Будова шарів нітриду алюмінію, сформованих під час іонно-плазмового напилення

• Datum: 2013
• Hauptverfasser: Дурягіна, З.А., Підкова, В.Я.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainian
• Veröffentlicht: Фізико-механічний інститут ім. Г.В. Карпенка НАН України 2013
• Schriftenreihe: Фізико-хімічна механіка матеріалів
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/136065
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Будова шарів нітриду алюмінію, сформованих під час іонно-плазмового напилення / З.А. Дурягіна, В.Я. Підкова // Фізико-хімічна механіка матеріалів. — 2013. — Т. 49, № 3. — С. 74-79. — Бібліогр.: 9 назв. — укp.

З використанням іонно-плазмової розрядної системи одержано діелектричні шари нітриду алюмінію, що мають нанорозмірну структуру. Товщина шарів коливається від 35 до 50 μm при розмірі зерен 60…400 nm. Шорсткість поверхні при цьому знаходиться в межах 12…20 μm. Діелектричний шар складається з фази Al...