Vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings
Design and operation principle of a novel vacuum-arc source of filtered erosive plasma are described. The macroparticles are removed from the plasma by transformation of radial plasma streams emitted by the cathode spot of the arc on the side surface of cylindrical cathode, into axial stream by mean...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Functional Materials |
|---|---|
| Дата: | 2008 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2008
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/135355 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings // I.I. Aksenov, D.S. Aksyonov // Functional Materials. — 2008. — Т. 15, № 3. — С. 442-447. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860265007938273280 |
|---|---|
| author | Aksenov, I.I. Aksyonov, D.S. |
| author_facet | Aksenov, I.I. Aksyonov, D.S. |
| citation_txt | Vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings // I.I. Aksenov, D.S. Aksyonov // Functional Materials. — 2008. — Т. 15, № 3. — С. 442-447. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Functional Materials |
| description | Design and operation principle of a novel vacuum-arc source of filtered erosive plasma are described. The macroparticles are removed from the plasma by transformation of radial plasma streams emitted by the cathode spot of the arc on the side surface of cylindrical cathode, into axial stream by means of "single bottle neck" magnetic field. The efficiency factor of the source is about 3.5 %. The output plasma stream generated by the source in optimum conditions is characterized by highly homogeneous distribution of the ion component density over the stream cross-section about 12 cm in diameter. The growth rate of a carbon coating in a spot of the same diameter attains 35 μm/h at the condensate microhardness up to 150 GPa.
Описано будову та принцип дії вакуумно-дугового джерела фільтрованої ерозійної плазми. Очищення плазми від макрочастинок здійснюється перетворенням радіальних потоків плазми, що емітуються катодними плямами дуги на боковій поверхні циліндричного катода, в аксіальний потік за допомогою "однопробкового" магнітного поля. Коефіцієнт ефективності джерела становить близько 3,5 %. Вихідний потік плазми в оптимальних умовах характеризується високою рівномірністю розподілу густини іонної компоненти за перерізом потоку діаметром близько 12 см. Швидкість зростання товщини покриття у плямі того ж діаметра сягає 35 мкм/г при мікротвердості конденсата до 150 ГПа.
Описаны устройство и принцип действия вакуумно-дугового источника фильтрованной эрозионной плазмы. Очистка плазмы от макрочастиц осуществляется преобразованием радиальных потоков плазмы, эмитируемых катодным пятном дуги на боковой поверхности цилиндрического катода, в аксиальный поток с помощью "однопробочного" магнитного поля. Коэффициент эффективности источника составляет около 3,5 %. Выходной поток плазмы, генерируемый источником, в оптимальных условиях характеризуется высокой равномерностью распределения плотности ионной компоненты по сечению потока диаметром около 12 см. Скорость роста углеродного покрытия в пятне того же диаметра достигает 35 мкм/ч при микротвёрдости конденсата до 150 ГПа.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:59:39Z |
| format | Article |
| fulltext |
