Зображення обкладинки

Влияние расположения подложки относительно потока фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы на структуру и свойства покрытий TіN

Приведены результаты исследований влияния пространственного положения подложки в вакуумной камере на структуру и механические свойства покрытий TiN, полученных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы при подаче высоковольтного импульсного потенциала смещения на подложку (PIII & D-метод). Ус...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2017
Автори:	Васильев, В.В., Лучанинов, А.А., Решетняк, Е.Н., Стрельницкий, В.Е.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2017
Теми:	Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/136049
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Влияние расположения подложки относительно потока фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы на структуру и свойства покрытий TіN / В.В. Васильев, А.А. Лучанинов, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 2. — С. 160-167. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Особенности морфологии поверхностей покрытий, наносимых из фильтрованной вакуумно-дуговой катодной плазмы на ферромагнитные подложки
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2012)

Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2008)

Структура и твердость Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Твердые покрытия Ti-Al-N, осажденные из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния TIN покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы в газовой смеси N₂ и Ar
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Структура и свойства нитридных покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы с использованием порошкового катода Cr₀,₅Al₀,₅
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2010)

Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2011)

Транспортировка вакуумно-дуговой плазмы в неоднородном магнитном поле
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2005)

Магнитоуправляемый вакуумно-дуговой источник плазмы
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2009)

Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобного углерода
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2002)

Влияние кривизны поверхности подложки на структуру и свойства термобарьерных, конденсационных покрытий
за авторством: Яковчук, К.Ю., та інші
Опубліковано: (2011)

Механические свойства и эрозионная стойкость вакуумно-дуговых покрытий (Ti, Al)N, модифицированных иттрием
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Об эффективности вакуумно-дуговых источников сепарированной плазмы
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2001)

Вакуумно-дуговой синтез алмазоподобных пленок: история, последние разработки, применение, перспективы
за авторством: Стрельницкий, В.Е.
Опубліковано: (2002)

Подавление эмиссии макрочастиц в вакуумно-дуговых источниках плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)

Вакуумно-дуговое осаждение наноструктурных Ti-Si-N покрытий из многокомпонентной плазмы
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2008)

Исследование влияния параметров потока плазмы на свойства формируемых покрытий
за авторством: Антоненко, А.Л.
Опубліковано: (2006)

Оценка расположения спектра матрицы относительно плоских кривых
за авторством: Мазко, А.Г.
Опубліковано: (1985)

Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами. Обзор
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)

Композитные TiC-aC:H-покрытия, синтезированные при совместном осаждении из вакуумно-дугового источника титановой плазмы и плазмы ВЧ-разряда в парах бензола
за авторством: Лучанинов, А.А., та інші
Опубліковано: (2018)

Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена
за авторством: Столбовой, В.А.
Опубліковано: (2009)

Влияние температуры подложки на внутренние напряжения и структуру алмазоподобного покрытия при ионном осаждении
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2008)

Особенности использования рентгеновского флуоресцентного анализа для определения состава вакуумно-дуговых покрытий нитридов
за авторством: Решетняк, Е.Н.
Опубліковано: (2013)

Вакуумно-дуговое оборудование и технологии покрытий в ХФТИ
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2016)

Влияние температуры подложки на прочностные характеристики покрытий, полученных методом электроискрового легирования
за авторством: Мазанко, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2007)

Влияние рода газа спутного потока на характеристики дуговой плазмы, создаваемой плазмотроном с проволокой-анодом
за авторством: Харламов, М.Ю., та інші
Опубліковано: (2008)

Влияние геометрии подложки на процесс конденсации ионно-плазменных покрытий
за авторством: Хороших, В.М., та інші
Опубліковано: (2008)

Синтез упрочняющих наноструктурных покрытий
за авторством: Решетняк, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2008)

Эрозия вакуумно-дуговых TiN покрытий и нержавеющей стали при воздействии стационарной плазмы разрядов магнетронного типа
за авторством: Глазунов, Г.П., та інші
Опубліковано: (2011)

Характиристики вакуумно-дуговых покрытий из чередующихся слоев TiN/ TiNCu
за авторством: Лунёв, В.М., та інші
Опубліковано: (2011)

Влияние потенциала подложки при осаждении и размерного фактора на структуру, напряженное состояние и физико-механические характеристики многослойных TiN/Ti покрытий
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Катоды из ферромагнетиков в вакуумно-дуговых источниках плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2009)

Нанесение алмазоподобных покрытий на поверхности колец из карбида кремния сухих газовых уплотнений для компрессоров высокого давления
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2018)

О давлении плазмы при вакуумно-дуговом разряде на металлах
за авторством: Павлов, В.С.
Опубліковано: (2009)

Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2008)

Численное исследование влияния пространственного расположения высокоскоростного транспортного средства относительно путевой структуры на аэродинамические харакетеристики
за авторством: Приходько, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)