Влияние изменения концентрации C₆H₈O₇ на характер химического взаимодействия InAs, InSb, GaAs и GaSb с травильными растворами (NH₄)₂Cr₂O₇–HBr–C₆H₈O₇
В данной статье рассмотрены особенности химико-динамического полирования полупроводников типа AIIIBV травильными композициями(NH₄) ₂Cr₂O₇–HBr–C₆H₈O₇ с использованием C₆H₈O₇ разной исходной концентрации. У даній статті розглянуто особливості хеміко-динамічного полірування напівпровідників типу AIIIBV...
Saved in:
| Published in: | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
|---|---|
| Date: | 2017 |
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2017
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/133493 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Влияние изменения концентрации C₆H₈O₇ на характер химического взаимодействия InAs, InSb, GaAs и GaSb с травильными растворами(NH₄)₂Cr₂O₇–HBr–C₆H₈O₇ (NH4)2Cr2O7–HBr–C6H8O7 / И.В. Левченко, И.Б. Стратийчук, В.Н. Томашик, Г.П. Маланич, А.С. Станецкая, А.А. Корчевой // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2017. — Т. 15, № 3. — С. 495–506. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862607181570899968 |
|---|---|
| author | Левченко, И.В. Стратийчук, И.Б. Томашик, В.Н. Маланич, Г.П. Станецкая, А.С. Корчевой, А.А. |
| author_facet | Левченко, И.В. Стратийчук, И.Б. Томашик, В.Н. Маланич, Г.П. Станецкая, А.С. Корчевой, А.А. |
| citation_txt | Влияние изменения концентрации C₆H₈O₇ на характер химического взаимодействия InAs, InSb, GaAs и GaSb с травильными растворами(NH₄)₂Cr₂O₇–HBr–C₆H₈O₇ (NH4)2Cr2O7–HBr–C6H8O7 / И.В. Левченко, И.Б. Стратийчук, В.Н. Томашик, Г.П. Маланич, А.С. Станецкая, А.А. Корчевой // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2017. — Т. 15, № 3. — С. 495–506. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| description | В данной статье рассмотрены особенности химико-динамического полирования полупроводников типа AIIIBV травильными композициями(NH₄) ₂Cr₂O₇–HBr–C₆H₈O₇ с использованием C₆H₈O₇ разной исходной концентрации.
У даній статті розглянуто особливості хеміко-динамічного полірування напівпровідників типу AIIIBV щавильними композиціями(NH₄)₂Cr₂O₇–HBr–C₆H₈O₇ з використанням C₆H₈O₇ різної вихідної концентрації.
In this article, the peculiarities of the chemical-dynamic polishing of III–V semiconductors in the etching(NH₄)₂Cr₂O₇–HBr–C₆H₈O₇ compositions using various C₆H₈O₇ concentrations are determined.
|
| first_indexed | 2025-11-28T13:47:12Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-133493 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1816-5230 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-28T13:47:12Z |
| publishDate | 2017 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Левченко, И.В. Стратийчук, И.Б. Томашик, В.Н. Маланич, Г.П. Станецкая, А.С. Корчевой, А.А. 2018-05-29T05:03:46Z 2018-05-29T05:03:46Z 2017 Влияние изменения концентрации C₆H₈O₇ на характер химического взаимодействия InAs, InSb, GaAs и GaSb с травильными растворами(NH₄)₂Cr₂O₇–HBr–C₆H₈O₇ (NH4)2Cr2O7–HBr–C6H8O7 / И.В. Левченко, И.Б. Стратийчук, В.Н. Томашик, Г.П. Маланич, А.С. Станецкая, А.А. Корчевой // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2017. — Т. 15, № 3. — С. 495–506. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 1816-5230 PACS: 61.72.uj, 68.35.bg, 68.35.Ct, 68.37.Ps, 81.65.Cf, 81.65.Ps, 82.65.