Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора
Представлены результаты исследований получения карбида бора водородным восстановлением треххлористого бора (BCl₃) в парах толуола (C₇H₈). Рассмотрены термодинамика процесса осаждения, газодинамические параметры парогазового потока при обтекании покрываемой поверхности в проточном реакторе. Исследова...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2017 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2017
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/136048 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора / А.Ю. Журавлев, А.В. Шиян, Н.А. Семенов, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 2. — С. 156-159. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-136048 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Журавлев, А.Ю. Шиян, А.В. Семенов, Н.А. Широков, Б.М. 2018-06-15T18:39:11Z 2018-06-15T18:39:11Z 2017 Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора / А.Ю. Журавлев, А.В. Шиян, Н.А. Семенов, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 2. — С. 156-159. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/136048 620.197:621.165.669.1 Представлены результаты исследований получения карбида бора водородным восстановлением треххлористого бора (BCl₃) в парах толуола (C₇H₈). Рассмотрены термодинамика процесса осаждения, газодинамические параметры парогазового потока при обтекании покрываемой поверхности в проточном реакторе. Исследованы кинетические особенности осаждения карбида бора в системе BCl₃-C₇H₈-H₂. Представлено результати досліджень отримання карбіду бору водневим відновленням трихлористого бору (BCl₃) у парах толуолу (C₇H₈). Розглянуто термодинаміку процесу осадження, газодинамічні параметри парогазового потоку при обтіканні поверхні, що покривається, у проточному реакторі. Досліджено кінетичні особливості осадження карбіду бору в системі BCl₃-C₇H₈-H₂. This paper presents the results of studies produce boron carbide hydrogen reduction of boron trichloride (BCl₃) and (C₇H₈) in toluene vapor. Considered the thermodynamics of the deposition process, gas-dynamic parameters of steam and gas flow in the flow of the substrate during vapor deposition of coatings in a flow reactor. The kinetic features of deposition of boron carbide in the system BCl₃-C₇H₈-H₂. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора Розробка процесу газофазового і плазмохімічного осадження покриття на основі карбіду бору Development of gas-phase and plasma chemical vapor deposition coatings based on boron carbid Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора |
| spellingShingle |
Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора Журавлев, А.Ю. Шиян, А.В. Семенов, Н.А. Широков, Б.М. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title_short |
Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора |
| title_full |
Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора |
| title_fullStr |
Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора |
| title_full_unstemmed |
Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора |
| title_sort |
разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора |
| author |
Журавлев, А.Ю. Шиян, А.В. Семенов, Н.А. Широков, Б.М. |
| author_facet |
Журавлев, А.Ю. Шиян, А.В. Семенов, Н.А. Широков, Б.М. |
| topic |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| publishDate |
2017 |
| language |
Russian |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Розробка процесу газофазового і плазмохімічного осадження покриття на основі карбіду бору Development of gas-phase and plasma chemical vapor deposition coatings based on boron carbid |
| description |
Представлены результаты исследований получения карбида бора водородным восстановлением треххлористого бора (BCl₃) в парах толуола (C₇H₈). Рассмотрены термодинамика процесса осаждения, газодинамические параметры парогазового потока при обтекании покрываемой поверхности в проточном реакторе. Исследованы кинетические особенности осаждения карбида бора в системе BCl₃-C₇H₈-H₂.
Представлено результати досліджень отримання карбіду бору водневим відновленням трихлористого бору (BCl₃) у парах толуолу (C₇H₈). Розглянуто термодинаміку процесу осадження, газодинамічні параметри парогазового потоку при обтіканні поверхні, що покривається, у проточному реакторі. Досліджено кінетичні особливості осадження карбіду бору в системі BCl₃-C₇H₈-H₂.
This paper presents the results of studies produce boron carbide hydrogen reduction of boron trichloride (BCl₃) and (C₇H₈) in toluene vapor. Considered the thermodynamics of the deposition process, gas-dynamic parameters of steam and gas flow in the flow of the substrate during vapor deposition of coatings in a flow reactor. The kinetic features of deposition of boron carbide in the system BCl₃-C₇H₈-H₂.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/136048 |
| citation_txt |
Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора / А.Ю. Журавлев, А.В. Шиян, Н.А. Семенов, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 2. — С. 156-159. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT žuravlevaû razrabotkaprocessagazofaznogoiplazmohimičeskogoosaždeniâpokrytiânaosnovekarbidabora AT šiânav razrabotkaprocessagazofaznogoiplazmohimičeskogoosaždeniâpokrytiânaosnovekarbidabora AT semenovna razrabotkaprocessagazofaznogoiplazmohimičeskogoosaždeniâpokrytiânaosnovekarbidabora AT širokovbm razrabotkaprocessagazofaznogoiplazmohimičeskogoosaždeniâpokrytiânaosnovekarbidabora AT žuravlevaû rozrobkaprocesugazofazovogoíplazmohímíčnogoosadžennâpokrittânaosnovíkarbíduboru AT šiânav rozrobkaprocesugazofazovogoíplazmohímíčnogoosadžennâpokrittânaosnovíkarbíduboru AT semenovna rozrobkaprocesugazofazovogoíplazmohímíčnogoosadžennâpokrittânaosnovíkarbíduboru AT širokovbm rozrobkaprocesugazofazovogoíplazmohímíčnogoosadžennâpokrittânaosnovíkarbíduboru AT žuravlevaû developmentofgasphaseandplasmachemicalvapordepositioncoatingsbasedonboroncarbid AT šiânav developmentofgasphaseandplasmachemicalvapordepositioncoatingsbasedonboroncarbid AT semenovna developmentofgasphaseandplasmachemicalvapordepositioncoatingsbasedonboroncarbid AT širokovbm developmentofgasphaseandplasmachemicalvapordepositioncoatingsbasedonboroncarbid |
| first_indexed |
2025-12-07T17:13:33Z |
| last_indexed |
2025-12-07T17:13:33Z |
| _version_ |
1850870452009828352 |