Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния

• Published in: Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения
• Date: 2014
• Main Authors: Филатов, Ю.Д., Сидорко, В.И., Прихна, Т.А., Филатов, А.Ю., Боримский, А.И., Ковалев, С.В., Куцай, А.М., Ветров, А.Г., Полторацкий, В.Г.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2014
• Subjects: Породоразрушающий инструмент из сверхтвердых материалов и технология его применения
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/135587
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, Т.А. Прихна, А.Ю. Филатов, А.И. Боримский, С. В. Ковалев, А.М. Куцай, А. Г. Ветров, В.Г. Полторацкий // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2014. — Вип. 17. — С. 476-482. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.