Vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings

Design and operation principle of a novel vacuum-arc source of filtered erosive plasma are described. The macroparticles are removed from the plasma by transformation of radial plasma streams emitted by the cathode spot of the arc on the side surface of cylindrical cathode, into axial stream by mean...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Functional Materials
Дата:2008
Автори: Aksenov, I.I., Aksyonov, D.S.
Формат: Стаття
Мова:Англійська
Опубліковано: НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2008
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/135355
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings // I.I. Aksenov, D.S. Aksyonov // Functional Materials. — 2008. — Т. 15, № 3. — С. 442-447. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1860265007938273280
author Aksenov, I.I.
Aksyonov, D.S.
author_facet Aksenov, I.I.
Aksyonov, D.S.
citation_txt Vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings // I.I. Aksenov, D.S. Aksyonov // Functional Materials. — 2008. — Т. 15, № 3. — С. 442-447. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.
collection DSpace DC
container_title Functional Materials
description Design and operation principle of a novel vacuum-arc source of filtered erosive plasma are described. The macroparticles are removed from the plasma by transformation of radial plasma streams emitted by the cathode spot of the arc on the side surface of cylindrical cathode, into axial stream by means of "single bottle neck" magnetic field. The efficiency factor of the source is about 3.5 %. The output plasma stream generated by the source in optimum conditions is characterized by highly homogeneous distribution of the ion component density over the stream cross-section about 12 cm in diameter. The growth rate of a carbon coating in a spot of the same diameter attains 35 μm/h at the condensate microhardness up to 150 GPa. Описано будову та принцип дії вакуумно-дугового джерела фільтрованої ерозійної плазми. Очищення плазми від макрочастинок здійснюється перетворенням радіальних потоків плазми, що емітуються катодними плямами дуги на боковій поверхні циліндричного катода, в аксіальний потік за допомогою "однопробкового" магнітного поля. Коефіцієнт ефективності джерела становить близько 3,5 %. Вихідний потік плазми в оптимальних умовах характеризується високою рівномірністю розподілу густини іонної компоненти за перерізом потоку діаметром близько 12 см. Швидкість зростання товщини покриття у плямі того ж діаметра сягає 35 мкм/г при мікротвердості конденсата до 150 ГПа. Описаны устройство и принцип действия вакуумно-дугового источника фильтрованной эрозионной плазмы. Очистка плазмы от макрочастиц осуществляется преобразованием радиальных потоков плазмы, эмитируемых катодным пятном дуги на боковой поверхности цилиндрического катода, в аксиальный поток с помощью "однопробочного" магнитного поля. Коэффициент эффективности источника составляет около 3,5 %. Выходной поток плазмы, генерируемый источником, в оптимальных условиях характеризуется высокой равномерностью распределения плотности ионной компоненты по сечению потока диаметром около 12 см. Скорость роста углеродного покрытия в пятне того же диаметра достигает 35 мкм/ч при микротвёрдости конденсата до 150 ГПа.
first_indexed 2025-12-07T18:59:39Z
