Mechanism of AlN film formation at thermochemical nitridization of sapphire
Gespeichert in:
| Datum: | 2011 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2011
|
| Schriftenreihe: | Functional Materials |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/135411 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Mechanism of AlN film formation at thermochemical nitridization of sapphire / Kh.Sh.-ogly Kaltaev, S.V. Nizhankovskiy, N.S. Sidelnikova, M.A. Rom, A.Ya. Dan'ko, M.V. Dobrotvorskaya, A.Ye. Belyaev, V.V. Strelchuk, A.F. Kolomys // Functional Materials. — 2011. — Т. 18, № 1. — С. 41-49. — Бібліогр.: 27 назв. — англ. |