Зображення обкладинки

Vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings

Design and operation principle of a novel vacuum-arc source of filtered erosive plasma are described. The macroparticles are removed from the plasma by transformation of radial plasma streams emitted by the cathode spot of the arc on the side surface of cylindrical cathode, into axial stream by mean...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Functional Materials
Дата:	2008
Автори:	Aksenov, I.I., Aksyonov, D.S.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2008
Теми:	Technology
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/135355
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Vacuum arc plasma source with rectilinear filter for deposition of functional coatings // I.I. Aksenov, D.S. Aksyonov // Functional Materials. — 2008. — Т. 15, № 3. — С. 442-447. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Magnetically filtered vacuum-arc plasma deposition systems
за авторством: Aksenov, I.I.
Опубліковано: (2002)

High-productive source of the cathodic vacuum-arc plasma with the rectilinear filter
за авторством: Vasylyev, V.V., та інші
Опубліковано: (2013-10-23)

Vacuum-arc plasma source with steered cathode spot
за авторством: Aksyonov, D.S., та інші
Опубліковано: (2008)

Optimization of the magnetic system of a vacuum-arc plasma source with a straight line filter
за авторством: Aksyonov, D.S., та інші
Опубліковано: (2021)

Calculation of macroparticle flow in filtered vacuum ARC plasma systems
за авторством: Aksyonov, D.S.
Опубліковано: (2012)

Synthesis of Ti-Si and Ti-Si-N coatings by condensation of filtered vacuum-arc plasma
за авторством: Aksyonov, D.S., та інші
Опубліковано: (2009)

Features of synthesis of Ti-Si-N coatings by condensation of vacuum arc plasma with a composite cathode
за авторством: Aksenov, I.I., та інші
Опубліковано: (2011)

Composition adjustment of vacuum-arc Ti-Al-N films, deposited with use of two-channel filter
за авторством: Aksyonov, D.S., та інші
Опубліковано: (2011)

Plasma characteristics of two-step vacuum-arc discharge and its application for a coatings deposition
за авторством: Timoshenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2007)

Solid Ti-Al-N coating deposited from a filtered vacuum arc plasma
за авторством: V. A. Belous, та інші
Опубліковано: (2009)

Regulation of the composition of Ti-Al-N coatings deposited using a two-channel vacuum-arc source of filtered plasma
за авторством: D. S. Aksjonov, та інші
Опубліковано: (2010)

Deposition of TiN-based coatings using vacuum arc plasma in increased negative substrate bias voltage
за авторством: Kuprin, A.S., та інші
Опубліковано: (2019)

Vacuum-arc installation for deposition of functional coatings
за авторством: A. V. Demchishin, та інші
Опубліковано: (2019)

The use of powder cathodes for the deposition of Ti-Si-N coatings from a filtered vacuum arc plasma
за авторством: V. V. Vasilev, та інші
Опубліковано: (2015)

Properties of DLC coatings deposited by DC and DC with superimposed pulsed vacuum arc
за авторством: Zavaleyev, V., та інші
Опубліковано: (2014)

Characteristics of TiN coating deposited by vacuum-arc method on rotating cylindrical sample
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2019)

Dynamics of macroparticles in a magnetic filter for a vacuum arc plasma sources
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2015)

Corrosion durability of nanostructured TiAlYN coatings, deposited by PIII&D method from filtered vacuum-arc cathodic plasma
за авторством: Vasyliev, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)

Coatings obtained by deposition of refractory compounds from flows of vacuum-arc metallical plasma
за авторством: V. M. Beresnev, та інші
Опубліковано: (2003)

Deposition of superhard vacuum-arc TiN coatings
за авторством: A. A. Andreev, та інші
Опубліковано: (2006)

Plasma streams mixing in two-channel T-shaped magnetic filter
за авторством: Aksyonov, D.S., та інші
Опубліковано: (2011)

Features of the morphology of coating surfaces applied from a filtered vacuum-arc cathode plasma to ferromagnetic substrates
за авторством: V. V. Vasilev, та інші
Опубліковано: (2012)

Structure and mechanical properties of ZrN coatings formed by deposition of vacuum arc plasma fluxes
за авторством: V. M. Khoroshikh, та інші
Опубліковано: (2014)

On the formation of micro-, nanolayer coatings by the vacuum-arc deposition method
за авторством: Ju. V. Kunchenko, та інші
Опубліковано: (2004)

Coating in the arc discharges with plasma flow filtration
за авторством: Gasilin, V. V., та інші
Опубліковано: (2006)

Vacuum-arc deposition of nanostructure Ti-Si-N coatings from multi-component plasma
за авторством: V. M. Shulaev, та інші
Опубліковано: (2008)

The influence of surface parameters of coatings deposited by various vacuum-plasma methods on the cell/material interaction in vitro tests
за авторством: Zykova, A., та інші
Опубліковано: (2007)

Tribological properties of vacuum arc Cr-O-N coatings in macro- and microscale
за авторством: Kuprin, A.S., та інші
Опубліковано: (2016)

Vacuum CVD coatings Ta on target W plate of neutrons source
за авторством: Borts, B.V., та інші
Опубліковано: (2019)

Application of arc plasma for a deposition of superconducting films
за авторством: Langner, J., та інші
Опубліковано: (2002)

The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma
за авторством: Walkowicz, J., та інші
Опубліковано: (2010)

Vacuum-arc multilayer coatings
за авторством: V. M. Beresnev
Опубліковано: (2005)

Characteristics of the plasma created by ECR plasma source for thin films deposition
за авторством: Fedorchenko, V.D., та інші
Опубліковано: (2005)

Optimization of T-shaped magnetic separator filtering abilities
за авторством: Aksyonov, D.S.
Опубліковано: (2012)

Influence of the method of depositing vacuum-arc TiN coatings on their gas evolution in vacuum at high temperatures
за авторством: G. P. Glazunov, та інші
Опубліковано: (2009)

Effect of arc current on mechanical properties of AlCrN coatings deposited using cathodic arc evaporation
за авторством: Warcholinski, B., та інші
Опубліковано: (2022)

The model of the formation of a layered structure of coatings obtained by vacuum arc deposition
за авторством: Ju. V. Kunchenko, та інші
Опубліковано: (2005)

Properties of carbonitride coatings of the TiCN system, processed by vacuum ARC deposition
за авторством: S. A. Klymenko, та інші
Опубліковано: (2024)

Evaporation of micro-droplets in cathode arc plasma coating under formed electron beam
за авторством: Goncharov, A.A., та інші
Опубліковано: (2022)

Structure and mechanical properties of Ti–Al–Si–N protective coatings deposited from separated plasma of a vacuum arc
за авторством: V. A. Belous, та інші
Опубліковано: (2013)