Однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида TiAlSiYN: состав, структура, свойства
Используя высокотехнологичное вакуумно-дуговое испарение в атмосфере азота с ионной бомбардировкой, получили однослойные и многослойные покрытия на основе TiAlSiYN с высокими механическими характеристиками: твердостью, достигающей 49,5 ГПа; стойкостью к износу с величиной критической точки Lₑ₅, дост...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2017 |
| Автори: | , , , , , , , , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2017
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/136140 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида TiAlSiYN: состав, структура, свойства / В.М. Береснев, О.В. Соболь, А.Д. Погребняк, С.В. Литовченко, О.Н. Иванов, У.С. Немченко, П.А. Сребнюк, А.А. Мейлехов, А.Е. Бармин, В.А. Столбовой, В.Ю. Новиков, Б.А. Мазилин, Е.В. Крицына, Т.А. Серенко, Л.В. Маликов // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 4. — С. 88-96. — Бібліогр.: 30 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862685239578460160 |
|---|---|
| author | Береснев, В.М. Соболь, О.В. Погребняк, А.Д. Литовченко, С.В. Иванов, О.Н. Немченко, У.С. Сребнюк, П.А. Мейлехов, А.А. Бармин, А.Е. Столбовой, В.А. Новиков, В.Ю. Мазилин, Б.А. Крицына, Е.В. Серенко, Т.А. Маликов, Л.В. |
| author_facet | Береснев, В.М. Соболь, О.В. Погребняк, А.Д. Литовченко, С.В. Иванов, О.Н. Немченко, У.С. Сребнюк, П.А. Мейлехов, А.А. Бармин, А.Е. Столбовой, В.А. Новиков, В.Ю. Мазилин, Б.А. Крицына, Е.В. Серенко, Т.А. Маликов, Л.В. |
| citation_txt | Однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида TiAlSiYN: состав, структура, свойства / В.М. Береснев, О.В. Соболь, А.Д. Погребняк, С.В. Литовченко, О.Н. Иванов, У.С. Немченко, П.А. Сребнюк, А.А. Мейлехов, А.Е. Бармин, В.А. Столбовой, В.Ю. Новиков, Б.А. Мазилин, Е.В. Крицына, Т.А. Серенко, Л.В. Маликов // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 4. — С. 88-96. — Бібліогр.: 30 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Используя высокотехнологичное вакуумно-дуговое испарение в атмосфере азота с ионной бомбардировкой, получили однослойные и многослойные покрытия на основе TiAlSiYN с высокими механическими характеристиками: твердостью, достигающей 49,5 ГПа; стойкостью к износу с величиной критической точки Lₑ₅, достигающей 184,92 Н. Выявлены особенности радиационно-стимулированного воздействия при подаче потенциала смещения Uₑₘ: формирование в нитридах покрытий на основе металлической ГЦК-решетки преимущественной ориентации кристаллитов с осью текстуры [111], а также увеличение при этом твердости. При увеличении Uₑₘ от 50 до 200 В твердость как однослойных, так и многослойных покрытий повышается на 40…50%. Формирование при осаждении кремнийсодержащих слоев TiAlSiYN способствует достижению повышенной твердости, которая в случае однослойного покрытия, сформированного при Uₑₘ = -200 В, составляет 49,5 ГПа, что соответствует сверхтвердому состоянию. Обсуждены механизмы формирования структуры, определяющие полученные механические характеристики однослойных и многослойных покрытий на основе нитрида TiAlSiYN.
З використанням високотехнологічного вакуумно-дугового випаровування в атмосфері азоту з іонним бомбардуванням були отримані одношарові і багатошарові покриття на основі TiAlSiYN з високими механічними характеристиками: твердістю, що досягає 49,5 ГПа; стійкістю до зношування з величиною критичної точки Lₑ₅, що досягає 184,92 Н. Виявлено особливості радіаційно-стимульованого впливу при подачі потенціалу зміщення U₃ₘ: формування в нітридах покриттів на основі металевих ГЦК-граток переважної орієнтації кристалітів з віссю текстури [111], а також збільшення при цьому твердості. При збільшенні U₃ₘ від 50 до 200 В твердість як одношарових, так і багатошарових покриттів підвищується на 40…50%. Формування при осадженні шарів TiAlSiYN, що містять кремній, сприяє досягненню підвищеної твердості, яка в одношарового покриття, отриманого при U₃ₘ = -200 В, становить 49,5 ГПа, що відповідає надтвердому стану. Обговорено механізми формування структури, що визначає отримані механічні характеристики одношарових і багатошарових покриттів на основі нітриду TiAlSiYN.
