Генератор газовых смесей для ионно-плазменных технологий
Предложен метод создания газовых смесей, предназначенных для получения покрытий сложного состава в ионно-плазменных установках. Особенностью метода является предварительная циклическая продувка смесительной камеры для создания в ней атмосферы, состоящей не менее чем на 99,9% из одного компонента сме...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2017 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2017
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/136017 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Генератор газовых смесей для ионно-плазменных технологий / Ю.А. Сысоев, И.В. Сердюк, А.В. Доломанов, Д.В. Ковтеба // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 2. — С. 178-183. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |