Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора

Представлены результаты исследований получения карбида бора водородным восстановлением треххлористого бора (BCl₃) в парах толуола (C₇H₈). Рассмотрены термодинамика процесса осаждения, газодинамические параметры парогазового потока при обтекании покрываемой поверхности в проточном реакторе. Исследова...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Вопросы атомной науки и техники
Дата:2017
Автори: Журавлев, А.Ю., Шиян, А.В., Семенов, Н.А., Широков, Б.М.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2017
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/136048
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора / А.Ю. Журавлев, А.В. Шиян, Н.А. Семенов, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 2. — С. 156-159. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862708832031997952
author Журавлев, А.Ю.
Шиян, А.В.
Семенов, Н.А.
Широков, Б.М.
author_facet Журавлев, А.Ю.
Шиян, А.В.
Семенов, Н.А.
Широков, Б.М.
citation_txt Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора / А.Ю. Журавлев, А.В. Шиян, Н.А. Семенов, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 2. — С. 156-159. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Вопросы атомной науки и техники
description Представлены результаты исследований получения карбида бора водородным восстановлением треххлористого бора (BCl₃) в парах толуола (C₇H₈). Рассмотрены термодинамика процесса осаждения, газодинамические параметры парогазового потока при обтекании покрываемой поверхности в проточном реакторе. Исследованы кинетические особенности осаждения карбида бора в системе BCl₃-C₇H₈-H₂. Представлено результати досліджень отримання карбіду бору водневим відновленням трихлористого бору (BCl₃) у парах толуолу (C₇H₈). Розглянуто термодинаміку процесу осадження, газодинамічні параметри парогазового потоку при обтіканні поверхні, що покривається, у проточному реакторі. Досліджено кінетичні особливості осадження карбіду бору в системі BCl₃-C₇H₈-H₂. This paper presents the results of studies produce boron carbide hydrogen reduction of boron trichloride (BCl₃) and (C₇H₈) in toluene vapor. Considered the thermodynamics of the deposition process, gas-dynamic parameters of steam and gas flow in the flow of the substrate during vapor deposition of coatings in a flow reactor. The kinetic features of deposition of boron carbide in the system BCl₃-C₇H₈-H₂.
first_indexed 2025-12-07T17:13:33Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-136048
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1562-6016
language Russian
last_indexed 2025-12-07T17:13:33Z
publishDate 2017
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
record_format dspace
spelling Журавлев, А.Ю.
Шиян, А.В.
Семенов, Н.А.
Широков, Б.М.
2018-06-15T18:39:11Z
2018-06-15T18:39:11Z
2017
Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора / А.Ю. Журавлев, А.В. Шиян, Н.А. Семенов, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 2. — С. 156-159. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
1562-6016
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/136048
620.197:621.165.669.1
Представлены результаты исследований получения карбида бора водородным восстановлением треххлористого бора (BCl₃) в парах толуола (C₇H₈). Рассмотрены термодинамика процесса осаждения, газодинамические параметры парогазового потока при обтекании покрываемой поверхности в проточном реакторе. Исследованы кинетические особенности осаждения карбида бора в системе BCl₃-C₇H₈-H₂.
Представлено результати досліджень отримання карбіду бору водневим відновленням трихлористого бору (BCl₃) у парах толуолу (C₇H₈). Розглянуто термодинаміку процесу осадження, газодинамічні параметри парогазового потоку при обтіканні поверхні, що покривається, у проточному реакторі. Досліджено кінетичні особливості осадження карбіду бору в системі BCl₃-C₇H₈-H₂.
This paper presents the results of studies produce boron carbide hydrogen reduction of boron trichloride (BCl₃) and (C₇H₈) in toluene vapor. Considered the thermodynamics of the deposition process, gas-dynamic parameters of steam and gas flow in the flow of the substrate during vapor deposition of coatings in a flow reactor. The kinetic features of deposition of boron carbide in the system BCl₃-C₇H₈-H₂.
ru
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора
Розробка процесу газофазового і плазмохімічного осадження покриття на основі карбіду бору
Development of gas-phase and plasma chemical vapor deposition coatings based on boron carbid
Article
published earlier
spellingShingle Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора
Журавлев, А.Ю.
Шиян, А.В.
Семенов, Н.А.
Широков, Б.М.
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
title Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора
title_alt Розробка процесу газофазового і плазмохімічного осадження покриття на основі карбіду бору
Development of gas-phase and plasma chemical vapor deposition coatings based on boron carbid
title_full Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора
title_fullStr Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора
title_full_unstemmed Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора
title_short Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора
title_sort разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора
topic Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
topic_facet Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/136048
work_keys_str_mv AT žuravlevaû razrabotkaprocessagazofaznogoiplazmohimičeskogoosaždeniâpokrytiânaosnovekarbidabora
AT šiânav razrabotkaprocessagazofaznogoiplazmohimičeskogoosaždeniâpokrytiânaosnovekarbidabora
AT semenovna razrabotkaprocessagazofaznogoiplazmohimičeskogoosaždeniâpokrytiânaosnovekarbidabora
AT širokovbm razrabotkaprocessagazofaznogoiplazmohimičeskogoosaždeniâpokrytiânaosnovekarbidabora
AT žuravlevaû rozrobkaprocesugazofazovogoíplazmohímíčnogoosadžennâpokrittânaosnovíkarbíduboru
AT šiânav rozrobkaprocesugazofazovogoíplazmohímíčnogoosadžennâpokrittânaosnovíkarbíduboru
AT semenovna rozrobkaprocesugazofazovogoíplazmohímíčnogoosadžennâpokrittânaosnovíkarbíduboru
AT širokovbm rozrobkaprocesugazofazovogoíplazmohímíčnogoosadžennâpokrittânaosnovíkarbíduboru
AT žuravlevaû developmentofgasphaseandplasmachemicalvapordepositioncoatingsbasedonboroncarbid
AT šiânav developmentofgasphaseandplasmachemicalvapordepositioncoatingsbasedonboroncarbid
AT semenovna developmentofgasphaseandplasmachemicalvapordepositioncoatingsbasedonboroncarbid
AT širokovbm developmentofgasphaseandplasmachemicalvapordepositioncoatingsbasedonboroncarbid