format Article
fulltext 9DFXXP�DUF�SODVPD�VRXUFH�ZLWK�UHFWLOLQHDUILOWHU�IRU�GHSRVLWLRQ�RI�IXQFWLRQDO�FRDWLQJV ,�,�$NVHQRY��'�6�$NV\RQRY 1DWLRQDO�6FLHQFH�&HQWHU��.KDUNLY�,QVWLWXWH�RI�3K\VLFV�DQG�7HFKQRORJ\�� .KDUNLY��8NUDLQH 5HFHLYHG�0DUFK��������� 'HVLJQ�DQG�RSHUDWLRQ�SULQFLSOH�RI�D�QRYHO�YDFXXP�DUF�VRXUFH�RI�ILOWHUHG�HURVLYH�SODVPD DUH� GHVFULEHG�� 7KH� PDFURSDUWLFOHV� DUH� UHPRYHG� IURP� WKH� SODVPD� E\� WUDQVIRUPDWLRQ� RI UDGLDO� SODVPD� VWUHDPV� HPLWWHG� E\� WKH� FDWKRGH� VSRW� RI� WKH� DUF� RQ� WKH� VLGH� VXUIDFH� RI F\OLQGULFDO�FDWKRGH��LQWR�D[LDO�VWUHDP�E\�PHDQV�RI��VLQJOH�ERWWOH�QHFN��PDJQHWLF�ILHOG��7KH HIILFLHQF\�IDFWRU�RI�WKH�VRXUFH�LV�DERXW��������7KH�RXWSXW�SODVPD�VWUHDP�JHQHUDWHG�E\�WKH VRXUFH�LQ�RSWLPXP�FRQGLWLRQV�LV�FKDUDFWHUL]HG�E\�KLJKO\�KRPRJHQHRXV�GLVWULEXWLRQ�RI�WKH LRQ�FRPSRQHQW�GHQVLW\�RYHU�WKH�VWUHDP�FURVV�VHFWLRQ�DERXW����FP�LQ�GLDPHWHU��7KH�JURZWK UDWH�RI�D�FDUERQ�FRDWLQJ�LQ�D�VSRW�RI�WKH�VDPH�GLDPHWHU�DWWDLQV����PP�K�DW�WKH�FRQGHQVDWH PLFURKDUGQHVV�XS�WR�����*3D� |¹Ò°ÈÓ©��°�¯º®°�mº�Ò�¹¯ÒÓ�Ò¹��Ë®°�mÒ«�mÈ}��äÓº����ºmº�º�Ò°�º�ÓÒ}È�ÁÒã �¯ºmÈÓ� Óº®�ª¯ºÏÒºÓÓº®�¹ãÈÏä©��|�Ò°�}È�¹ãÈÏä©�º��äÈ}¯º�Ȱ�Ò��º°��˰�mã«Ë�°«�¹¯Ëº­¯ÈϺmÈ� ÓÒËä� ¯È�ÒÈã Ó©²� ¹º�º}ºm� ¹ãÈÏä©�� ªäÒ�Ò¯�Ë䩲� }È�º�Ó©ä� ¹«�Óºä� ���Ò� ÓÈ� ­º}ºmº® ¹ºm˯²Óº°�Ò��ÒãÒÓ�¯Ò�˰}º�º�}È�º�È��m�È}°ÒÈã Ó©®�¹º�º}�°�¹ºäº� ��º�Óº¹¯º­º�Óº� �º��äÈ�ÓÒ�Óº�º�¹ºã«��zºªÁÁÒ�ÒËÓ��ªÁÁË}�ÒmÓº°�Ò�Ò°�º�ÓÒ}È�°º°�Èmã«Ë��º}ºãº������� {©²º�Óº®�¹º�º}�¹ãÈÏä©���ËÓ˯ү�Ëä©®�Ò°�º�ÓÒ}ºä��m�º¹�ÒäÈã Ó©²��°ãºmÒ«²�²È¯È}�Ë� ¯ÒÏ�Ë�°«� m©°º}º®� ¯ÈmÓºä˯Ӻ°� � ¯È°¹¯Ë�ËãËÓÒ«� ¹ãº�Óº°�Ò� ÒºÓÓº®� }ºä¹ºÓËÓ�©� ¹º °Ë�ËÓÒ �¹º�º}È��ÒÈäË�¯ºä�º}ºãº����°ä��v}º¯º°� �¯º°�È���ã˯º�Óº�º�¹º}¯©�Ò«�m�¹«�ÓË �º�º�ÎË��ÒÈäË�¯È��º°�Ò�ÈË�����ä}ä���¹¯Ò�äÒ}¯º�m£¯�º°�Ò�}ºÓ�ËÓ°È�È��º�������È� 'XULQJ� WKH� GHYHORSPHQW� RI� LRQLF�SODVPD WHFKQRORJLHV�� WKH� YDFXXP�DUF� PHWKRGV� RI FRDWLQJ� GHSRVLWLRQ� DQG� PDWHULDO� VXUIDFH PRGLILFDWLRQ�JDLQ�LQFUHDVLQJO\�ZLGH�UHFRJQL� WLRQ�� 7KLV� LV� GXH� VXEVWDQWLDOO\� WR� VXFFHVVHV LQ�GHYHORSPHQW�RI�PHDQV�WR�IRUP�SXUH�YDF� XXP�DUF�HURVLYH�SODVPD�>�@��7KH�SUHVHQFH�RI WKH� FDWKRGH� PDWHULDO� PDFUR�VFDOH� SDUWLFOHV �l3V�� LQ� SODVPD� KLQGHUHG� IRU� D� ORQJ� WLPH WKH�XVH� RI�XQLTXH�SRWHQWLDOLWLHV� RI� WKH�YDF� XXP�DUF�PHWKRGV� LQ� WKH� ILHOG� RI�KLJK� WHFK� QRORJLHV�� 7RGD\�� WKH� PRVW� HIIHFWLYH� PHDQV WR� VROYH� WKH� 03V� SUREOHP� LV� SURYLGHG� E\ PDJQHWLF� ILOWHUV�� ([SHUWV� RI�PDQ\� UHVHDUFK FHQWHUV� DOO� RYHU� WKH� ZRUOG� DUH� LQYROYHG� LQ GHYHORSPHQW� DQG� LPSURYHPHQW� RI� VXFK� ILO� WHUV� >�@��%RWK� LQ� ODERUDWRULHV� DQG� LQ� LQGXV� WU\��WKH�ILOWHUV�ZLWK�FXUYLOLQHDU�SODVPD�GXFW DUH� XVHG� PRVW� RIWHQ�� +RZHYHU�� D� UHODWLYH FRPSOH[LW\�� XQKDQGLQHVV�� DQG� ORZ� SURGXF� WLYLW\�RI�WKH�FXUYLOLQHDU�ILOWHUV�KLQGHU�WKHLU ODUJH�VFDOH�FRPPHUFLDOL]DWLRQ��6R�FDOOHG�UHF� WLOLQHDU� ILOWHUV� DV� PRUH� VLPSOH� DQG�� KHQFH� FKHDSHU��FRXOG�EH�DQ�DOWHUQDWLYH�IRU�WKH�FXU� YLOLQHDU� ILOWHUV� WKRXJK� WKH\� DUH� D� OLWWOH� ELW FRQFHGLQJ� LQ�TXDOLW\�RI� FOHDQLQJ�RI�SODVPD� %RHUFNHU�� )DODEHOOD� DQG� 6DQGHUV� ZKR� KDYH GHYHORSHG� D� SODVPD� VRXUFH� ZLWK� �GRPH� VKDSHG��V\VWHP�RI�FRLOV�>�@�KDYH�DWWDLQHG�DQ DSSUHFLDEOH� LQFUHDVH� LQ� ILOWHULQJ� HIILFLHQF\ RI� WKH�UHFWLOLQHDU� ILOWHU��+RZHYHU�� WKHLU�GH� YLFH� LV� FRPSOH[� HQRXJK� LQ� GHVLJQ�� DQG� WKH GHQVLW\�GLVWULEXWLRQ�RI�WKH�LRQ�FRPSRQHQW�LQ WKH� SODVPD� VWUHDP� DW� WKH� VRXUFH� RXWSXW� LV VWURQJO\� LQKRPRJHQHRXV�� $� PRUH� VLPSOH