9DFXXP�DUF�SODVPD�VRXUFH�ZLWK�UHFWLOLQHDUILOWHU�IRU�GHSRVLWLRQ�RI�IXQFWLRQDO�FRDWLQJV
,�,�$NVHQRY��'�6�$NV\RQRY
1DWLRQDO�6FLHQFH�&HQWHU��.KDUNLY�,QVWLWXWH�RI�3K\VLFV�DQG�7HFKQRORJ\��
.KDUNLY��8NUDLQH
5HFHLYHG�0DUFK���������
'HVLJQ�DQG�RSHUDWLRQ�SULQFLSOH�RI�D�QRYHO�YDFXXP�DUF�VRXUFH�RI�ILOWHUHG�HURVLYH�SODVPD
DUH� GHVFULEHG�� 7KH� PDFURSDUWLFOHV� DUH� UHPRYHG� IURP� WKH� SODVPD� E\� WUDQVIRUPDWLRQ� RI
UDGLDO� SODVPD� VWUHDPV� HPLWWHG� E\� WKH� FDWKRGH� VSRW� RI� WKH� DUF� RQ� WKH� VLGH� VXUIDFH� RI
F\OLQGULFDO�FDWKRGH��LQWR�D[LDO�VWUHDP�E\�PHDQV�RI��VLQJOH�ERWWOH�QHFN��PDJQHWLF�ILHOG��7KH
HIILFLHQF\�IDFWRU�RI�WKH�VRXUFH�LV�DERXW��������7KH�RXWSXW�SODVPD�VWUHDP�JHQHUDWHG�E\�WKH
VRXUFH�LQ�RSWLPXP�FRQGLWLRQV�LV�FKDUDFWHUL]HG�E\�KLJKO\�KRPRJHQHRXV�GLVWULEXWLRQ�RI�WKH
LRQ�FRPSRQHQW�GHQVLW\�RYHU�WKH�VWUHDP�FURVV�VHFWLRQ�DERXW����FP�LQ�GLDPHWHU��7KH�JURZWK
UDWH�RI�D�FDUERQ�FRDWLQJ�LQ�D�VSRW�RI�WKH�VDPH�GLDPHWHU�DWWDLQV����PP�K�DW�WKH�FRQGHQVDWH
PLFURKDUGQHVV�XS�WR�����*3D�
|¹Ò°ÈÓ©��°�¯º®°�mº�Ò�¹¯ÒÓ�Ò¹��Ë®°�mÒ«�mÈ}��äÓº����ºmº�º�Ò°�º�ÓÒ}È�ÁÒã �¯ºmÈÓ�
Óº®�ª¯ºÏÒºÓÓº®�¹ãÈÏä©��|�Ò°�}È�¹ãÈÏä©�º��äÈ}¯º�Ȱ�Ò��º°��˰�mã«Ë�°«�¹¯Ëº¯ÈϺmÈ�
ÓÒËä� ¯È�ÒÈã Ó©²� ¹º�º}ºm� ¹ãÈÏä©�� ªäÒ�Ò¯�Ë䩲� }È�º�Ó©ä� ¹«�Óºä� ���Ò� ÓÈ� º}ºmº®
¹ºm˯²Óº°�Ò��ÒãÒÓ�¯Ò�˰}º�º�}È�º�È��m�È}°ÒÈã Ó©®�¹º�º}�°�¹ºäº�
��º�Óº¹¯ºº�Óº�
�º��äÈ�ÓÒ�Óº�º�¹ºã«��zºªÁÁÒ�ÒËÓ��ªÁÁË}�ÒmÓº°�Ò�Ò°�º�ÓÒ}È�°º°�Èmã«Ë��º}ºãº�������
{©²º�Óº®�¹º�º}�¹ãÈÏä©���ËÓ˯ү�Ëä©®�Ò°�º�ÓÒ}ºä��m�º¹�ÒäÈã Ó©²��°ãºmÒ«²�²È¯È}�Ë�
¯ÒÏ�Ë�°«� m©°º}º®� ¯ÈmÓºä˯Ӻ°�
� ¯È°¹¯Ë�ËãËÓÒ«� ¹ãº�Óº°�Ò� ÒºÓÓº®� }ºä¹ºÓËÓ�©� ¹º
°Ë�ËÓÒ
�¹º�º}È��ÒÈäË�¯ºä�º}ºãº����°ä��v}º¯º°� �¯º°�È���ã˯º�Óº�º�¹º}¯©�Ò«�m�¹«�ÓË
�º�º�ÎË��ÒÈäË�¯È��º°�Ò�ÈË�����ä}ä���¹¯Ò�äÒ}¯º�m£¯�º°�Ò�}ºÓ�ËÓ°È�È��º�������È�
'XULQJ� WKH� GHYHORSPHQW� RI� LRQLF�SODVPD
WHFKQRORJLHV�� WKH� YDFXXP�DUF� PHWKRGV� RI
FRDWLQJ� GHSRVLWLRQ� DQG� PDWHULDO� VXUIDFH
PRGLILFDWLRQ�JDLQ�LQFUHDVLQJO\�ZLGH�UHFRJQL�
WLRQ�� 7KLV� LV� GXH� VXEVWDQWLDOO\� WR� VXFFHVVHV
LQ�GHYHORSPHQW�RI�PHDQV�WR�IRUP�SXUH�YDF�
XXP�DUF�HURVLYH�SODVPD�>�@��7KH�SUHVHQFH�RI
WKH� FDWKRGH� PDWHULDO� PDFUR�VFDOH� SDUWLFOHV
�l3V�� LQ� SODVPD� KLQGHUHG� IRU� D� ORQJ� WLPH
WKH�XVH� RI�XQLTXH�SRWHQWLDOLWLHV� RI� WKH�YDF�
XXP�DUF�PHWKRGV� LQ� WKH� ILHOG� RI�KLJK� WHFK�
QRORJLHV�� 7RGD\�� WKH� PRVW� HIIHFWLYH� PHDQV
WR� VROYH� WKH� 03V� SUREOHP� LV� SURYLGHG� E\
PDJQHWLF� ILOWHUV�� ([SHUWV� RI�PDQ\� UHVHDUFK
FHQWHUV� DOO� RYHU� WKH� ZRUOG� DUH� LQYROYHG� LQ
GHYHORSPHQW� DQG� LPSURYHPHQW� RI� VXFK� ILO�
WHUV� >�@��%RWK� LQ� ODERUDWRULHV� DQG� LQ� LQGXV�
WU\��WKH�ILOWHUV�ZLWK�FXUYLOLQHDU�SODVPD�GXFW
DUH� XVHG� PRVW� RIWHQ�� +RZHYHU�� D� UHODWLYH
FRPSOH[LW\�� XQKDQGLQHVV�� DQG� ORZ� SURGXF�
WLYLW\�RI�WKH�FXUYLOLQHDU�ILOWHUV�KLQGHU�WKHLU
ODUJH�VFDOH�FRPPHUFLDOL]DWLRQ��6R�FDOOHG�UHF�
WLOLQHDU� ILOWHUV� DV� PRUH� VLPSOH� DQG�� KHQFH�
FKHDSHU��FRXOG�EH�DQ�DOWHUQDWLYH�IRU�WKH�FXU�
YLOLQHDU� ILOWHUV� WKRXJK� WKH\� DUH� D� OLWWOH� ELW
FRQFHGLQJ� LQ�TXDOLW\�RI� FOHDQLQJ�RI�SODVPD�
%RHUFNHU�� )DODEHOOD� DQG� 6DQGHUV� ZKR� KDYH
GHYHORSHG� D� SODVPD� VRXUFH� ZLWK� �GRPH�
VKDSHG��V\VWHP�RI�FRLOV�>�@�KDYH�DWWDLQHG�DQ
DSSUHFLDEOH� LQFUHDVH� LQ� ILOWHULQJ� HIILFLHQF\
RI� WKH�UHFWLOLQHDU� ILOWHU��+RZHYHU�� WKHLU�GH�
YLFH� LV� FRPSOH[� HQRXJK� LQ� GHVLJQ�� DQG� WKH
GHQVLW\�GLVWULEXWLRQ�RI�WKH�LRQ�FRPSRQHQW�LQ
WKH� SODVPD� VWUHDP� DW� WKH� VRXUFH� RXWSXW� LV
VWURQJO\� LQKRPRJHQHRXV�� $� PRUH� VLPSOH
DQDORJXH�RI�WKH�GRPH�VKDSHG�SODVPD�VRXUFH