+r https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/133493 В данной статье рассмотрены особенности химико-динамического полирования полупроводников типа AIIIBV травильными композициями(NH₄) ₂Cr₂O₇–HBr–C₆H₈O₇ с использованием C₆H₈O₇ разной исходной концентрации. У даній статті розглянуто особливості хеміко-динамічного полірування напівпровідників типу AIIIBV щавильними композиціями(NH₄)₂Cr₂O₇–HBr–C₆H₈O₇ з використанням C₆H₈O₇ різної вихідної концентрації. In this article, the peculiarities of the chemical-dynamic polishing of III–V semiconductors in the etching(NH₄)₂Cr₂O₇–HBr–C₆H₈O₇ compositions using various C₆H₈O₇ concentrations are determined. ru Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології Влияние изменения концентрации C₆H₈O₇ на характер химического взаимодействия InAs, InSb, GaAs и GaSb с травильными растворами (NH₄)₂Cr₂O₇–HBr–C₆H₈O₇ Influence of the C₆H₈O₇ Concentration Change on the Chemical Interaction of InAs, InSb, GaAs and GaSb with the Etching(NH₄)₂Cr₂O₇–HBr–C₆H₈O₇ Solutions Article published earlier |
| spellingShingle | Влияние изменения концентрации C₆H₈O₇ на характер химического взаимодействия InAs, InSb, GaAs и GaSb с травильными растворами (NH₄)₂Cr₂O₇–HBr–C₆H₈O₇ Левченко, И.В. Стратийчук, И.Б. Томашик, В.Н. Маланич, Г.П. Станецкая, А.С. Корчевой, А.А. |
| title | Влияние изменения концентрации C₆H₈O₇ на характер химического взаимодействия InAs, InSb, GaAs и GaSb с травильными растворами (NH₄)₂Cr₂O₇–HBr–C₆H₈O₇ |
| title_alt | Influence of the C₆H₈O₇ Concentration Change on the Chemical Interaction of InAs, InSb, GaAs and GaSb with the Etching(NH₄)₂Cr₂O₇–HBr–C₆H₈O₇ Solutions |
| title_full | Влияние изменения концентрации C₆H₈O₇ на характер химического взаимодействия InAs, InSb, GaAs и GaSb с травильными растворами (NH₄)₂Cr₂O₇–HBr–C₆H₈O₇ |
| title_fullStr | Влияние изменения концентрации C₆H₈O₇ на характер химического взаимодействия InAs, InSb, GaAs и GaSb с травильными растворами (NH₄)₂Cr₂O₇–HBr–C₆H₈O₇ |
| title_full_unstemmed | Влияние изменения концентрации C₆H₈O₇ на характер химического взаимодействия InAs, InSb, GaAs и GaSb с травильными растворами (NH₄)₂Cr₂O₇–HBr–C₆H₈O₇ |
| title_short | Влияние изменения концентрации C₆H₈O₇ на характер химического взаимодействия InAs, InSb, GaAs и GaSb с травильными растворами (NH₄)₂Cr₂O₇–HBr–C₆H₈O₇ |
| title_sort | влияние изменения концентрации c₆h₈o₇ на характер химического взаимодействия inas, insb, gaas и gasb с травильными растворами (nh₄)₂cr₂o₇–hbr–c₆h₈o₇ |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/133493 |
| work_keys_str_mv | AT levčenkoiv vliânieizmeneniâkoncentraciic6h8o7naharakterhimičeskogovzaimodeistviâinasinsbgaasigasbstravilʹnymirastvoraminh42cr2o7hbrc6h8o7 AT stratiičukib vliânieizmeneniâkoncentraciic6h8o7naharakterhimičeskogovzaimodeistviâinasinsbgaasigasbstravilʹnymirastvoraminh42cr2o7hbrc6h8o7 AT tomašikvn vliânieizmeneniâkoncentraciic6h8o7naharakterhimičeskogovzaimodeistviâinasinsbgaasigasbstravilʹnymirastvoraminh42cr2o7hbrc6h8o7 AT malaničgp vliânieizmeneniâkoncentraciic6h8o7naharakterhimičeskogovzaimodeistviâinasinsbgaasigasbstravilʹnymirastvoraminh42cr2o7hbrc6h8o7 AT staneckaâas vliânieizmeneniâkoncentraciic6h8o7naharakterhimičeskogovzaimodeistviâinasinsbgaasigasbstravilʹnymirastvoraminh42cr2o7hbrc6h8o7 AT korčevoiaa vliânieizmeneniâkoncentraciic6h8o7naharakterhimičeskogovzaimodeistviâinasinsbgaasigasbstravilʹnymirastvoraminh42cr2o7hbrc6h8o7 AT levčenkoiv influenceofthec6h8o7concentrationchangeonthechemicalinteractionofinasinsbgaasandgasbwiththeetchingnh42cr2o7hbrc6h8o7solutions AT stratiičukib influenceofthec6h8o7concentrationchangeonthechemicalinteractionofinasinsbgaasandgasbwiththeetchingnh42cr2o7hbrc6h8o7solutions AT tomašikvn influenceofthec6h8o7concentrationchangeonthechemicalinteractionofinasinsbgaasandgasbwiththeetchingnh42cr2o7hbrc6h8o7solutions AT malaničgp influenceofthec6h8o7concentrationchangeonthechemicalinteractionofinasinsbgaasandgasbwiththeetchingnh42cr2o7hbrc6h8o7solutions AT staneckaâas influenceofthec6h8o7concentrationchangeonthechemicalinteractionofinasinsbgaasandgasbwiththeetchingnh42cr2o7hbrc6h8o7solutions AT korčevoiaa influenceofthec6h8o7concentrationchangeonthechemicalinteractionofinasinsbgaasandgasbwiththeetchingnh42cr2o7hbrc6h8o7solutions |