DQDORJXH�RI�WKH�GRPH�VKDSHG�SODVPD�VRXUFH ZDV�SURSRVHG�EHIRUH�>�@��'DWD�RQ�LWV�FKDUDF� WHULVWLFV�ZHUH�QRW�SXEOLVKHG�XQWLO�QRZ��7KH PDLQ�SHUIRUPDQFH�FKDUDFWHULVWLFV�RI�WKH�QHZ VRXUFH�DUH�VWXGLHG�LQ�WKLV�ZRUN� )XQFWLRQDO�0DWHULDOV�����1R��������� �������Û�,QVWLWXWH�IRU�6LQJOH�&U\VWDOV ��� )XQFWLRQDO�PDWHULDOV������������� 7KH� VFKHPDWLF� RXWOLQH� RI� WKH� SODVPD VRXUFH�EHLQJ�VWXGLHG�LV�VKRZQ�LQ�)LJ�����7KH VRXUFH� FRQWDLQV� D� FRQVXPDEOH� F\OLQGULFDO FDWKRGH� �� RI� WKH� SODVPD�IRUPLQJ� PDWHULDO DQG� D� KROORZ� F\OLQGULFDO� DQRGH� �� PDGH� RI QRQ�PDJQHWLF� VWDLQOHVV� VWHHO�� 7KH� FDWKRGH GLDPHWHU� GF� LV� ��� PP�� ZLWK� WKH� ZRUNLQJSDUW� OHQJWK� OF� RI����PP��7KH�DQRGH�GLDPH�WHU� GD� DQG� WKH� OHQJWK� RI� LWV� ZRUNLQJ� �FXU�UHQW�FROOHFWLQJ�� SDUW� OD� DUH� ���� DQG ����PP��UHVSHFWLYHO\��7KH�FDWKRGH�EXWW�IDFH WXUQHG� WR� WKH� VRXUFH� RXWSXW� LV� FORVHG� E\� D PRO\EGHQXP�VKLHOG���VKDSHG�DV�D�GLVN�RI�GV �����PP�LQ�GLDPHWHU��,WV�HGJHV�IRUP�DQ�K ���� PP� ULQJ� OHGJH� RYHU� WKH� FDWKRGH� VLGH VXUIDFH��7KH� VSHFLILHG� VL]HV� RI� WKH� FDWKRGH� WKH�DQRGH�DQG�WKH�VKLHOG�SURYLGH�LPSOHPHQ� WDWLRQ�RI�WKH�FRQGLWLRQ K� ��GD���G°��e���t��GD���G°�O°�e��OD� DW� ZKLFK� WKHUH� LV� QR� GLUHFW� OLQH� RI� VLJKW EHWZHHQ� WKH� RXWSXW� DQRGH� DSHUWXUH� DQG� WKH FDWKRGH�ZRUNLQJ�VXUIDFH��7KLV�� LQ�WXUQ��H[� FOXGHV�WKH�GLUHFW�KLW�RI�WKH�l3V�HPLWWHG�E\ FDWKRGH� VSRW� �&6�� LQWR� WKH� VRXUFH� RXWSXW DSHUWXUH��7KH�EDFN�EXWW�IDFH�RI�WKH�FDWKRGH DQG�ZDOOV�RI�WKH�DQRGH�DUH�ZDWHU�FRROHG��QRW VKRZQ��� 0DJQHWLF� FRLOV� ���� ��� DQG� ��� ZLWK DGMXVWDEOH� QXPEHUV� RI� DPSHUH�WXUQV� DUH SODFHG� RQ� WKH� DQRGH�� SURYLGLQJ� PDJQHWLF ILHOGV� RQ� WKHLU� D[HV� XS� WR� ����� ��� DQG ���� 2H�� UHVSHFWLYHO\�� 7KH� FDWKRGH� VSRW� RI WKH� DUF� GLVFKDUJH� LV� WULJJHUHG� RQ� WKH� FDWK� RGH� VLGH� VXUIDFH� E\� WKH� WULJJHULQJ� GHYLFH�� GHVFULEHG� HOVHZKHUH� >�@�� 1HDU� WKH� FDWKRGH EDFN�EXWW� WKH� IHUURPDJQHWLF� FRQFHQWUDWRU�� LV� SODFHG� WKDW� VWUHQJWKHQV� WKH� PDJQHWLF ILHOG� ZKLFK� LV� SXVKLQJ� RXW� WKH� &6� WRZDUGV WKH� FDWKRGH� ZRUNLQJ� VXUIDFH�� $URXQG� WKH FDWKRGH�ZRUNLQJ�VXUIDFH��WKH�IHUURPDJQHWLF ULQJ� ��� LV� IL[HG� WR� WKH� DQRGH� ZDOOV�� 7KH HOHPHQWV� �� DQG� ��� DUH� PDGH� RI� IHUURPDJ� QHWLF�VWHHO� 7KH� FXUUHQWV� LQ� FRLOV� RI� WKH� SODVPD VRXUFH� JHQHUDWH� D� PDJQHWLF� ILHOG� WKHUHLQ WKDW� LV� VWURQJHU� DW� WKH� FDWKRGH� EDFN� EXWW IDFH� �PDJQHWLF� OLQHV� DUH� FRQYHUJHQW��� DQG ZHDNHU� LQ� WKH� DQRGH� FDYLW\� �)LJ������ )URP KHUH�RQ��VXFK�PDJQHWLF�ILHOG�ZLOO�EH�UHIHUUHG WR� DV�D��VLQJOH�ERWWOH�QHFN��PDJQHWLF� ILHOG� $V�D�ZKROH�� WKH�PDJQHWLF� ILHOG�GLVWULEXWLRQ JHRPHWU\� LV� VLPLODU� WR� WKDW� LQ� WKH� GRPH� VKDSHG�VRXUFH�>�@� )LJ����� ([SHULPHQWDO� SODVPD� VRXUFH����� FDWK� RGH�� ��� DQRGH�� ��� VKLHOG�� ��� FDWKRGH� FRLO�� � DQG� ��� DQRGH� FRLOV�� ��� WULJJHU�� ��� FDWKRGH VKLHOG����DQG�����PDJQHWLF�FRQFHQWUDWRUV����� EDIIOHV������FROOHFWRU�VXEVWUDWH� )LJ�����0DJQHWLF�ILHOGV�LQ�SUHVHQFH�RI�FRQFHQWUDWRUV���DQG����DQG�FRXQWHU�HQHUJL]HG�FRLO����D���WKH VDPH�LQ�DEVHQFH�RI�FRQFHQWUDWRUV�DQG�FRQFRUGDQW�HQHUJL]DWLRQ�RI�DOO�FRLOV��E�� ,�,�$NVHQRY��'�6�$NV\RQRY���9DFXXP�DUF�SODVPD���� )XQFWLRQDO�PDWHULDOV������������� ��� :KHQ� D� VWDUWLQJ� SXOVH� LV� DSSOLHG� WR� WKH WULJJHULQJ�XQLW��DQ�DUF�GLVFKDUJH�DSSHDUV�LQ WKH�JDS�EHWZHHQ�WKH�FDWKRGH�DQG�WKH�DQRGH� $Q� HOHFWURQLF� FRQWURO� V\VWHP� �QRW� VKRZQ� SURYLGHV�DXWRPDWLF�VXEPLVVLRQ�RI�WKH�VWDUW� LQJ� SXOVH� DIWHU� DQ\� VSRQWDQHRXV� GHFD\� RI