ZDV�SURSRVHG�EHIRUH�>�@��'DWD�RQ�LWV�FKDUDF�
WHULVWLFV�ZHUH�QRW�SXEOLVKHG�XQWLO�QRZ��7KH
PDLQ�SHUIRUPDQFH�FKDUDFWHULVWLFV�RI�WKH�QHZ
VRXUFH�DUH�VWXGLHG�LQ�WKLV�ZRUN�
)XQFWLRQDO�0DWHULDOV�����1R��������� ��������,QVWLWXWH�IRU�6LQJOH�&U\VWDOV
��� )XQFWLRQDO�PDWHULDOV�������������
7KH� VFKHPDWLF� RXWOLQH� RI� WKH� SODVPD
VRXUFH�EHLQJ�VWXGLHG�LV�VKRZQ�LQ�)LJ�����7KH
VRXUFH� FRQWDLQV� D� FRQVXPDEOH� F\OLQGULFDO
FDWKRGH� �� RI� WKH� SODVPD�IRUPLQJ� PDWHULDO
DQG� D� KROORZ� F\OLQGULFDO� DQRGH� �� PDGH� RI
QRQ�PDJQHWLF� VWDLQOHVV� VWHHO�� 7KH� FDWKRGH
GLDPHWHU� GF� LV� ��� PP�� ZLWK� WKH� ZRUNLQJSDUW� OHQJWK� OF� RI����PP��7KH�DQRGH�GLDPH�WHU� GD� DQG� WKH� OHQJWK� RI� LWV� ZRUNLQJ� �FXU�UHQW�FROOHFWLQJ�� SDUW� OD� DUH� ���� DQG
����PP��UHVSHFWLYHO\��7KH�FDWKRGH�EXWW�IDFH
WXUQHG� WR� WKH� VRXUFH� RXWSXW� LV� FORVHG� E\� D
PRO\EGHQXP�VKLHOG���VKDSHG�DV�D�GLVN�RI�GV �����PP�LQ�GLDPHWHU��,WV�HGJHV�IRUP�DQ�K
���� PP� ULQJ� OHGJH� RYHU� WKH� FDWKRGH� VLGH
VXUIDFH��7KH� VSHFLILHG� VL]HV� RI� WKH� FDWKRGH�
WKH�DQRGH�DQG�WKH�VKLHOG�SURYLGH�LPSOHPHQ�
WDWLRQ�RI�WKH�FRQGLWLRQ
K� ��GD���G°��e���t��GD���G°�O°�e��OD�
DW� ZKLFK� WKHUH� LV� QR� GLUHFW� OLQH� RI� VLJKW
EHWZHHQ� WKH� RXWSXW� DQRGH� DSHUWXUH� DQG� WKH
FDWKRGH�ZRUNLQJ�VXUIDFH��7KLV�� LQ�WXUQ��H[�
FOXGHV�WKH�GLUHFW�KLW�RI�WKH�l3V�HPLWWHG�E\
FDWKRGH� VSRW� �&6�� LQWR� WKH� VRXUFH� RXWSXW
DSHUWXUH��7KH�EDFN�EXWW�IDFH�RI�WKH�FDWKRGH
DQG�ZDOOV�RI�WKH�DQRGH�DUH�ZDWHU�FRROHG��QRW
VKRZQ��� 0DJQHWLF� FRLOV� ���� ��� DQG� ��� ZLWK
DGMXVWDEOH� QXPEHUV� RI� DPSHUH�WXUQV� DUH
SODFHG� RQ� WKH� DQRGH�� SURYLGLQJ� PDJQHWLF
ILHOGV� RQ� WKHLU� D[HV� XS� WR� ����� ��� DQG
���� 2H�� UHVSHFWLYHO\�� 7KH� FDWKRGH� VSRW� RI
WKH� DUF� GLVFKDUJH� LV� WULJJHUHG� RQ� WKH� FDWK�
RGH� VLGH� VXUIDFH� E\� WKH� WULJJHULQJ� GHYLFH��
GHVFULEHG� HOVHZKHUH� >�@�� 1HDU� WKH� FDWKRGH
EDFN�EXWW� WKH� IHUURPDJQHWLF� FRQFHQWUDWRU��
LV� SODFHG� WKDW� VWUHQJWKHQV� WKH� PDJQHWLF
ILHOG� ZKLFK� LV� SXVKLQJ� RXW� WKH� &6� WRZDUGV
WKH� FDWKRGH� ZRUNLQJ� VXUIDFH�� $URXQG� WKH
FDWKRGH�ZRUNLQJ�VXUIDFH��WKH�IHUURPDJQHWLF
ULQJ� ��� LV� IL[HG� WR� WKH� DQRGH� ZDOOV�� 7KH
HOHPHQWV� �� DQG� ��� DUH� PDGH� RI� IHUURPDJ�
QHWLF�VWHHO�
7KH� FXUUHQWV� LQ� FRLOV� RI� WKH� SODVPD
VRXUFH� JHQHUDWH� D� PDJQHWLF� ILHOG� WKHUHLQ
WKDW� LV� VWURQJHU� DW� WKH� FDWKRGH� EDFN� EXWW
IDFH� �PDJQHWLF� OLQHV� DUH� FRQYHUJHQW��� DQG
ZHDNHU� LQ� WKH� DQRGH� FDYLW\� �)LJ������ )URP
KHUH�RQ��VXFK�PDJQHWLF�ILHOG�ZLOO�EH�UHIHUUHG
WR� DV�D��VLQJOH�ERWWOH�QHFN��PDJQHWLF� ILHOG�
$V�D�ZKROH�� WKH�PDJQHWLF� ILHOG�GLVWULEXWLRQ
JHRPHWU\� LV� VLPLODU� WR� WKDW� LQ� WKH� GRPH�
VKDSHG�VRXUFH�>�@�
)LJ����� ([SHULPHQWDO� SODVPD� VRXUFH����� FDWK�
RGH�� ��� DQRGH�� ��� VKLHOG�� ��� FDWKRGH� FRLO�� �
DQG� ��� DQRGH� FRLOV�� ��� WULJJHU�� ��� FDWKRGH
VKLHOG����DQG�����PDJQHWLF�FRQFHQWUDWRUV�����
EDIIOHV������FROOHFWRU�VXEVWUDWH�
)LJ�����0DJQHWLF�ILHOGV�LQ�SUHVHQFH�RI�FRQFHQWUDWRUV���DQG����DQG�FRXQWHU�HQHUJL]HG�FRLO����D���WKH
VDPH�LQ�DEVHQFH�RI�FRQFHQWUDWRUV�DQG�FRQFRUGDQW�HQHUJL]DWLRQ�RI�DOO�FRLOV��E��
,�,�$NVHQRY��'�6�$NV\RQRY���9DFXXP�DUF�SODVPD����
)XQFWLRQDO�PDWHULDOV������������� ���
:KHQ� D� VWDUWLQJ� SXOVH� LV� DSSOLHG� WR� WKH
WULJJHULQJ�XQLW��DQ�DUF�GLVFKDUJH�DSSHDUV�LQ
WKH�JDS�EHWZHHQ�WKH�FDWKRGH�DQG�WKH�DQRGH�
$Q� HOHFWURQLF� FRQWURO� V\VWHP� �QRW� VKRZQ�
SURYLGHV�DXWRPDWLF�VXEPLVVLRQ�RI�WKH�VWDUW�
LQJ� SXOVH� DIWHU� DQ\� VSRQWDQHRXV� GHFD\� RI
