Особенности конструкции и технологии сборки микроэлектронных координатно-чувствительных детекторов
Рассмотрены особенности конструкции и технологии сборки микроэлектронных координатно-чувствительных детекторов заряженных частиц для спектроскопии с использованием гибких носителей типа «алюминий — полиимид». Данная конструкция, основой которой является специализированная СБИС, обеспечивает высокую...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2018 |
| Main Authors: | Сидоренко, В.П., Жора, В.Д., Радкевич, А.И., Грунянская, В.П., Прокофьев, Ю.В., Таякин, Ю.В., Вирозуб, Т.М. |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2018
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/133230 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Особенности конструкции и технологии сборки микроэлектронных координатно-чувствительных детекторов / В.П. Сидоренко, В.Д. Жора, А.И. Радкевич, В.П. Грунянская, Ю.В. Прокофьев, Ю.В. Таякин, Т.М. Вирозуб // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2018. — № 1. — С. 21-27. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineSimilar Items
Сравнительный анализ методов сборки микросхем на гибких полиимидных носителях
by: Вербицкий, В.Г., et al.
Published: (2013)
by: Вербицкий, В.Г., et al.
Published: (2013)
Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе
by: Плис, Н.И., et al.
Published: (2010)
by: Плис, Н.И., et al.
Published: (2010)
Безадгезивные акустические мембраны на полиимидной основе
by: Воробьев, А.В., et al.
Published: (2014)
by: Воробьев, А.В., et al.
Published: (2014)
Технология изготовления гибких терморезисторов на полиимидной основе
by: Динев, Д.А., et al.
Published: (2013)
by: Динев, Д.А., et al.
Published: (2013)
СБИС для микроэлектронного координатно-чувствительного детектора нового поколения с расширенным полем анализа для масс-спектрометрии
by: Сидоренко, В.П., et al.
Published: (2018)
by: Сидоренко, В.П., et al.
Published: (2018)
Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров
by: Черняк, Н.Г., et al.
Published: (2001)
by: Черняк, Н.Г., et al.
Published: (2001)
Испаритель для термического напыления материалов в вакууме
by: Босый, В.И., et al.
Published: (2008)
by: Босый, В.И., et al.
Published: (2008)
Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала
by: Панфилов, Ю.В., et al.
Published: (2005)
by: Панфилов, Ю.В., et al.
Published: (2005)
Получение высокочистых гранулированных металлов: кадмия, цинка, свинца
by: Щербань, А.П., et al.
Published: (2017)
by: Щербань, А.П., et al.
Published: (2017)
Сравнительный анализ технологий изготовления кремниевых схем считывания информации с ИК-фотодиодов
by: Рева, В.П., et al.
Published: (2007)
by: Рева, В.П., et al.
Published: (2007)
Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур
by: Бойко, Ю.В., et al.
Published: (2007)
by: Бойко, Ю.В., et al.
Published: (2007)
Разработка промышленных методов получения позиционно чувствительных детекторов CsI(Na)
by: Бояринцев, А.Ю., et al.
Published: (2010)
by: Бояринцев, А.Ю., et al.
Published: (2010)
Установка для регенерации сорбентов в электромагнитном поле
by: Головко, М.И., et al.
Published: (2005)
by: Головко, М.И., et al.
Published: (2005)
СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов
by: Григорьянц, В.В., et al.
Published: (2005)
by: Григорьянц, В.В., et al.
Published: (2005)
Схемотехника СБИС для микроэлектронного координатно-чувствительного детектора для элементного анализа материалов
by: Сидоренко, В.П., et al.
Published: (2012)
by: Сидоренко, В.П., et al.
Published: (2012)
Формирование МОП-транзисторов с изоляцией активных элементов окисленным пористым кремнием
by: Новосядлый, С.П., et al.
Published: (2009)
by: Новосядлый, С.П., et al.
Published: (2009)
Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки
by: Ануфриев, Л.П., et al.
Published: (2005)
by: Ануфриев, Л.П., et al.
Published: (2005)
Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
by: Венгер, Е.Ф., et al.
Published: (2014)
by: Венгер, Е.Ф., et al.