WKH�DUF��8QGHU�DFWLRQ�RI�WKH�PDJQHWLF�ILHOG ORQJLWXGLQDO� FRPSRQHQW�+]�� WKH� &6�PRYLQJFKDRWLFDOO\� RYHU� WKH� FDWKRGH� VXUIDFH� JHWV DOVR�DQ�RUGHUHG�YHORFLW\�FRPSRQHQW�GLUHFWHG DFURVV� WKH� PDJQHWLF� ILHOG� LQ� �DQWL�DPSHUH� GLUHFWLRQ� �WKH� NQRZQ� SKHQRPHQRQ� RI� &6 �UHWURJUDGH�� PRYHPHQWV� LQ� YDFXXP��� DQG PRYHV�DURXQG�WKH�FDWKRGH�D[LV��$W�WKH�VDPH WLPH�� XQGHU� DFWLRQ� RI� D� PDJQHWLF� ILHOG� LQ� FOLQHG� WR� WKH� HOHFWURGH� VXUIDFH�� WKH� VSRW� DFFRUGLQJ� WR� WKH� NQRZQ� �UXOH� RI� DQ� DFXWH DQJOH���GULIWV�WRZDUGV�WKH�IUHH�FDWKRGH�EXWW IDFH��ZLWK�WKH�VKLHOG�����DQG�XQGHU�DFWLRQ�RI LWV�RZQ�PDJQHWLF�ILHOG��LW�LV�GLVSODFHG�LQ�WKH RSSRVLWH� GLUHFWLRQ�� WRZDUGV� WKH� FXUUHQW IHHGHU��)LQDOO\��WKH�]RQH�RI�WKH�VSRW�DQQXODU PRYHPHQW� WDNHV� D� FHUWDLQ� SRVLWLRQ� RQ� WKH FDWKRGH�VLGH�VXUIDFH�ZKHUH�DFWLRQV�RI�H[WHU� QDO�DQG�RZQ�PDJQHWLF�ILHOGV�DUH�FRXQWHUEDO� DQFHG��7KH�RSWLPXP�FRQGLWLRQV�IRU�SXVKLQJ WKH� &6� RXW� RI� LWV� LQLWLDWLRQ� ]RQH� RQWR� WKH FDWKRGH� ZRUNLQJ� VXUIDFH� DUH� SURYLGHG� E\ FRXQWHU�HQHUJL]LQJ�RI�WKH�FRLO���DQG�DOVR�E\ PDJQHWLF�FRQFHQWUDWRUV���DQG���� >�@��7KXV� D�PDJQHWLF�ILHOG�LV�IRUPHG�LQ�WKH�WULJJHULQJ ]RQH� �)LJ���D�� ZLWK� WKH� OLQHV� LQFOLQHG� RSWL� PDOO\�IRU��SXVKLQJ�RXW��WKH�&6�DV�FRPSDUHG WR� WKH�FDVH�ZKHUH�WKH�FRQFHQWUDWRUV�DUH�DE� VHQW� DQG� DW� FRQFRUGDQW� HQHUJL]LQJ� RI� DOO FRLOV��)LJ���E���7KH�&6�WUDYHO�RQWR�WKH�FDWK� RGH� EXWW� IDFH� LV� SUHYHQWHG� E\� WKH� VKLHOG� �� ZKHQ� WKH� VSRW� FRPHV�RQWR� WKH�VKLHOG� OHGJH� LW� LV� UHWXUQHG� EDFN� RQWR� WKH� FDWKRGH� F\OLQ� GULFDO� VXUIDFH� E\� DFWLRQ� RI� RZQ� PDJQHWLF ILHOG� �WRZDUGV� WKH� FXUUHQW� IHHGHU��� 7KXV� DUHD�RI�VWDEOH�&6�H[LVWHQFH�LV�WKH�SDUW�RI�WKH FDWKRGH�VLGH�VXUIDFH�EHWZHHQ�WKH�WULJJHULQJ GHYLFH�DQG�WKH�VKLHOG����%HLQJ�LQ�WKLV�DUHD� WKH� &6� JHQHUDWHV� D� SODVPD� VWUHDP� PRYLQJ WRZDUGV� WKH� DQRGH� �DORQJ� WKH� UDGLXV��� 7KH PDJQHWLF� ILHOG� WXUQV� WKH� VWUHDP� E\� ���� WR� ZDUGV� WKH� RXWSXW� EXWW� IDFH� RI� WKH� DQRGH� �7KH� PHFKDQLVP� RI� D� PDJQHWLF� ILHOG� LQIOX� HQFH� RQ� SDUWLDOO\� PDJQHWL]HG� SODVPD� LQ� D YDFXXP�DUF�LV�GHVFULEHG�HOVHZKHUH��VHH��H�J�� >�@��� 7KXV�� LRQV� DQG� HOHFWURQV� DUH� DUULYLQJ WR� WKH� VRXUFH� RXWSXW�� ZKLOH� KHDY\� ORZ� FKDUJHG� 03V� GR� QRW� LQWHUDFW� ZLWK� HLWKHU PDJQHWLF�RU�HOHFWULF�ILHOGV�DQG��PRYLQJ�UHF� WLOLQHDUO\�IURP�WKH�SODFH�RI�WKHLU�RULJLQ��KLW WKH�DQRGH�RU�WKH�OHGJH�RI�WKH�VKLHOG����6RPH 03V��EHLQJ�LQ�VROLG�VWDWH��PD\�ULFRFKHW�DQG WKXV�JHW� WR� WKH�H[LW�RI� WKH� VRXUFH�DQG�VXE� VWUDWH��7UDSV�VKDSHG�DV�D�VHW�RI�WKLQ�EDIIOHV ����� DUH� XVHG� RIWHQ� WR� VXSSUHVV� UHERXQGLQJ 03V��)LJ����� 7KH� LRQ� FRPSRQHQW� ,L� RI� WKH� RXWSXWSODVPD� VWUHDP� ZDV� PHDVXUHG� XVLQJ� D� IODW FROOHFWRU�RI�����PP�GLDPHWHU��7KH�LRQ�FXU� UHQW�GHQVLW\�-L�GLVWULEXWLRQ�RYHU�WKH�RXWSXWSODVPD� VWUHDP�GLDPHWHU� DQG� DORQJ� WKH� V\V� WHP�D[LV�ZDV�GHWHUPLQHG�XVLQJ�D�IODW�SUREH RI���FP�� DUHD�PRYDEOH� DORQJ� [� �DFURVV� WKH VWUHDP�� DQG� ]� D[HV�� 7KH� DYHUDJH� HQHUJ\� RI LRQV� ZDV� PHDVXUHG� E\� D� PXOWLJULG� HOHFWUR� VWDWLF�SUREH�>�@��7KH�UHODWLYH�FRQWHQW�RI�LRQV ZLWK� YDULRXV� FKDUJHV� LQ� SODVPD� ZDV� GHWHU� PLQHG� XVLQJ� WKH� WHFKQLTXH� GHVFULEHG� HOVH� ZKHUH�>�@��*UDSKLWH�ZDV�XVHG�DV�WKH�FDWKRGH PDWHULDO�� 3UHOLPLQDU\� H[SHULPHQWV� RQ� RSWL� PL]DWLRQ� RI� WKH� VRXUFH� GHVLJQ�ZHUH� FDUULHG RXW� ZLWK� D� WLWDQLXP� FDWKRGH� EHFDXVH� WKLV PDWHULDO� SURYLGHV� PRUH� VWDEOH� DUF� EXUQLQJ RI�WKDQ�JUDSKLWH� 