WKH�DUF��8QGHU�DFWLRQ�RI�WKH�PDJQHWLF�ILHOG
ORQJLWXGLQDO� FRPSRQHQW�+]�� WKH� &6�PRYLQJFKDRWLFDOO\� RYHU� WKH� FDWKRGH� VXUIDFH� JHWV
DOVR�DQ�RUGHUHG�YHORFLW\�FRPSRQHQW�GLUHFWHG
DFURVV� WKH� PDJQHWLF� ILHOG� LQ� �DQWL�DPSHUH�
GLUHFWLRQ� �WKH� NQRZQ� SKHQRPHQRQ� RI� &6
�UHWURJUDGH�� PRYHPHQWV� LQ� YDFXXP��� DQG
PRYHV�DURXQG�WKH�FDWKRGH�D[LV��$W�WKH�VDPH
WLPH�� XQGHU� DFWLRQ� RI� D� PDJQHWLF� ILHOG� LQ�
FOLQHG� WR� WKH� HOHFWURGH� VXUIDFH�� WKH� VSRW�
DFFRUGLQJ� WR� WKH� NQRZQ� �UXOH� RI� DQ� DFXWH
DQJOH���GULIWV�WRZDUGV�WKH�IUHH�FDWKRGH�EXWW
IDFH��ZLWK�WKH�VKLHOG�����DQG�XQGHU�DFWLRQ�RI
LWV�RZQ�PDJQHWLF�ILHOG��LW�LV�GLVSODFHG�LQ�WKH
RSSRVLWH� GLUHFWLRQ�� WRZDUGV� WKH� FXUUHQW
IHHGHU��)LQDOO\��WKH�]RQH�RI�WKH�VSRW�DQQXODU
PRYHPHQW� WDNHV� D� FHUWDLQ� SRVLWLRQ� RQ� WKH
FDWKRGH�VLGH�VXUIDFH�ZKHUH�DFWLRQV�RI�H[WHU�
QDO�DQG�RZQ�PDJQHWLF�ILHOGV�DUH�FRXQWHUEDO�
DQFHG��7KH�RSWLPXP�FRQGLWLRQV�IRU�SXVKLQJ
WKH� &6� RXW� RI� LWV� LQLWLDWLRQ� ]RQH� RQWR� WKH
FDWKRGH� ZRUNLQJ� VXUIDFH� DUH� SURYLGHG� E\
FRXQWHU�HQHUJL]LQJ�RI�WKH�FRLO���DQG�DOVR�E\
PDJQHWLF�FRQFHQWUDWRUV���DQG���� >�@��7KXV�
D�PDJQHWLF�ILHOG�LV�IRUPHG�LQ�WKH�WULJJHULQJ
]RQH� �)LJ���D�� ZLWK� WKH� OLQHV� LQFOLQHG� RSWL�
PDOO\�IRU��SXVKLQJ�RXW��WKH�&6�DV�FRPSDUHG
WR� WKH�FDVH�ZKHUH�WKH�FRQFHQWUDWRUV�DUH�DE�
VHQW� DQG� DW� FRQFRUGDQW� HQHUJL]LQJ� RI� DOO
FRLOV��)LJ���E���7KH�&6�WUDYHO�RQWR�WKH�FDWK�
RGH� EXWW� IDFH� LV� SUHYHQWHG� E\� WKH� VKLHOG� ��
ZKHQ� WKH� VSRW� FRPHV�RQWR� WKH�VKLHOG� OHGJH�
LW� LV� UHWXUQHG� EDFN� RQWR� WKH� FDWKRGH� F\OLQ�
GULFDO� VXUIDFH� E\� DFWLRQ� RI� RZQ� PDJQHWLF
ILHOG� �WRZDUGV� WKH� FXUUHQW� IHHGHU��� 7KXV�
DUHD�RI�VWDEOH�&6�H[LVWHQFH�LV�WKH�SDUW�RI�WKH
FDWKRGH�VLGH�VXUIDFH�EHWZHHQ�WKH�WULJJHULQJ
GHYLFH�DQG�WKH�VKLHOG����%HLQJ�LQ�WKLV�DUHD�
WKH� &6� JHQHUDWHV� D� SODVPD� VWUHDP� PRYLQJ
WRZDUGV� WKH� DQRGH� �DORQJ� WKH� UDGLXV��� 7KH
PDJQHWLF� ILHOG� WXUQV� WKH� VWUHDP� E\� ���� WR�
ZDUGV� WKH� RXWSXW� EXWW� IDFH� RI� WKH� DQRGH�
�7KH� PHFKDQLVP� RI� D� PDJQHWLF� ILHOG� LQIOX�
HQFH� RQ� SDUWLDOO\� PDJQHWL]HG� SODVPD� LQ� D
YDFXXP�DUF�LV�GHVFULEHG�HOVHZKHUH��VHH��H�J��
>�@��� 7KXV�� LRQV� DQG� HOHFWURQV� DUH� DUULYLQJ
WR� WKH� VRXUFH� RXWSXW�� ZKLOH� KHDY\� ORZ�
FKDUJHG� 03V� GR� QRW� LQWHUDFW� ZLWK� HLWKHU
PDJQHWLF�RU�HOHFWULF�ILHOGV�DQG��PRYLQJ�UHF�
WLOLQHDUO\�IURP�WKH�SODFH�RI�WKHLU�RULJLQ��KLW
WKH�DQRGH�RU�WKH�OHGJH�RI�WKH�VKLHOG����6RPH
03V��EHLQJ�LQ�VROLG�VWDWH��PD\�ULFRFKHW�DQG
WKXV�JHW� WR� WKH�H[LW�RI� WKH� VRXUFH�DQG�VXE�
VWUDWH��7UDSV�VKDSHG�DV�D�VHW�RI�WKLQ�EDIIOHV
����� DUH� XVHG� RIWHQ� WR� VXSSUHVV� UHERXQGLQJ
03V��)LJ�����
7KH� LRQ� FRPSRQHQW� ,L� RI� WKH� RXWSXWSODVPD� VWUHDP� ZDV� PHDVXUHG� XVLQJ� D� IODW
FROOHFWRU�RI�����PP�GLDPHWHU��7KH�LRQ�FXU�
UHQW�GHQVLW\�-L�GLVWULEXWLRQ�RYHU�WKH�RXWSXWSODVPD� VWUHDP�GLDPHWHU� DQG� DORQJ� WKH� V\V�
WHP�D[LV�ZDV�GHWHUPLQHG�XVLQJ�D�IODW�SUREH
RI���FP�� DUHD�PRYDEOH� DORQJ� [� �DFURVV� WKH
VWUHDP�� DQG� ]� D[HV�� 7KH� DYHUDJH� HQHUJ\� RI
LRQV� ZDV� PHDVXUHG� E\� D� PXOWLJULG� HOHFWUR�
VWDWLF�SUREH�>�@��7KH�UHODWLYH�FRQWHQW�RI�LRQV
ZLWK� YDULRXV� FKDUJHV� LQ� SODVPD� ZDV� GHWHU�
PLQHG� XVLQJ� WKH� WHFKQLTXH� GHVFULEHG� HOVH�
ZKHUH�>�@��*UDSKLWH�ZDV�XVHG�DV�WKH�FDWKRGH
PDWHULDO�� 3UHOLPLQDU\� H[SHULPHQWV� RQ� RSWL�
PL]DWLRQ� RI� WKH� VRXUFH� GHVLJQ�ZHUH� FDUULHG
RXW� ZLWK� D� WLWDQLXP� FDWKRGH� EHFDXVH� WKLV
PDWHULDO� SURYLGHV� PRUH� VWDEOH� DUF� EXUQLQJ
RI�WKDQ�JUDSKLWH�
7KH� PHDVXUHG� YDOXHV� RI� WKH� RXWSXW� LRQ
