Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення ь
Saved in:
| Published in: | Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения |
|---|---|
| Date: | 2014 |
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2014
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/134875 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення / Д.В. Соколюк, О.М. Куцай, С.П. Старик, В.М. Ткач, О.О. Стаценко, В.В. Білорусець // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2014. — Вип. 17. — С. 336-339. — Бібліогр.: 3 назв. — укр. |