7KH� PHDVXUHG� YDOXHV� RI� WKH� RXWSXW� LRQ FXUUHQW� ,L�� WKH� DUF� YROWDJH�8D� DQG� DYHUDJHHQHUJ\�RI� WKH�GLUHFWHG�PRYHPHQW� RI� FDUERQ LRQV�( BB L�GHSHQGLQJ�RQ�PDJQHWLF�ILHOG�+I�JHQ�HUDWHG� DW� WKH� V\VWHP�D[LV� E\� WKH� FRLO��� DUH SUHVHQWHG� LQ� )LJ����� 7KH�PDJQHWLF� ILHOG� LQ� WHQVLW\� LQ� WKH� FHQWHU� RI� FRLO���ZDV�����2H� WKH�DUF�FXUUHQW�,D�ZDV�VXSSRUWHG�DW�����$�7KH�GHSHQGHQFH�RI�,L�RQ�+I�KDV�D�PD[LPXPLQ� WKH� ��Ü��� 2H� UDQJH�� ,Q� RSWLPXP� FRQGL� WLRQV�� WKH� RXWSXW� LRQ� FXUUHQW� LV� DERXW ����$��WKDW�FRUUHVSRQGV�WR�HIILFLHQF\�IDFWRU RI� WKH� VRXUFH� K� �,L�,D� ����� ��� 7KH� LQ� FUHDVH� LQ� WKH� RXWSXW� LRQ� FXUUHQW� DFFRUGLQJ WR�WKH�OHIW�SDUW�RI�FXUYH�,L�+I��LV�FDXVHG�E\GHFUHDVLQJ� OHYHO� RI� WKH� ORVVHV� FDXVHG� E\ SODVPD� GLIIXVLRQ� DFURVV� WKH� JURZLQJ� PDJ� QHWLF�ILHOG�KDYLQJ�D��VLQJOH�ERWWOH�QHFN��JH� RPHWU\� �FXUYH��� LQ�)LJ������7KH� FXUUHQW� UH� )LJ����� 2XWSXW� LRQ� FXUUHQW� �,L��� DUF� YROWDJH�8D���DQG�DYHUDJH�HQHUJ\�RI�LRQV��( BB L��GHSHQGLQJRQ�D�IRFXVLQJ�ILHOG�LQ�WKH�DQRGH��+I���]� ���°P� ,�,�$NVHQRY��'�6�$NV\RQRY���9DFXXP�DUF�SODVPD���� ��� )XQFWLRQDO�PDWHULDOV������������� GXFWLRQ� DIWHU� WKH� PD[LPXP� VHHPV� WR� EH FDXVHG� E\� SDUWLDO� UHIOHFWLRQ� RI� WKH� VWUHDP IURP� WKH� PDJQHWLF� PLUURU� IRUPHG� LQ� IURQW RI�WKH�FDWKRGH�DW�D�IXUWKHU�VWUHQJWKHQLQJ�RI PDJQHWLF� ILHOG� �FXUYH� �� LQ� )LJ������ ,Q� WKH VRXUFH� XQGHU� VWXG\�� DV� ZHOO� DV� LQ� RWKHU SODVPD� JHQHUDWRUV� ZLWK� PDJQHWLF� IRFXVLQJ� WKH�DUF�YROWDJH�ULVHV�ZLWK�+I�LQFUHDVH��ZLWKWKH� RQO\� GLIIHUHQFH� WKDW� WKLV� ULVH� RFFXUV ZLWK� VRPH� VORZLQJ� GRZQ�� 6XFK� D� FKDUDFWHU RI�8D�+I��GHSHQGHQFH�LV�FDXVHG�E\�SUHVHQFH�RI]RQH�ZLWK�D�PLQLPXP�RI�D�PDJQHWLF�ILHOG� LQ WKH� DUHD� RI� FXUUHQW� WUDQVIHU� �)LJV���� DQG� ��� )RUPDWLRQ� RI� WKLV� PLQLPXP� LV� UHDOL]HG� E\ PHDQV� RI� IHUURPDJQHWLF� HOHPHQWV� �� DQG� �� DQG�RU� E\� FRXQWHU�HQHUJL]LQJ� RI� FRLO� ��� $Q DSSUHFLDEOH�UHGXFWLRQ�RI�DYHUDJH�LRQ�HQHUJ\ DSSUR[LPDWHO\� IURP� ��� GRZQ� WR� ��� H9�ZDV REVHUYHG� ZLWK� VWUHQJWKHQLQJ� RI� PDJQHWLF ILHOG�IURP����XS�WR����2H��7KDW�GHSHQGHQFH RI� ( BB L� RQ�+I� FDQ� EH� H[SODLQHG� E\� WKH� IDFWWKDW�WKH�DQJOH�EHWZHHQ�WKH�LRQ�YHORFLW\�YHF� WRU� DQG� WKH� V\VWHP� D[LV� DW� ZKLFK� WKH� LRQV FDQ� VWLOO� SDVV� WKURXJK� WKH� DQRGH� ZLWKRXW FRQWDFW�ZLWK�WKH�ZDOOV��LQFUHDVHV�ZLWK�JURZ� LQJ�PDJQHWLF�ILHOG�LQWHQVLW\��7KH�DPRXQW�RI VXFK� LRQV� LQFUHDVHV� ZLWK� VWUHQJWKHQLQJ� RI PDJQHWLF� ILHOG� DQG� DYHUDJH� HQHUJ\� RI� WKH GLUHFWHG� PRYHPHQW� RI� LRQV� GHFUHDVHV� ZLWK LQFUHDVH�RI�D��VLQFH�( BB L�a�FRV�D�$W�WKH�VDPH�WLPH��WKH�DYHUDJH�HQHUJ\�RI LRQV� ULVHV� PRQRWRQRXVO\� ZLWK� LQFUHDVH� LQ GLVWDQFH��XS�WR����°P��IURP�WKH�RXWSXW�EXWW IDFH� RI� WKH� VRXUFH� �)LJ����� EHFDXVH� OHVV�DQG OHVV� RI� LRQV�� IRU� ZKLFK� WKH� DQJOH� D� GLIIHUV HVVHQWLDOO\� IURP� ]HUR�� DQG� ORQJLWXGLQDO PRYHPHQW� HQHUJ\� IURP� LWV� PD[LPDO� YDOXH� DUH� UHPDLQLQJ� DW� WKH� D[LV� RI� WKH� SODVPD VWUHDP� ZLWK� LQFUHDVLQJ� GLVWDQFH� IURP� WKH VRXUFH��7KH� LRQ� FXUUHQW� GHQVLW\� DW� WKH� V\V� WHP� D[LV� GHFUHDVHV� H[SRQHQWLDOO\� ZLWK� GLV� WDQFH� IURP� WKH� VRXUFH� H[LW�� IURP ���Pk�°P��DW�]� ���°P�GRZQ�WR���Pk�°P� DW�]� ����°P��7KH�VWHHS�ORZHULQJ�RI�WKH�LRQ FXUUHQW� GHQVLW\� ZLWK� GLVWDQFH� IURP� WKH VRXUFH�H[LW�LV�H[SODLQDEOH�E\�WKH�GLYHUJHQFH RI� SODVPD� VWUHDP�� ZKHUH� WKH� HOHFWURQ� FRP� SRQHQW� LV� �ULJLGO\� DGKHUHG�� WR� D� EXQFK� RI PDJQHWLF� OLQHV� >�@� ZKLFK� TXLFNO\� GLYHUJH