FXUUHQW� ,L�� WKH� DUF� YROWDJH�8D� DQG� DYHUDJHHQHUJ\�RI� WKH�GLUHFWHG�PRYHPHQW� RI� FDUERQ
LRQV�(
BB
L�GHSHQGLQJ�RQ�PDJQHWLF�ILHOG�+I�JHQ�HUDWHG� DW� WKH� V\VWHP�D[LV� E\� WKH� FRLO��� DUH
SUHVHQWHG� LQ� )LJ����� 7KH�PDJQHWLF� ILHOG� LQ�
WHQVLW\� LQ� WKH� FHQWHU� RI� FRLO���ZDV�����2H�
WKH�DUF�FXUUHQW�,D�ZDV�VXSSRUWHG�DW�����$�7KH�GHSHQGHQFH�RI�,L�RQ�+I�KDV�D�PD[LPXPLQ� WKH� ����� 2H� UDQJH�� ,Q� RSWLPXP� FRQGL�
WLRQV�� WKH� RXWSXW� LRQ� FXUUHQW� LV� DERXW
����$��WKDW�FRUUHVSRQGV�WR�HIILFLHQF\�IDFWRU
RI� WKH� VRXUFH� K� �,L�,D� ����� ��� 7KH� LQ�
FUHDVH� LQ� WKH� RXWSXW� LRQ� FXUUHQW� DFFRUGLQJ
WR�WKH�OHIW�SDUW�RI�FXUYH�,L�+I��LV�FDXVHG�E\GHFUHDVLQJ� OHYHO� RI� WKH� ORVVHV� FDXVHG� E\
SODVPD� GLIIXVLRQ� DFURVV� WKH� JURZLQJ� PDJ�
QHWLF�ILHOG�KDYLQJ�D��VLQJOH�ERWWOH�QHFN��JH�
RPHWU\� �FXUYH��� LQ�)LJ������7KH� FXUUHQW� UH�
)LJ����� 2XWSXW� LRQ� FXUUHQW� �,L��� DUF� YROWDJH�8D���DQG�DYHUDJH�HQHUJ\�RI�LRQV��(
BB
L��GHSHQGLQJRQ�D�IRFXVLQJ�ILHOG�LQ�WKH�DQRGH��+I���]� ���°P�
,�,�$NVHQRY��'�6�$NV\RQRY���9DFXXP�DUF�SODVPD����
��� )XQFWLRQDO�PDWHULDOV�������������
GXFWLRQ� DIWHU� WKH� PD[LPXP� VHHPV� WR� EH
FDXVHG� E\� SDUWLDO� UHIOHFWLRQ� RI� WKH� VWUHDP
IURP� WKH� PDJQHWLF� PLUURU� IRUPHG� LQ� IURQW
RI�WKH�FDWKRGH�DW�D�IXUWKHU�VWUHQJWKHQLQJ�RI
PDJQHWLF� ILHOG� �FXUYH� �� LQ� )LJ������ ,Q� WKH
VRXUFH� XQGHU� VWXG\�� DV� ZHOO� DV� LQ� RWKHU
SODVPD� JHQHUDWRUV� ZLWK� PDJQHWLF� IRFXVLQJ�
WKH�DUF�YROWDJH�ULVHV�ZLWK�+I�LQFUHDVH��ZLWKWKH� RQO\� GLIIHUHQFH� WKDW� WKLV� ULVH� RFFXUV
ZLWK� VRPH� VORZLQJ� GRZQ�� 6XFK� D� FKDUDFWHU
RI�8D�+I��GHSHQGHQFH�LV�FDXVHG�E\�SUHVHQFH�RI]RQH�ZLWK�D�PLQLPXP�RI�D�PDJQHWLF�ILHOG� LQ
WKH� DUHD� RI� FXUUHQW� WUDQVIHU� �)LJV���� DQG� ���
)RUPDWLRQ� RI� WKLV� PLQLPXP� LV� UHDOL]HG� E\
PHDQV� RI� IHUURPDJQHWLF� HOHPHQWV� �� DQG� ��
DQG�RU� E\� FRXQWHU�HQHUJL]LQJ� RI� FRLO� ��� $Q
DSSUHFLDEOH�UHGXFWLRQ�RI�DYHUDJH�LRQ�HQHUJ\
DSSUR[LPDWHO\� IURP� ��� GRZQ� WR� ��� H9�ZDV
REVHUYHG� ZLWK� VWUHQJWKHQLQJ� RI� PDJQHWLF
ILHOG�IURP����XS�WR����2H��7KDW�GHSHQGHQFH
RI� (
BB
L� RQ�+I� FDQ� EH� H[SODLQHG� E\� WKH� IDFWWKDW�WKH�DQJOH�EHWZHHQ�WKH�LRQ�YHORFLW\�YHF�
WRU� DQG� WKH� V\VWHP� D[LV� DW� ZKLFK� WKH� LRQV
FDQ� VWLOO� SDVV� WKURXJK� WKH� DQRGH� ZLWKRXW
FRQWDFW�ZLWK�WKH�ZDOOV��LQFUHDVHV�ZLWK�JURZ�
LQJ�PDJQHWLF�ILHOG�LQWHQVLW\��7KH�DPRXQW�RI
VXFK� LRQV� LQFUHDVHV� ZLWK� VWUHQJWKHQLQJ� RI
PDJQHWLF� ILHOG� DQG� DYHUDJH� HQHUJ\� RI� WKH
GLUHFWHG� PRYHPHQW� RI� LRQV� GHFUHDVHV� ZLWK
LQFUHDVH�RI�D��VLQFH�(
BB
L�a�FRV�D�$W�WKH�VDPH�WLPH��WKH�DYHUDJH�HQHUJ\�RI
LRQV� ULVHV� PRQRWRQRXVO\� ZLWK� LQFUHDVH� LQ
GLVWDQFH��XS�WR����°P��IURP�WKH�RXWSXW�EXWW
IDFH� RI� WKH� VRXUFH� �)LJ����� EHFDXVH� OHVV�DQG
OHVV� RI� LRQV�� IRU� ZKLFK� WKH� DQJOH� D� GLIIHUV
HVVHQWLDOO\� IURP� ]HUR�� DQG� ORQJLWXGLQDO
PRYHPHQW� HQHUJ\� IURP� LWV� PD[LPDO� YDOXH�
DUH� UHPDLQLQJ� DW� WKH� D[LV� RI� WKH� SODVPD
VWUHDP� ZLWK� LQFUHDVLQJ� GLVWDQFH� IURP� WKH
VRXUFH��7KH� LRQ� FXUUHQW� GHQVLW\� DW� WKH� V\V�
WHP� D[LV� GHFUHDVHV� H[SRQHQWLDOO\� ZLWK� GLV�
WDQFH� IURP� WKH� VRXUFH� H[LW�� IURP
���Pk�°P��DW�]� ���°P�GRZQ�WR���Pk�°P�
DW�]� ����°P��7KH�VWHHS�ORZHULQJ�RI�WKH�LRQ
FXUUHQW� GHQVLW\� ZLWK� GLVWDQFH� IURP� WKH
VRXUFH�H[LW�LV�H[SODLQDEOH�E\�WKH�GLYHUJHQFH
RI� SODVPD� VWUHDP�� ZKHUH� WKH� HOHFWURQ� FRP�
SRQHQW� LV� �ULJLGO\� DGKHUHG�� WR� D� EXQFK� RI
PDJQHWLF� OLQHV� >�@� ZKLFK� TXLFNO\� GLYHUJH
RXWVLGH�RI�WKH�DQRGH�
