Buchumschlag

Будова шарів нітриду алюмінію, сформованих під час іонно-плазмового напилення

З використанням іонно-плазмової розрядної системи одержано діелектричні шари
 нітриду алюмінію, що мають нанорозмірну структуру. Товщина шарів коливається
 від 35 до 50 μm при розмірі зерен 60…400 nm. Шорсткість поверхні при цьому знаходиться в межах 12…20 μm. Діелектричний шар склад...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Фізико-хімічна механіка матеріалів
Datum:2013
Hauptverfasser: Дурягіна, З.А., Підкова, В.Я.
Format: Artikel
Sprache:Ukrainisch
Veröffentlicht: Фізико-механічний інститут ім. Г.В. Карпенка НАН України 2013
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/136065
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Будова шарів нітриду алюмінію, сформованих під час іонно-плазмового напилення / З.А. Дурягіна, В.Я. Підкова // Фізико-хімічна механіка матеріалів. — 2013. — Т. 49, № 3. — С. 74-79. — Бібліогр.: 9 назв. — укp.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Ähnliche Einträge