RXWVLGH�RI�WKH�DQRGH� 7KH� PHDVXUHPHQWV� KDYH� VKRZQ� WKDW� WKH LRQ� FRPSRQHQW� RI� WKH� FDUERQ�SODVPD�JHQHU� DWHG� E\� WKH� LQYHVWLJDWHG� VRXUFH�� FRPSULVHV ��� �� RI� VLQJO\�FKDUJHG� LRQV� DQG� �� �� RI GRXEO\�FKDUJHG� RQHV�� 7KH� LQFUHDVHG� FRQFHQ� WUDWLRQ�RI� WKH�GRXEO\�FKDUJHG� LRQV� �DV� FRP� SDUHG� WR� WKH� SODVPD� JHQHUDWHG� E\� RWKHU VRXUFHV� >�@��� VHHPV� WR� EH� H[SODLQDEOH� E\� LQ� FUHDVHG� YROWDJH� GURS� LQ� WKH� LQWHUHOHFWURGH SODVPD� ���Ü��� 9��� 7KLV� FLUFXPVWDQFH� LQ FRPELQDWLRQ� ZLWK� PDJQHWL]DWLRQ� RI� HOHF� WURQV��WKDW�FDXVHV�WKHLU�PRYHPHQW�DORQJ�LQ� WULFDWH� WUDMHFWRULHV�� IDYRUV� LQFUHDVHG� SURE� DELOLW\�RI�DGGLWLRQDO�LRQL]DWLRQ�RI�WKH�VLQJOH� FKDUJHG� LRQV� &�� ZLWK� IRUPDWLRQ� RI GRXEO\�FKDUJHG� LRQV� &��� DFFRUGLQJ� WR� WKH VFKHPH &����Ë�o�&������Ë� )LJ����VKRZV�WKH�LRQ�FXUUHQW�GHQVLW\�GLV� WULEXWLRQV�DFURVV�WKH�RXWSXW�SODVPD�VWUHDP� 7KH� FRQGHQVDWH�GHSRVLWLRQ� UDWH� DW� WKH� VDPH WLPH� LV� DERXW� ��� PP�K� ZLWKLQ� D� VSRW� RI DERXW� ��� FP� LQ� GLDPHWHU�� �)RU� FRPSDULVRQ� WKH�UDGLDO�GLVWULEXWLRQ�FXUYH�RI�WKH�LRQ�FXU� UHQW�GHQVLW\�DW�WKH�H[LW�RI�%RHUFNHU�V�GHYLFH )LJ����� ,RQ� FXUUHQW� GHQVLW\� ���� DQG� DYHUDJH HQHUJ\� RI� LRQV� ���� GHSHQGLQJ� RQ� GLVWDQFH� �]� WR�WKH�RXWSXW�EXWW�IDFH�RI�WKH�SODVPD�VRXUFH� )LJ����� 'LVWULEXWLRQ� RI� PDJQHWLF� ILHOG� LQWHQ� VLW\� DORQJ� WKH� VRXUFH� DW� �� °P�GLVWDQFH� IURP LWV�D[HV��FDOFXODWLRQ��IRU�DQ�DVFHQGLQJ�,L���+I�����DQG�IRU�GHVFHQGLQJ�RQH����� ,�,�$NVHQRY��'�6�$NV\RQRY���9DFXXP�DUF�SODVPD���� )XQFWLRQDO�PDWHULDOV������������� ��� >�@� ZLWK� D� FRSSHU� FDWKRGH� LV� VKRZQ� LQ� WKH VDPH� )LJXUH��� 7KH� GDWD� FLWHG� LOOXVWUDWH� D KLJK� GLVWULEXWLRQ� KRPRJHQHLW\� RI� ERWK� -LDQG� 9� DFURVV� WKH� SODVPD� VWUHDP�� 7KH� RE� WDLQHG� FDUERQ� ILOPV� DUH� FKDUDFWHUL]HG� E\ KLJK� PLFURKDUGQHVV� �)LJ����� WKRXJK� WKH\ \LHOG� LQ� WKLV� SDUDPHWHU� WR� WKH� ILOPV� GHSRV� LWHG� XVLQJ� SODVPD� VRXUFHV� ZLWK� WUDGLWLRQDO �WRURLGDO��ILOWHU�>��@� 'XULQJ� H[SHULPHQWV�� D� VWURQJ� LQKRPR� JHQHLW\� RI� FDWKRGH� HURVLRQ� ZDV� REVHUYHG ZKHQ� LW�ZDV�PDGH�RI�JUDSKLWH��7KLV� LV� FRQ� QHFWHG�� ILUVW� RI� DOO�� ZLWK� ORZ� &6� WUDYHOLQJ VSHHG�RYHU�WKH�VXUIDFH�RI�VXFK�FDWKRGH��WKH WLPH� EHWZHHQ� WZR� VSRQWDQHRXV� GHFD\V� WKXV EHFRPHV� FRPPHQVXUDEOH� ZLWK� WKH� VSRW� GH� WRXU� WLPH� DURXQG� WKH� FDWKRGH��$V� D� UHVXOW� GXULQJ� D� VLJQLILFDQW� SDUW� RI� WRWDO� RI� DUF EXUQLQJ� WLPH�� WKH�&6� LV� LQ� WKH�DUHD�DGMRLQ� LQJ� WR� WKH� WULJJHULQJ�]RQH�ZKHUH� WKH�PD[L� PDO� �EXUQLQJ� RXW�� RI� WKH� FDWKRGH� RFFXUV� 7KH� HURVLRQ� LQKRPRJHQHLW\�� LQ� WXUQ�� LV� D IDFWRU� GHILQLQJ� GHFUHDVHG� XVHIXO� XWLOL]DWLRQ FRHIILFLHQW� RI� WKH� FDWKRGH� PDWHULDO�� :LWK UHJDUG�WR�DOO�WKH�VDLG��LW�VHHPV�WR�EH�H[SHGL� HQW�WR�FRQWLQXH�WKH�LPSURYHPHQW�RI�WKH�FRQ� VLGHUHG�SODVPD�VRXUFH�WR�LQFUHDVH�DUF�VWDELO� LW\�DQG�XVHIXO�XWLOL]DWLRQ�IDFWRU�RI�WKH�FDWK� RGH�PDWHULDO� 7R� FRQFOXGH�� WKH� VWXGLHG� VRXUFH� LV� FKDU� DFWHUL]HG�E\�D�KLJK�HIILFLHQF\�IDFWRU� �DERXW �������DQG�KRPRJHQHRXV�GLVWULEXWLRQ�RI�LRQ FXUUHQW� GHQVLW\� DFURVV� WKH� RXWSXW� SODVPD VWUHDP�RI�XS�WR����FP�GLDPHWHU��7KH�VRXUFH SURYLGHV� GHSRVLWLRQ� RI� VXSHUKDUG� FDUERQ FRDWLQJV� ZLWK� KRPRJHQHRXV� GLVWULEXWLRQ� RI WKLFNQHVV� LQ� WKH� FRQGHQVDWLRQ� VSRW� RI� WKH VDPH� GLDPHWHU�� 7KXV�� WKH�PDLQ� SDUDPHWHUV RI�WKH�VRXUFH�FRUUHVSRQG�WR�WKH�EHVW�PRGHUQ OHYHO��DQG�WKH�QRYHO�GHYLFH�VXUSDVVHV� LQ�GH� VLJQ� VLPSOLFLW\� WKH� FRQYHQWLRQDO� SODVPD