Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния
Saved in:
| Published in: | Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения |
|---|---|
| Date: | 2014 |
| Main Authors: | , , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2014
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/135587 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, Т.А. Прихна, А.Ю. Филатов, А.И. Боримский, С. В. Ковалев, А.М. Куцай, А. Г. Ветров, В.Г. Полторацкий // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2014. — Вип. 17. — С. 476-482. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862738402070233088 |
|---|---|
| author | Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Прихна, Т.А. Филатов, А.Ю. Боримский, А.И. Ковалев, С.В. Куцай, А.М. Ветров, А.Г. Полторацкий, В.Г. |
| author_facet | Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Прихна, Т.А. Филатов, А.Ю. Боримский, А.И. Ковалев, С.В. Куцай, А.М. Ветров, А.Г. Полторацкий, В.Г. |
| citation_txt | Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, Т.А. Прихна, А.Ю. Филатов, А.И. Боримский, С. В. Ковалев, А.М. Куцай, А. Г. Ветров, В.Г. Полторацкий // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2014. — Вип. 17. — С. 476-482. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения |
| first_indexed | 2025-12-07T20:03:16Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-135587 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2223-3938 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T20:03:16Z |
| publishDate | 2014 |
| publisher | Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Прихна, Т.А. Филатов, А.Ю. Боримский, А.И. Ковалев, С.В. Куцай, А.М. Ветров, А.Г. Полторацкий, В.Г. 2018-06-15T12:36:13Z 2018-06-15T12:36:13Z 2014 Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, Т.А. Прихна, А.Ю. Филатов, А.И. Боримский, С. В. Ковалев, А.М. Куцай, А. Г. Ветров, В.Г. Полторацкий // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2014. — Вип. 17. — С. 476-482. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. 2223-3938 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/135587 ru Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения Породоразрушающий инструмент из сверхтвердых материалов и технология его применения Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния Article published earlier |
| spellingShingle | Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Прихна, Т.А. Филатов, А.Ю. Боримский, А.И. Ковалев, С.В. Куцай, А.М. Ветров, А.Г. Полторацкий, В.Г. Породоразрушающий инструмент из сверхтвердых материалов и технология его применения |
| title | Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния |
| title_full | Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния |
| title_fullStr | Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния |
| title_full_unstemmed | Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния |
| title_short | Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния |
| title_sort | полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния |
| topic | Породоразрушающий инструмент из сверхтвердых материалов и технология его применения |
| topic_facet | Породоразрушающий инструмент из сверхтвердых материалов и технология его применения |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/135587 |
| work_keys_str_mv | AT filatovûd polirovanieploskihprecizionnyhpoverhnosteiélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT sidorkovi polirovanieploskihprecizionnyhpoverhnosteiélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT prihnata polirovanieploskihprecizionnyhpoverhnosteiélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT filatovaû polirovanieploskihprecizionnyhpoverhnosteiélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT borimskiiai polirovanieploskihprecizionnyhpoverhnosteiélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT kovalevsv polirovanieploskihprecizionnyhpoverhnosteiélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT kucaiam polirovanieploskihprecizionnyhpoverhnosteiélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT vetrovag polirovanieploskihprecizionnyhpoverhnosteiélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ AT poltorackiivg polirovanieploskihprecizionnyhpoverhnosteiélementovoptikoélektronnoitehnikiizmonokristalličeskogokarbidakremniâ |