7KH� PHDVXUHPHQWV� KDYH� VKRZQ� WKDW� WKH
LRQ� FRPSRQHQW� RI� WKH� FDUERQ�SODVPD�JHQHU�
DWHG� E\� WKH� LQYHVWLJDWHG� VRXUFH�� FRPSULVHV
��� �� RI� VLQJO\�FKDUJHG� LRQV� DQG� �� �� RI
GRXEO\�FKDUJHG� RQHV�� 7KH� LQFUHDVHG� FRQFHQ�
WUDWLRQ�RI� WKH�GRXEO\�FKDUJHG� LRQV� �DV� FRP�
SDUHG� WR� WKH� SODVPD� JHQHUDWHG� E\� RWKHU
VRXUFHV� >�@��� VHHPV� WR� EH� H[SODLQDEOH� E\� LQ�
FUHDVHG� YROWDJH� GURS� LQ� WKH� LQWHUHOHFWURGH
SODVPD� ������ 9��� 7KLV� FLUFXPVWDQFH� LQ
FRPELQDWLRQ� ZLWK� PDJQHWL]DWLRQ� RI� HOHF�
WURQV��WKDW�FDXVHV�WKHLU�PRYHPHQW�DORQJ�LQ�
WULFDWH� WUDMHFWRULHV�� IDYRUV� LQFUHDVHG� SURE�
DELOLW\�RI�DGGLWLRQDO�LRQL]DWLRQ�RI�WKH�VLQJOH�
FKDUJHG� LRQV� &�� ZLWK� IRUPDWLRQ� RI
GRXEO\�FKDUJHG� LRQV� &��� DFFRUGLQJ� WR� WKH
VFKHPH
&�����o�&�������
)LJ����VKRZV�WKH�LRQ�FXUUHQW�GHQVLW\�GLV�
WULEXWLRQV�DFURVV�WKH�RXWSXW�SODVPD�VWUHDP�
7KH� FRQGHQVDWH�GHSRVLWLRQ� UDWH� DW� WKH� VDPH
WLPH� LV� DERXW� ��� PP�K� ZLWKLQ� D� VSRW� RI
DERXW� ��� FP� LQ� GLDPHWHU�� �)RU� FRPSDULVRQ�
WKH�UDGLDO�GLVWULEXWLRQ�FXUYH�RI�WKH�LRQ�FXU�
UHQW�GHQVLW\�DW�WKH�H[LW�RI�%RHUFNHU�V�GHYLFH
)LJ����� ,RQ� FXUUHQW� GHQVLW\� ���� DQG� DYHUDJH
HQHUJ\� RI� LRQV� ���� GHSHQGLQJ� RQ� GLVWDQFH� �]�
WR�WKH�RXWSXW�EXWW�IDFH�RI�WKH�SODVPD�VRXUFH�
)LJ����� 'LVWULEXWLRQ� RI� PDJQHWLF� ILHOG� LQWHQ�
VLW\� DORQJ� WKH� VRXUFH� DW� �� °P�GLVWDQFH� IURP
LWV�D[HV��FDOFXODWLRQ��IRU�DQ�DVFHQGLQJ�,L���+I�����DQG�IRU�GHVFHQGLQJ�RQH�����
,�,�$NVHQRY��'�6�$NV\RQRY���9DFXXP�DUF�SODVPD����
)XQFWLRQDO�PDWHULDOV������������� ���
>�@� ZLWK� D� FRSSHU� FDWKRGH� LV� VKRZQ� LQ� WKH
VDPH� )LJXUH��� 7KH� GDWD� FLWHG� LOOXVWUDWH� D
KLJK� GLVWULEXWLRQ� KRPRJHQHLW\� RI� ERWK� -LDQG� 9� DFURVV� WKH� SODVPD� VWUHDP�� 7KH� RE�
WDLQHG� FDUERQ� ILOPV� DUH� FKDUDFWHUL]HG� E\
KLJK� PLFURKDUGQHVV� �)LJ����� WKRXJK� WKH\
\LHOG� LQ� WKLV� SDUDPHWHU� WR� WKH� ILOPV� GHSRV�
LWHG� XVLQJ� SODVPD� VRXUFHV� ZLWK� WUDGLWLRQDO
�WRURLGDO��ILOWHU�>��@�
'XULQJ� H[SHULPHQWV�� D� VWURQJ� LQKRPR�
JHQHLW\� RI� FDWKRGH� HURVLRQ� ZDV� REVHUYHG
ZKHQ� LW�ZDV�PDGH�RI�JUDSKLWH��7KLV� LV� FRQ�
QHFWHG�� ILUVW� RI� DOO�� ZLWK� ORZ� &6� WUDYHOLQJ
VSHHG�RYHU�WKH�VXUIDFH�RI�VXFK�FDWKRGH��WKH
WLPH� EHWZHHQ� WZR� VSRQWDQHRXV� GHFD\V� WKXV
EHFRPHV� FRPPHQVXUDEOH� ZLWK� WKH� VSRW� GH�
WRXU� WLPH� DURXQG� WKH� FDWKRGH��$V� D� UHVXOW�
GXULQJ� D� VLJQLILFDQW� SDUW� RI� WRWDO� RI� DUF
EXUQLQJ� WLPH�� WKH�&6� LV� LQ� WKH�DUHD�DGMRLQ�
LQJ� WR� WKH� WULJJHULQJ�]RQH�ZKHUH� WKH�PD[L�
PDO� �EXUQLQJ� RXW�� RI� WKH� FDWKRGH� RFFXUV�
7KH� HURVLRQ� LQKRPRJHQHLW\�� LQ� WXUQ�� LV� D
IDFWRU� GHILQLQJ� GHFUHDVHG� XVHIXO� XWLOL]DWLRQ
FRHIILFLHQW� RI� WKH� FDWKRGH� PDWHULDO�� :LWK
UHJDUG�WR�DOO�WKH�VDLG��LW�VHHPV�WR�EH�H[SHGL�
HQW�WR�FRQWLQXH�WKH�LPSURYHPHQW�RI�WKH�FRQ�
VLGHUHG�SODVPD�VRXUFH�WR�LQFUHDVH�DUF�VWDELO�
LW\�DQG�XVHIXO�XWLOL]DWLRQ�IDFWRU�RI�WKH�FDWK�
RGH�PDWHULDO�
7R� FRQFOXGH�� WKH� VWXGLHG� VRXUFH� LV� FKDU�
DFWHUL]HG�E\�D�KLJK�HIILFLHQF\�IDFWRU� �DERXW
�������DQG�KRPRJHQHRXV�GLVWULEXWLRQ�RI�LRQ
FXUUHQW� GHQVLW\� DFURVV� WKH� RXWSXW� SODVPD
VWUHDP�RI�XS�WR����FP�GLDPHWHU��7KH�VRXUFH
SURYLGHV� GHSRVLWLRQ� RI� VXSHUKDUG� FDUERQ
FRDWLQJV� ZLWK� KRPRJHQHRXV� GLVWULEXWLRQ� RI
WKLFNQHVV� LQ� WKH� FRQGHQVDWLRQ� VSRW� RI� WKH
VDPH� GLDPHWHU�� 7KXV�� WKH�PDLQ� SDUDPHWHUV
RI�WKH�VRXUFH�FRUUHVSRQG�WR�WKH�EHVW�PRGHUQ
OHYHO��DQG�WKH�QRYHO�GHYLFH�VXUSDVVHV� LQ�GH�
VLJQ� VLPSOLFLW\� WKH� FRQYHQWLRQDO� SODVPD
