Будова шарів нітриду алюмінію, сформованих під час іонно-плазмового напилення

• Published in: Фізико-хімічна механіка матеріалів
• Date: 2013
• Main Authors: Дурягіна, З.А., Підкова, В.Я.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Фізико-механічний інститут ім. Г.В. Карпенка НАН України 2013
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/136065
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Будова шарів нітриду алюмінію, сформованих під час іонно-плазмового напилення / З.А. Дурягіна, В.Я. Підкова // Фізико-хімічна механіка матеріалів. — 2013. — Т. 49, № 3. — С. 74-79. — Бібліогр.: 9 назв. — укp.

З використанням іонно-плазмової розрядної системи одержано діелектричні шари нітриду алюмінію, що мають нанорозмірну структуру. Товщина шарів коливається від 35 до 50 μm при розмірі зерен 60…400 nm. Шорсткість поверхні при цьому знаходиться в межах 12…20 μm. Діелектричний шар складається з фази Al...