Published: (2014)
Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники
by: Конакова, Р.В., et al.
Published: (2010)
by: Конакова, Р.В., et al.
Published: (2010)
Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
by: Гладковский, В.В., et al.
Published: (2014)
by: Гладковский, В.В., et al.
Published: (2014)
Метод определения температуры и теплового сопротивления точек поверхности кристалла интегральной схемы
by: Попов, В.М., et al.
Published: (2011)
by: Попов, В.М., et al.
Published: (2011)
Усовершенствованный метод выявления «горячих точек» в изделиях микроэлектроники
by: Попов, В.М., et al.
Published: (2008)
by: Попов, В.М., et al.
Published: (2008)
Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2006)
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2006)
Особенности трансформации примесно-дефектных комплексов в CdTe:Cl под воздействием СВЧ-облучения
by: Будзуляк, С.И., et al.
Published: (2014)
by: Будзуляк, С.И., et al.
Published: (2014)
Лазерная абляция и фотостимулированная пассивация поверхности кристаллов Cd1–хZnхTe
by: Загоруйко, Ю.А., et al.
Published: (2011)
by: Загоруйко, Ю.А., et al.
Published: (2011)
Получение двухсторонних высоковольтных эпитаксиальных кремниевых p—i—n-структур методом ЖФЭ
by: Вакив, Н.М., et al.
Published: (2013)
by: Вакив, Н.М., et al.
Published: (2013)
Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления
by: Болтовец, Н.С., et al.
Published: (2009)
by: Болтовец, Н.С., et al.
Published: (2009)
Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2007)
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2007)
Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами
by: Баранов, В.В.
Published: (2005)
by: Баранов, В.В.
Published: (2005)
Предэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев
by: Андронова, Е.В., et al.
Published: (2008)
by: Андронова, Е.В., et al.
Published: (2008)
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
by: Федорович, О.А., et al.
Published: (2009)
by: Федорович, О.А., et al.
Published: (2009)
Приборное обеспечение измерения параметров ультразвуковых воздействий в технологических процессах
by: Ланин, В.Л., et al.
Published: (2008)
by: Ланин, В.Л., et al.
Published: (2008)
Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией
by: Дудин, С.В., et al.
Published: (2010)
by: Дудин, С.В., et al.
Published: (2010)
Выбор микропривода механизма зажима и подачи проволоки в установках термозвуковой микросварки
by: Ланин, В.Л., et al.
Published: (2010)
by: Ланин, В.Л., et al.
Published: (2010)
Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем
by: Пилипенко, В.А., et al.
Published: (2013)
by: Пилипенко, В.А., et al.
Published: (2013)
Координатно-чувствительный детектор заряженных частиц для спектроскопии
by: Сидоренко, В.П., et al.
Published: (2016)
by: Сидоренко, В.П., et al.
Published: (2016)
Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники
by: Одиноков, В.В., et al.
Published: (2011)
by: Одиноков, В.В., et al.
Published: (2011)
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
by: Дудин, С.В., et al.
Published: (2009)
by: Дудин, С.В., et al.
Published: (2009)
Особенности изготовления Cd1-xZnxTe-детектора ионизирующего излучения
by: Томашик, З.Ф., et al.
Published: (2013)
by: Томашик, З.Ф., et al.
Published: (2013)
Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
by: Борисенко, А.Г., et al.
Published: (2005)
by: Борисенко, А.Г., et al.
Published: (2005)
Similar Items
-
Сравнительный анализ методов сборки микросхем на гибких полиимидных носителях
by: Вербицкий, В.Г., et al.
Published: (2013) -
Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе
by: Плис, Н.И., et al.
Published: (2010) -
Безадгезивные акустические мембраны на полиимидной основе
by: Воробьев, А.В., et al.
Published: (2014) -
Технология изготовления гибких терморезисторов на полиимидной основе
by: Динев, Д.А., et al.
Published: (2013) -
СБИС для микроэлектронного координатно-чувствительного детектора нового поколения с расширенным полем анализа для масс-спектрометрии
by: Сидоренко, В.П., et al.
Published: (2018)