VRXUFHV� RI� VLPLODU� GHVWLQDWLRQ�� 7KH� FDWKRGH
HURVLRQ�LQKRPRJHQHLW\��LQ�FDVH�RI�D�JUDSKLWH
FDWKRGH�� LV� D� GLVDGYDQWDJH� RI� WKH� QHZ
SODVPD� VRXUFH��7KH� IXUWKHU� RSWLPL]DWLRQ�RI
D� VRXUFH� LV� H[SHGLHQW� WR� LQFUHDVH� WKH� DUF
VWDELOLW\� DQG� LQFUHDVH� LQ� XVHIXO� XWLOL]DWLRQ
IDFWRU�RI�WKH�FDWKRGH�PDWHULDO�
7HFKQLFDO� SUHSDUDWLRQ� RI� WKH� HTXLSPHQW
IRU�H[SHULPHQWV�DQG�FRQGXFWLQJ�RI�DOO�PHDV�
XUHPHQWV� ZHUH� FDUULHG� RXW� ZLWK� SDUWLFLSD�
WLRQ�RI�9�*�%UHQ±�
5HIHUHQFHV
� ���,�,�$NVHQRY�� 9DFXXP� $UF� LQ� (URVLRQ� 3ODVPD
6RXUFHV��.KDUNRY��16&�.,37��������>LQ�5XVVLDQ@�
� ���'�6�$NV\RQRY�� ,�,�$NVHQRY�� 9�(�6WUHOQLWVN\�
9$17��6HU��3K\VLFV�RI�5DGLDWLRQ�'DPDJH�DQG
5DGLDWLRQ� 0DWHULDOV� 6FLHQFH�� 1R�������� ���
�������
� ���'�%�%RHUFNHU�� 6�)DODEHOOD�� '�6DQGHUV�� 6XUI�
&RDW��7HFKQRO������������������
� ���,�,�$NVHQRY�� 9�*�%UHQ±�� 8665� $XWK�� &HUW�
��������������
� ���,�,�$NVHQRY�� 9�$�%HORXV�� 3ULERU\� 7HNKQ��(N�
VSHU���1R���������������
� ���,�,�$NVHQRY�� 9�*�%UHQ±�� 9�*�3DGDOND� HW� DO��
8665�$XWK��&HUW����������
� ���,�0�3RGJRUQ\��9�,�6XPDURNRY��=K��7HNKQ��)L]��
���������������
� ���9�0�/XQHY�� 9�*�3DGDOND�� 9�0�.KRURVKLNK�
3ULERU\�7HNKQ��(NVS���1R���������������
� ���9�(�6WUHOQLWVN\�� ,�,�$NVHQRY�� 'LDPRQG�/LNH
&DUERQ�)LOPV��.KDUNRY�� ,33�.RQWUDVW� ������
>LQ�5XVVLDQ@�
����,�,�$NVHQRY�� 6�,�9DNXOD�� 9�*�3DGDOND� HW� DO��
=K��7HNKQ��)L]�������������������
)LJ����� 0LFURKDUGQHVV� RI� FDUERQ� FRQGHQVDWH
�sP�� DV� D� IXQFWLRQ� RI� +)� DPSOLWXGH� �8I�� RISRWHQWLDO�DW�WKH�VXEVWUDWH�
)LJ����� 'LVWULEXWLRQ� RI� LRQ� FXUUHQW� GHQVLW\
DFURVV�WKH�RXWSXW�SODVPD�VWUHDP��[��GLVWDQFH
IURP�WKH�VWUHDP�V\PPHWU\�D[LV��]� ���°P�
,�,�$NVHQRY��'�6�$NV\RQRY���9DFXXP�DUF�SODVPD����
��� )XQFWLRQDO�PDWHULDOV�������������
{È}��äÓº����ºmË��Î˯Ëãº�¹ãÈÏäÒ�Ï�¹¯«äºãLÓL®ÓÒäÁLã �¯ºä��ã«�º°È�ÎËÓÓ«�Á�Ó}�LºÓÈã ÓÒ²�¹º}¯Ò��Lm
,�,�k}° ºÓºm��i�v�k}° ºÓºm
|¹Ò°ÈÓº� ��ºm�� �È� ¹¯ÒÓ�Ò¹� �L�� mÈ}��äÓº����ºmº�º� �Î˯ËãÈ� ÁLã �¯ºmÈÓº�� ˯ºÏL®Óº�
¹ãÈÏäÒ��|�Ò�ËÓÓ«�¹ãÈÏäÒ�mL��äÈ}¯º�Ȱ�ÒÓº}�Ï�L®°Ó
¼� °«�¹Ë¯Ë�mº¯ËÓÓ«ä�¯È�LÈã ÓÒ²
¹º�º}Lm�¹ãÈÏäÒ���º�ËäL��
� °«�}È�º�ÓÒäÒ�¹ã«äÈäÒ����Ò�ÓÈ�º}ºmL®�¹ºm˯²ÓL��ÒãLÓ��
¯Ò�Óº�º� }È�º�È�� m� È}°LÈã ÓÒ®� ¹º�L}� ÏÈ� �º¹ºäº�º
� �º�Óº¹¯º}ºmº�º�� äÈ�ÓL�Óº�º� ¹ºã«�
zºËÁL�L¼Ó�� ËÁË}�ÒmÓº°�L��Î˯ËãÈ� °�ÈÓºmÒ� � ãÒÏ }º��������{Ò²L�ÓÒ®�¹º�L}�¹ãÈÏäÒ�m
º¹�ÒäÈã ÓÒ²��äºmȲ�²È¯È}�˯ÒÏ�¼� °«�mÒ°º}º
�¯LmÓºäL¯ÓL°�
�¯ºÏ¹º�Lã����°�ÒÓÒ�LºÓÓº�
}ºä¹ºÓËÓ�Ò�ÏÈ�¹Ë¯Ë¯LϺä�¹º�º}���LÈäË�¯ºä�ãÒÏ }º����°ä��bmÒ�}L°� �ϯº°�ÈÓÓ«��ºm�Ò�
ÓÒ�¹º}¯Ò��«���¹ã«äL��º�º�Î��LÈäË�¯È�°«�ȼ����ä}ä���¹¯Ò�äL}¯º�m˯�º°�L�}ºÓ�ËÓ°È�È��º
�������
,�,�$NVHQRY��'�6�$NV\RQRY���9DFXXP�DUF�SODVPD����
)XQFWLRQDO�PDWHULDOV������������� ���
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-135355 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1027-5495 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T18:59:39Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Aksenov, I.I. Aksyonov, D.S. 2018-06-15T05:31:32Z 2018-06-15T05:31:32Z 2008 Vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings // I.I. Aksenov, D.S. Aksyonov // Functional Materials. — 2008. — Т. 15, № 3. — С. 442-447. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. 