Using high-technological vacuum-arc evaporation in the atmosphere of nitrogen with ion bombardment, single- and multilayer coatings based on TiAlSiYN with high mechanical characteristics were obtained: hardness of the coatings reached 49.5 GPA, resistance to wear, with the value of the critical point Lₑ₅ reaching 184.92 N. The peculiarities of radiation-induced effect at applying bias potential Uₕ were found: formation of nitride coatings based on fcc metallic lattice with the preferred orientation of crystallites with the texture axis [111], as well as simultaneous growth of hardness. Hardness of both single- and multilayer coatings increases by 40…50% at the increase of Uₕ from 50 to 200 V. Formation of silicon-containing layers of TiAlSiYN during the deposition contributes to reaching increased hardness, which, in the case of single-layer coating obtained at Uₕ = -200 V is 49.5 GPA, which corresponds to superhard state. The mechanisms of structure formation, defining the resulting mechanical characteristics of single- and multi-layer coatings based on TiAlSiYN nitride have been discussed.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:00:32Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-136140 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:00:32Z |
| publishDate | 2017 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Береснев, В.М. Соболь, О.В. Погребняк, А.Д. Литовченко, С.В. Иванов, О.Н. Немченко, У.С. Сребнюк, П.А. Мейлехов, А.А. Бармин, А.Е. Столбовой, В.А. Новиков, В.Ю. Мазилин, Б.А. Крицына, Е.В. Серенко, Т.А. Маликов, Л.В. 2018-06-16T05:58:16Z 2018-06-16T05:58:16Z 2017 Однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида TiAlSiYN: состав, структура, свойства / В.М. Береснев, О.В. Соболь, А.Д. Погребняк, С.В. Литовченко, О.Н. Иванов, У.С. Немченко, П.А. Сребнюк, А.А. Мейлехов, А.Е. Бармин, В.А. Столбовой, В.Ю. Новиков, Б.А. Мазилин, Е.В. Крицына, Т.А. Серенко, Л.В. Маликов // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 4. — С. 88-96. — Бібліогр.: 30 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/136140 539.12.04.621.384.653 Используя высокотехнологичное вакуумно-дуговое испарение в атмосфере азота с ионной бомбардировкой, получили однослойные и многослойные покрытия на основе TiAlSiYN с высокими механическими характеристиками: твердостью, достигающей 49,5 ГПа; стойкостью к износу с величиной критической точки Lₑ₅, достигающей 184,92 Н. Выявлены особенности радиационно-стимулированного воздействия при подаче потенциала смещения Uₑₘ: формирование в нитридах покрытий на основе металлической ГЦК-решетки преимущественной ориентации кристаллитов с осью текстуры [111], а также увеличение при этом твердости. При увеличении Uₑₘ от 50 до 200 В твердость как однослойных, так и многослойных покрытий повышается на 40…50%. Формирование при осаждении кремнийсодержащих слоев TiAlSiYN способствует достижению повышенной твердости, которая в случае однослойного покрытия, сформированного при Uₑₘ = -200 В, составляет 49,5 ГПа, что соответствует сверхтвердому состоянию. Обсуждены механизмы формирования структуры, определяющие полученные механические характеристики однослойных и многослойных покрытий на основе нитрида TiAlSiYN. З використанням високотехнологічного вакуумно-дугового випаровування в атмосфері азоту з іонним бомбардуванням були отримані одношарові і багатошарові покриття на основі TiAlSiYN з високими механічними характеристиками: твердістю, що досягає 49,5 ГПа; стійкістю до зношування з величиною критичної точки Lₑ₅, що досягає 184,92 Н. Виявлено особливості радіаційно-стимульованого впливу при подачі потенціалу зміщення U₃ₘ: формування в нітридах покриттів на основі металевих