VRXUFHV� RI� VLPLODU� GHVWLQDWLRQ�� 7KH� FDWKRGH HURVLRQ�LQKRPRJHQHLW\��LQ�FDVH�RI�D�JUDSKLWH FDWKRGH�� LV� D� GLVDGYDQWDJH� RI� WKH� QHZ SODVPD� VRXUFH��7KH� IXUWKHU� RSWLPL]DWLRQ�RI D� VRXUFH� LV� H[SHGLHQW� WR� LQFUHDVH� WKH� DUF VWDELOLW\� DQG� LQFUHDVH� LQ� XVHIXO� XWLOL]DWLRQ IDFWRU�RI�WKH�FDWKRGH�PDWHULDO� 7HFKQLFDO� SUHSDUDWLRQ� RI� WKH� HTXLSPHQW IRU�H[SHULPHQWV�DQG�FRQGXFWLQJ�RI�DOO�PHDV� XUHPHQWV� ZHUH� FDUULHG� RXW� ZLWK� SDUWLFLSD� WLRQ�RI�9�*�%UHQ±� 5HIHUHQFHV � ���,�,�$NVHQRY�� 9DFXXP� $UF� LQ� (URVLRQ� 3ODVPD 6RXUFHV��.KDUNRY��16&�.,37��������>LQ�5XVVLDQ@� � ���'�6�$NV\RQRY�� ,�,�$NVHQRY�� 9�(�6WUHOQLWVN\� 9$17��6HU��3K\VLFV�RI�5DGLDWLRQ�'DPDJH�DQG 5DGLDWLRQ� 0DWHULDOV� 6FLHQFH�� 1R�������� ��� ������� � ���'�%�%RHUFNHU�� 6�)DODEHOOD�� '�6DQGHUV�� 6XUI� &RDW��7HFKQRO������������������ � ���,�,�$NVHQRY�� 9�*�%UHQ±�� 8665� $XWK�� &HUW� �������������� � ���,�,�$NVHQRY�� 9�$�%HORXV�� 3ULERU\� 7HNKQ��(N� VSHU���1R��������������� � ���,�,�$NVHQRY�� 9�*�%UHQ±�� 9�*�3DGDOND� HW� DO�� 8665�$XWK��&HUW���������� � ���,�0�3RGJRUQ\��9�,�6XPDURNRY��=K��7HNKQ��)L]�� ��������������� � ���9�0�/XQHY�� 9�*�3DGDOND�� 9�0�.KRURVKLNK� 3ULERU\�7HNKQ��(NVS���1R��������������� � ���9�(�6WUHOQLWVN\�� ,�,�$NVHQRY�� 'LDPRQG�/LNH &DUERQ�)LOPV��.KDUNRY�� ,33�.RQWUDVW� ������ >LQ�5XVVLDQ@� ����,�,�$NVHQRY�� 6�,�9DNXOD�� 9�*�3DGDOND� HW� DO�� =K��7HNKQ��)L]������������������� )LJ����� 0LFURKDUGQHVV� RI� FDUERQ� FRQGHQVDWH �sP�� DV� D� IXQFWLRQ� RI� +)� DPSOLWXGH� �8I�� RISRWHQWLDO�DW�WKH�VXEVWUDWH� )LJ����� 'LVWULEXWLRQ� RI� LRQ� FXUUHQW� GHQVLW\ DFURVV�WKH�RXWSXW�SODVPD�VWUHDP��[��GLVWDQFH IURP�WKH�VWUHDP�V\PPHWU\�D[LV��]� ���°P� ,�,�$NVHQRY��'�6�$NV\RQRY���9DFXXP�DUF�SODVPD���� ��� )XQFWLRQDO�PDWHULDOV������������� {È}��äÓº����ºmË��Î˯Ëãº�¹ãÈÏäÒ�Ï�¹¯«äºãLÓL®ÓÒäÁLã �¯ºä��ã«�º°È�ÎËÓÓ«�Á�Ó}�LºÓÈã ÓÒ²�¹º}¯Ò��Lm ,�,�k}° ºÓºm��i�v�k}° ºÓºm |¹Ò°ÈÓº� ­��ºm�� �È� ¹¯ÒÓ�Ò¹� �L�� mÈ}��äÓº����ºmº�º� �Î˯ËãÈ� ÁLã �¯ºmÈÓº�� ˯ºÏL®Óº� ¹ãÈÏäÒ��|�Ò�ËÓÓ«�¹ãÈÏäÒ�mL��äÈ}¯º�Ȱ�ÒÓº}�Ï�L®°Ó ¼� °«�¹Ë¯Ë�mº¯ËÓÓ«ä�¯È�LÈã ÓÒ² ¹º�º}Lm�¹ãÈÏäÒ���º�ËäL�� � °«�}È�º�ÓÒäÒ�¹ã«äÈäÒ����Ò�ÓÈ�­º}ºmL®�¹ºm˯²ÓL��ÒãLÓ�� ¯Ò�Óº�º� }È�º�È�� m� È}°LÈã ÓÒ®� ¹º�L}� ÏÈ� �º¹ºäº�º � �º�Óº¹¯º­}ºmº�º�� äÈ�ÓL�Óº�º� ¹ºã«� zºËÁL�L¼Ó�� ËÁË}�ÒmÓº°�L��Î˯ËãÈ� °�ÈÓºmÒ� � ­ãÒÏ }º��������{Ò²L�ÓÒ®�¹º�L}�¹ãÈÏäÒ�m º¹�ÒäÈã ÓÒ²��äºmȲ�²È¯È}�˯ÒÏ�¼� °«�mÒ°º}º �¯LmÓºäL¯ÓL°� �¯ºÏ¹º�Lã����°�ÒÓÒ�LºÓÓº� }ºä¹ºÓËÓ�Ò�ÏÈ�¹Ë¯Ë¯LϺä�¹º�º}���LÈäË�¯ºä�­ãÒÏ }º����°ä��bmÒ�}L°� �ϯº°�ÈÓÓ«��ºm�Ò� ÓÒ�¹º}¯Ò��«���¹ã«äL��º�º�Î��LÈäË�¯È�°«�ȼ����ä}ä���¹¯Ò�äL}¯º�m˯�º°�L�}ºÓ�ËÓ°È�È��º ������È� ,�,�$NVHQRY��'�6�$NV\RQRY���9DFXXP�DUF�SODVPD���� )XQFWLRQDO�PDWHULDOV������������� ���
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-135355
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1027-5495
language English
last_indexed 2025-12-07T18:59:39Z
publishDate 2008
publisher НТК «Інститут монокристалів» НАН України
record_format dspace
spelling Aksenov, I.I.
Aksyonov, D.S.
2018-06-15T05:31:32Z
2018-06-15T05:31:32Z
2008
Vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings // I.I. Aksenov, D.S. Aksyonov // Functional Materials. — 2008. — Т. 15, № 3. — С. 442-447. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.
1027-5495
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/135355