1027-5495 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/135355 Design and operation principle of a novel vacuum-arc source of filtered erosive plasma are described. The macroparticles are removed from the plasma by transformation of radial plasma streams emitted by the cathode spot of the arc on the side surface of cylindrical cathode, into axial stream by means of "single bottle neck" magnetic field. The efficiency factor of the source is about 3.5 %. The output plasma stream generated by the source in optimum conditions is characterized by highly homogeneous distribution of the ion component density over the stream cross-section about 12 cm in diameter. The growth rate of a carbon coating in a spot of the same diameter attains 35 μm/h at the condensate microhardness up to 150 GPa. Описано будову та принцип дії вакуумно-дугового джерела фільтрованої ерозійної плазми. Очищення плазми від макрочастинок здійснюється перетворенням радіальних потоків плазми, що емітуються катодними плямами дуги на боковій поверхні циліндричного катода, в аксіальний потік за допомогою "однопробкового" магнітного поля. Коефіцієнт ефективності джерела становить близько 3,5 %. Вихідний потік плазми в оптимальних умовах характеризується високою рівномірністю розподілу густини іонної компоненти за перерізом потоку діаметром близько 12 см. Швидкість зростання товщини покриття у плямі того ж діаметра сягає 35 мкм/г при мікротвердості конденсата до 150 ГПа. Описаны устройство и принцип действия вакуумно-дугового источника фильтрованной эрозионной плазмы. Очистка плазмы от макрочастиц осуществляется преобразованием радиальных потоков плазмы, эмитируемых катодным пятном дуги на боковой поверхности цилиндрического катода, в аксиальный поток с помощью "однопробочного" магнитного поля. Коэффициент эффективности источника составляет около 3,5 %. Выходной поток плазмы, генерируемый источником, в оптимальных условиях характеризуется высокой равномерностью распределения плотности ионной компоненты по сечению потока диаметром около 12 см. Скорость роста углеродного покрытия в пятне того же диаметра достигает 35 мкм/ч при микротвёрдости конденсата до 150 ГПа. en НТК «Інститут монокристалів» НАН України Functional Materials Technology Vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings Вакуумно-дугове джерело плазми з прямолінійним фільтром для осадження функціональних покриттів Article published earlier |
| spellingShingle | Vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings Aksenov, I.I. Aksyonov, D.S. Technology |
| title | Vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings |
| title_alt | Вакуумно-дугове джерело плазми з прямолінійним фільтром для осадження функціональних покриттів |
| title_full | Vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings |
| title_fullStr | Vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings |
| title_full_unstemmed | Vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings |
| title_short | Vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings |
| title_sort | vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings |
| topic | Technology |
| topic_facet | Technology |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/135355 |
| work_keys_str_mv | AT aksenovii vacuumarcplasmasourcewithrectilinearfilterfordepositionoffunctionalcoatings AT aksyonovds vacuumarcplasmasourcewithrectilinearfilterfordepositionoffunctionalcoatings AT aksenovii vakuumnodugovedžereloplazmizprâmolíníinimfílʹtromdlâosadžennâfunkcíonalʹnihpokrittív AT aksyonovds vakuumnodugovedžereloplazmizprâmolíníinimfílʹtromdlâosadžennâfunkcíonalʹnihpokrittív |