Investigation of dislocations in Ge single crystals by scanning electron beam

The comparative analysis of the dislocation images obtained by optical and scanning electron microscopy in Ge single crystals has been carried out. The results obtained by both methods agree well with each other. When there is no impurity atmosphere, the etching pit or the image spot on the dislocat...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Functional Materials
Datum:2004
Hauptverfasser: Nadtochy, V., Golodenko, M., Moskal, D.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2004
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/134869
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Investigation of dislocations in Ge single crystals by scanning electron beam / V. Nadtochy, M. Golodenko, D. Moskal // Functional Materials. — 2004. — Т. 11, № 1. — С. 40-43. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-134869
record_format dspace
spelling Nadtochy, V.
Golodenko, M.
Moskal, D.
2018-06-14T10:26:41Z
2018-06-14T10:26:41Z
2004
Investigation of dislocations in Ge single crystals by scanning electron beam / V. Nadtochy, M. Golodenko, D. Moskal // Functional Materials. — 2004. — Т. 11, № 1. — С. 40-43. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.
1027-5495
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/134869
The comparative analysis of the dislocation images obtained by optical and scanning electron microscopy in Ge single crystals has been carried out. The results obtained by both methods agree well with each other. When there is no impurity atmosphere, the etching pit or the image spot on the dislocation is about 1 pm in diameter. By creating an electric field at the semiconductor surface, the spatial charge area around the dislocation can be polarized. A contrast appears around the dislocation when the area is scanned by electron beam. This enables the distinguishing of dislocations created by low-temperature deformation among neutral impurity inclusions in a crystal.
Проведен сравнительный анализ изображений дислокаций в монокристаллическом Ge, полученных методами оптической и сканирующей электронной микроскопии. Результаты обоих методов хорошо согласуются между собой. При отсутствии примесной атмосферы ямка травления или пятно изображения на дислокации имеют диаметр ~1 мкм. Путем создания электрического поля на поверхности можно добиться поляризации области пространственного заряда вокруг дислокации, а при сканировании этой области электронным пучком — появления контраста. Последнее дает возможность выделить дислокации, созданные низкотемпературной деформацией, среди нейтральных примесных включений в кристалле.
Виконано порівняльний аналіз зображень дислокацій у монокристалічному Ge, одержаних методами оптичної та скануючої електронної мікроскопії. Результати обох методів добре узгоджуються між собою. При відсутності домішкової атмосфери ямка травлення або пляма зображення на дислокації мають діаметр ~1 мкм. Шляхом утворення електричного поля на поверхні можна досягти поляризації області просторового заряду навколо дислокації, а при скануванні цієї області електронним пучком — появи контрасту. Останнє дає можливість виділити дислокації при низькотемпературній деформації серед нейтральних домішкових включень у кристалі.
en
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
Functional Materials
Investigation of dislocations in Ge single crystals by scanning electron beam
Дослідження дислокацій у монокристалічному Ge скануючим електронним пучком
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Investigation of dislocations in Ge single crystals by scanning electron beam
spellingShingle Investigation of dislocations in Ge single crystals by scanning electron beam
Nadtochy, V.
Golodenko, M.
Moskal, D.
title_short Investigation of dislocations in Ge single crystals by scanning electron beam
title_full Investigation of dislocations in Ge single crystals by scanning electron beam
title_fullStr Investigation of dislocations in Ge single crystals by scanning electron beam
title_full_unstemmed Investigation of dislocations in Ge single crystals by scanning electron beam
title_sort investigation of dislocations in ge single crystals by scanning electron beam
author Nadtochy, V.
Golodenko, M.
Moskal, D.
author_facet Nadtochy, V.
Golodenko, M.
Moskal, D.
publishDate 2004
language English
container_title Functional Materials
publisher НТК «Інститут монокристалів» НАН України
format Article
title_alt Дослідження дислокацій у монокристалічному Ge скануючим електронним пучком
description The comparative analysis of the dislocation images obtained by optical and scanning electron microscopy in Ge single crystals has been carried out. The results obtained by both methods agree well with each other. When there is no impurity atmosphere, the etching pit or the image spot on the dislocation is about 1 pm in diameter. By creating an electric field at the semiconductor surface, the spatial charge area around the dislocation can be polarized. A contrast appears around the dislocation when the area is scanned by electron beam. This enables the distinguishing of dislocations created by low-temperature deformation among neutral impurity inclusions in a crystal. Проведен сравнительный анализ изображений дислокаций в монокристаллическом Ge, полученных методами оптической и сканирующей электронной микроскопии. Результаты обоих методов хорошо согласуются между собой. При отсутствии примесной атмосферы ямка травления или пятно изображения на дислокации имеют диаметр ~1 мкм. Путем создания электрического поля на поверхности можно добиться поляризации области пространственного заряда вокруг дислокации, а при сканировании этой области электронным пучком — появления контраста. Последнее дает возможность выделить дислокации, созданные низкотемпературной деформацией, среди нейтральных примесных включений в кристалле. Виконано порівняльний аналіз зображень дислокацій у монокристалічному Ge, одержаних методами оптичної та скануючої електронної мікроскопії. Результати обох методів добре узгоджуються між собою. При відсутності домішкової атмосфери ямка травлення або пляма зображення на дислокації мають діаметр ~1 мкм. Шляхом утворення електричного поля на поверхні можна досягти поляризації області просторового заряду навколо дислокації, а при скануванні цієї області електронним пучком — появи контрасту. Останнє дає можливість виділити дислокації при низькотемпературній деформації серед нейтральних домішкових включень у кристалі.
issn 1027-5495
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/134869
citation_txt Investigation of dislocations in Ge single crystals by scanning electron beam / V. Nadtochy, M. Golodenko, D. Moskal // Functional Materials. — 2004. — Т. 11, № 1. — С. 40-43. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT nadtochyv investigationofdislocationsingesinglecrystalsbyscanningelectronbeam
AT golodenkom investigationofdislocationsingesinglecrystalsbyscanningelectronbeam
AT moskald investigationofdislocationsingesinglecrystalsbyscanningelectronbeam
AT nadtochyv doslídžennâdislokacíiumonokristalíčnomugeskanuûčimelektronnimpučkom
AT golodenkom doslídžennâdislokacíiumonokristalíčnomugeskanuûčimelektronnimpučkom
AT moskald doslídžennâdislokacíiumonokristalíčnomugeskanuûčimelektronnimpučkom
first_indexed 2025-12-07T18:45:41Z
last_indexed 2025-12-07T18:45:41Z
_version_ 1850876249026592768