Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Functional Materials |
|---|---|
| Дата: | 2010 |
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2010
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/135183 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering / M.S. Zayats, V.G. Boiko, P.O. Gentsar, M.V. Vuichyk, O.S. Lytvyn, A.V. Stronski // Functional Materials. — 2010. — Т. 17, № 2. — С. 209-212. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862548596782530560 |
|---|---|
| author | Zayats, M.S. Boiko, V.G. Gentsar, P.O. Vuichyk, M.V. Lytvyn, O.S. Stronski, A.V. |
| author_facet | Zayats, M.S. Boiko, V.G. Gentsar, P.O. Vuichyk, M.V. Lytvyn, O.S. Stronski, A.V. |
| citation_txt | Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering / M.S. Zayats, V.G. Boiko, P.O. Gentsar, M.V. Vuichyk, O.S. Lytvyn, A.V. Stronski // Functional Materials. — 2010. — Т. 17, № 2. — С. 209-212. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Functional Materials |
| first_indexed | 2025-11-25T18:43:03Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-135183 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1027-5495 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-11-25T18:43:03Z |
| publishDate | 2010 |
| publisher | НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Zayats, M.S. Boiko, V.G. Gentsar, P.O. Vuichyk, M.V. Lytvyn, O.S. Stronski, A.V. 2018-06-14T16:28:56Z 2018-06-14T16:28:56Z 2010 Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering / M.S. Zayats, V.G. Boiko, P.O. Gentsar, M.V. Vuichyk, O.S. Lytvyn, A.V. Stronski // Functional Materials. — 2010. — Т. 17, № 2. — С. 209-212. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. 1027-5495 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/135183 en НТК «Інститут монокристалів» НАН України Functional Materials Characterization and properties Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering Оптичні властивості плівок AlN/n-Si(111) отриманих методом високочастотного реактивного магнетронного розпилення Article published earlier |
| spellingShingle | Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering Zayats, M.S. Boiko, V.G. Gentsar, P.O. Vuichyk, M.V. Lytvyn, O.S. Stronski, A.V. Characterization and properties |
| title | Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering |
| title_alt | Оптичні властивості плівок AlN/n-Si(111) отриманих методом високочастотного реактивного магнетронного розпилення |
| title_full | Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering |
| title_fullStr | Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering |
| title_full_unstemmed | Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering |
| title_short | Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering |
| title_sort | optical properties of aln/n-si(111) films obtained by method of hf reactive magnetron sputtering |
| topic | Characterization and properties |
| topic_facet | Characterization and properties |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/135183 |
| work_keys_str_mv | AT zayatsms opticalpropertiesofalnnsi111filmsobtainedbymethodofhfreactivemagnetronsputtering AT boikovg opticalpropertiesofalnnsi111filmsobtainedbymethodofhfreactivemagnetronsputtering AT gentsarpo opticalpropertiesofalnnsi111filmsobtainedbymethodofhfreactivemagnetronsputtering AT vuichykmv opticalpropertiesofalnnsi111filmsobtainedbymethodofhfreactivemagnetronsputtering AT lytvynos opticalpropertiesofalnnsi111filmsobtainedbymethodofhfreactivemagnetronsputtering AT stronskiav opticalpropertiesofalnnsi111filmsobtainedbymethodofhfreactivemagnetronsputtering AT zayatsms optičnívlastivostíplívokalnnsi111otrimanihmetodomvisokočastotnogoreaktivnogomagnetronnogorozpilennâ AT boikovg optičnívlastivostíplívokalnnsi111otrimanihmetodomvisokočastotnogoreaktivnogomagnetronnogorozpilennâ AT gentsarpo optičnívlastivostíplívokalnnsi111otrimanihmetodomvisokočastotnogoreaktivnogomagnetronnogorozpilennâ AT vuichykmv optičnívlastivostíplívokalnnsi111otrimanihmetodomvisokočastotnogoreaktivnogomagnetronnogorozpilennâ AT lytvynos optičnívlastivostíplívokalnnsi111otrimanihmetodomvisokočastotnogoreaktivnogomagnetronnogorozpilennâ AT stronskiav optičnívlastivostíplívokalnnsi111otrimanihmetodomvisokočastotnogoreaktivnogomagnetronnogorozpilennâ |