ГЦК-граток переважної орієнтації кристалітів з віссю текстури [111], а також збільшення при цьому твердості. При збільшенні U₃ₘ від 50 до 200 В твердість як одношарових, так і багатошарових покриттів підвищується на 40…50%. Формування при осадженні шарів TiAlSiYN, що містять кремній, сприяє досягненню підвищеної твердості, яка в одношарового покриття, отриманого при U₃ₘ = -200 В, становить 49,5 ГПа, що відповідає надтвердому стану. Обговорено механізми формування структури, що визначає отримані механічні характеристики одношарових і багатошарових покриттів на основі нітриду TiAlSiYN. Using high-technological vacuum-arc evaporation in the atmosphere of nitrogen with ion bombardment, single- and multilayer coatings based on TiAlSiYN with high mechanical characteristics were obtained: hardness of the coatings reached 49.5 GPA, resistance to wear, with the value of the critical point Lₑ₅ reaching 184.92 N. The peculiarities of radiation-induced effect at applying bias potential Uₕ were found: formation of nitride coatings based on fcc metallic lattice with the preferred orientation of crystallites with the texture axis [111], as well as simultaneous growth of hardness. Hardness of both single- and multilayer coatings increases by 40…50% at the increase of Uₕ from 50 to 200 V. Formation of silicon-containing layers of TiAlSiYN during the deposition contributes to reaching increased hardness, which, in the case of single-layer coating obtained at Uₕ = -200 V is 49.5 GPA, which corresponds to superhard state. The mechanisms of structure formation, defining the resulting mechanical characteristics of single- and multi-layer coatings based on TiAlSiYN nitride have been discussed. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида TiAlSiYN: состав, структура, свойства Одношарові і багатошарові вакуумно-дугові покриття на основі нітриду TiAlSiYN: склад, структура, властивості Single layer and multilayer vacuum-arc coatings based on the nitride TiAlSiYN: composition, structure, properties Article published earlier |
| spellingShingle | Однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида TiAlSiYN: состав, структура, свойства Береснев, В.М. Соболь, О.В. Погребняк, А.Д. Литовченко, С.В. Иванов, О.Н. Немченко, У.С. Сребнюк, П.А. Мейлехов, А.А. Бармин, А.Е. Столбовой, В.А. Новиков, В.Ю. Мазилин, Б.А. Крицына, Е.В. Серенко, Т.А. Маликов, Л.В. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title | Однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида TiAlSiYN: состав, структура, свойства |
| title_alt | Одношарові і багатошарові вакуумно-дугові покриття на основі нітриду TiAlSiYN: склад, структура, властивості Single layer and multilayer vacuum-arc coatings based on the nitride TiAlSiYN: composition, structure, properties |
| title_full | Однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида TiAlSiYN: состав, структура, свойства |
| title_fullStr | Однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида TiAlSiYN: состав, структура, свойства |
| title_full_unstemmed | Однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида TiAlSiYN: состав, структура, свойства |
| title_short | Однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида TiAlSiYN: состав, структура, свойства |
| title_sort | однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида tialsiyn: состав, структура, свойства |
| topic | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/136140 |
