС для микроэлектронных координатно-чувствительных детекторов нового поколения — многокристальных детекторов с расширенным полем анализа, которые могут использоваться в масс-спектрометрах и обеспечивать одновременное определение элементов, входящих в состав вещества,...