Элементный анализ аморфных углеродных пленок

• Published in: Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения
• Date: 2007
• Main Author: Куцай, А.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2007
• Subjects: Синтез, спекание и свойства сверхтвердых материалов
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/135090
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Элементный анализ аморфных углеродных пленок / А.М. Куцай // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2007. — Вип. 10. — С. 270-273. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

The elemental analysis of amorphous carbon film produce in focus on the diamond-like type by the low temperature chemical vapour deposition and physical vapour deposition have been presented. The amorphous carbon films proposed as protective, wear-resistive, anti-reflective, chemical inert and bioco...