Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення ь
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения |
|---|---|
| Datum: | 2014 |
| Hauptverfasser: | , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainian |
| Veröffentlicht: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2014
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/134875 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення / Д.В. Соколюк, О.М. Куцай, С.П. Старик, В.М. Ткач, О.О. Стаценко, В.В. Білорусець // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2014. — Вип. 17. — С. 336-339. — Бібліогр.: 3 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-134875 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Соколюк, Д.В. Куцай, О.М. Старик, С.П. Ткач, В.М. Стаценко, О.О. Білорусець, В.В. 2018-06-14T10:29:43Z 2018-06-14T10:29:43Z 2014 Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення / Д.В. Соколюк, О.М. Куцай, С.П. Старик, В.М. Ткач, О.О. Стаценко, В.В. Білорусець // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2014. — Вип. 17. — С. 336-339. — Бібліогр.: 3 назв. — укр. 2223-3938 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/134875 uk Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення ь Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення ь |
| spellingShingle |
Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення ь Соколюк, Д.В. Куцай, О.М. Старик, С.П. Ткач, В.М. Стаценко, О.О. Білорусець, В.В. Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора |
| title_short |
Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення ь |
| title_full |
Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення ь |
| title_fullStr |
Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення ь |
| title_full_unstemmed |
Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення ь |
| title_sort |
елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення ь |
| author |
Соколюк, Д.В. Куцай, О.М. Старик, С.П. Ткач, В.М. Стаценко, О.О. Білорусець, В.В. |
| author_facet |
Соколюк, Д.В. Куцай, О.М. Старик, С.П. Ткач, В.М. Стаценко, О.О. Білорусець, В.В. |
| topic |
Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора |
| topic_facet |
Инструментальные, конструкционные и функциональные материалы на основе алмаза и кубического нитрида бора |
| publishDate |
2014 |
| language |
Ukrainian |
| container_title |
Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения |
| publisher |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| format |
Article |
| issn |
2223-3938 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/134875 |
| citation_txt |
Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення / Д.В. Соколюк, О.М. Куцай, С.П. Старик, В.М. Ткач, О.О. Стаценко, В.В. Білорусець // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2014. — Вип. 17. — С. 336-339. — Бібліогр.: 3 назв. — укр. |
| work_keys_str_mv |
AT sokolûkdv elementniiskladtastrukturníharakteristikiplívkovihstrukturnaosnovíkarbídukremníûotrimanihmetodommagnetronnogorozpilennâʹ AT kucaiom elementniiskladtastrukturníharakteristikiplívkovihstrukturnaosnovíkarbídukremníûotrimanihmetodommagnetronnogorozpilennâʹ AT stariksp elementniiskladtastrukturníharakteristikiplívkovihstrukturnaosnovíkarbídukremníûotrimanihmetodommagnetronnogorozpilennâʹ AT tkačvm elementniiskladtastrukturníharakteristikiplívkovihstrukturnaosnovíkarbídukremníûotrimanihmetodommagnetronnogorozpilennâʹ AT stacenkooo elementniiskladtastrukturníharakteristikiplívkovihstrukturnaosnovíkarbídukremníûotrimanihmetodommagnetronnogorozpilennâʹ AT bílorusecʹvv elementniiskladtastrukturníharakteristikiplívkovihstrukturnaosnovíkarbídukremníûotrimanihmetodommagnetronnogorozpilennâʹ |
| first_indexed |
2025-12-01T11:06:37Z |
| last_indexed |
2025-12-01T11:06:37Z |
| _version_ |
1850860098316926976 |