Design and operation principle of a novel vacuum-arc source of filtered erosive plasma are described. The macroparticles are removed from the plasma by transformation of radial plasma streams emitted by the cathode spot of the arc on the side surface of cylindrical cathode, into axial stream by means of "single bottle neck" magnetic field. The efficiency factor of the source is about 3.5 %. The output plasma stream generated by the source in optimum conditions is characterized by highly homogeneous distribution of the ion component density over the stream cross-section about 12 cm in diameter. The growth rate of a carbon coating in a spot of the same diameter attains 35 μm/h at the condensate microhardness up to 150 GPa.
Описано будову та принцип дії вакуумно-дугового джерела фільтрованої ерозійної плазми. Очищення плазми від макрочастинок здійснюється перетворенням радіальних потоків плазми, що емітуються катодними плямами дуги на боковій поверхні циліндричного катода, в аксіальний потік за допомогою "однопробкового" магнітного поля. Коефіцієнт ефективності джерела становить близько 3,5 %. Вихідний потік плазми в оптимальних умовах характеризується високою рівномірністю розподілу густини іонної компоненти за перерізом потоку діаметром близько 12 см. Швидкість зростання товщини покриття у плямі того ж діаметра сягає 35 мкм/г при мікротвердості конденсата до 150 ГПа.
Описаны устройство и принцип действия вакуумно-дугового источника фильтрованной эрозионной плазмы. Очистка плазмы от макрочастиц осуществляется преобразованием радиальных потоков плазмы, эмитируемых катодным пятном дуги на боковой поверхности цилиндрического катода, в аксиальный поток с помощью "однопробочного" магнитного поля. Коэффициент эффективности источника составляет около 3,5 %. Выходной поток плазмы, генерируемый источником, в оптимальных условиях характеризуется высокой равномерностью распределения плотности ионной компоненты по сечению потока диаметром около 12 см. Скорость роста углеродного покрытия в пятне того же диаметра достигает 35 мкм/ч при микротвёрдости конденсата до 150 ГПа.
en
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
Functional Materials
Technology
Vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings
Вакуумно-дугове джерело плазми з прямолінійним фільтром для осадження функціональних покриттів
Article
published earlier
spellingShingle Vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings
Aksenov, I.I.
Aksyonov, D.S.
Technology
title Vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings
title_alt Вакуумно-дугове джерело плазми з прямолінійним фільтром для осадження функціональних покриттів
title_full Vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings
title_fullStr Vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings
title_full_unstemmed Vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings
title_short Vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings
title_sort vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings
topic Technology
topic_facet Technology
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/135355
work_keys_str_mv AT aksenovii vacuumarcplasmasourcewithrectilinearfilterfordepositionoffunctionalcoatings
AT aksyonovds vacuumarcplasmasourcewithrectilinearfilterfordepositionoffunctionalcoatings
AT aksenovii vakuumnodugovedžereloplazmizprâmolíníinimfílʹtromdlâosadžennâfunkcíonalʹnihpokrittív
AT aksyonovds vakuumnodugovedžereloplazmizprâmolíníinimfílʹtromdlâosadžennâfunkcíonalʹnihpokrittív