| work_keys_str_mv | AT beresnevvm odnosloinyeimnogosloinyevakuumnodugovyepokrytiânaosnovenitridatialsiynsostavstrukturasvoistva AT sobolʹov odnosloinyeimnogosloinyevakuumnodugovyepokrytiânaosnovenitridatialsiynsostavstrukturasvoistva AT pogrebnâkad odnosloinyeimnogosloinyevakuumnodugovyepokrytiânaosnovenitridatialsiynsostavstrukturasvoistva AT litovčenkosv odnosloinyeimnogosloinyevakuumnodugovyepokrytiânaosnovenitridatialsiynsostavstrukturasvoistva AT ivanovon odnosloinyeimnogosloinyevakuumnodugovyepokrytiânaosnovenitridatialsiynsostavstrukturasvoistva AT nemčenkous odnosloinyeimnogosloinyevakuumnodugovyepokrytiânaosnovenitridatialsiynsostavstrukturasvoistva AT srebnûkpa odnosloinyeimnogosloinyevakuumnodugovyepokrytiânaosnovenitridatialsiynsostavstrukturasvoistva AT meilehovaa odnosloinyeimnogosloinyevakuumnodugovyepokrytiânaosnovenitridatialsiynsostavstrukturasvoistva AT barminae odnosloinyeimnogosloinyevakuumnodugovyepokrytiânaosnovenitridatialsiynsostavstrukturasvoistva AT stolbovoiva odnosloinyeimnogosloinyevakuumnodugovyepokrytiânaosnovenitridatialsiynsostavstrukturasvoistva AT novikovvû odnosloinyeimnogosloinyevakuumnodugovyepokrytiânaosnovenitridatialsiynsostavstrukturasvoistva AT mazilinba odnosloinyeimnogosloinyevakuumnodugovyepokrytiânaosnovenitridatialsiynsostavstrukturasvoistva AT kricynaev odnosloinyeimnogosloinyevakuumnodugovyepokrytiânaosnovenitridatialsiynsostavstrukturasvoistva AT serenkota odnosloinyeimnogosloinyevakuumnodugovyepokrytiânaosnovenitridatialsiynsostavstrukturasvoistva AT malikovlv odnosloinyeimnogosloinyevakuumnodugovyepokrytiânaosnovenitridatialsiynsostavstrukturasvoistva AT beresnevvm odnošarovííbagatošarovívakuumnodugovípokrittânaosnovínítridutialsiynskladstrukturavlastivostí AT sobolʹov odnošarovííbagatošarovívakuumnodugovípokrittânaosnovínítridutialsiynskladstrukturavlastivostí AT pogrebnâkad odnošarovííbagatošarovívakuumnodugovípokrittânaosnovínítridutialsiynskladstrukturavlastivostí AT litovčenkosv odnošarovííbagatošarovívakuumnodugovípokrittânaosnovínítridutialsiynskladstrukturavlastivostí AT ivanovon odnošarovííbagatošarovívakuumnodugovípokrittânaosnovínítridutialsiynskladstrukturavlastivostí AT nemčenkous odnošarovííbagatošarovívakuumnodugovípokrittânaosnovínítridutialsiynskladstrukturavlastivostí AT srebnûkpa odnošarovííbagatošarovívakuumnodugovípokrittânaosnovínítridutialsiynskladstrukturavlastivostí AT meilehovaa odnošarovííbagatošarovívakuumnodugovípokrittânaosnovínítridutialsiynskladstrukturavlastivostí AT barminae odnošarovííbagatošarovívakuumnodugovípokrittânaosnovínítridutialsiynskladstrukturavlastivostí AT stolbovoiva odnošarovííbagatošarovívakuumnodugovípokrittânaosnovínítridutialsiynskladstrukturavlastivostí AT novikovvû odnošarovííbagatošarovívakuumnodugovípokrittânaosnovínítridutialsiynskladstrukturavlastivostí AT mazilinba odnošarovííbagatošarovívakuumnodugovípokrittânaosnovínítridutialsiynskladstrukturavlastivostí AT kricynaev odnošarovííbagatošarovívakuumnodugovípokrittânaosnovínítridutialsiynskladstrukturavlastivostí AT serenkota odnošarovííbagatošarovívakuumnodugovípokrittânaosnovínítridutialsiynskladstrukturavlastivostí AT malikovlv odnošarovííbagatošarovívakuumnodugovípokrittânaosnovínítridutialsiynskladstrukturavlastivostí AT beresnevvm singlelayerandmultilayervacuumarccoatingsbasedonthenitridetialsiyncompositionstructureproperties AT sobolʹov singlelayerandmultilayervacuumarccoatingsbasedonthenitridetialsiyncompositionstructureproperties AT pogrebnâkad singlelayerandmultilayervacuumarccoatingsbasedonthenitridetialsiyncompositionstructureproperties AT litovčenkosv singlelayerandmultilayervacuumarccoatingsbasedonthenitridetialsiyncompositionstructureproperties AT ivanovon singlelayerandmultilayervacuumarccoatingsbasedonthenitridetialsiyncompositionstructureproperties AT nemčenkous singlelayerandmultilayervacuumarccoatingsbasedonthenitridetialsiyncompositionstructureproperties AT srebnûkpa singlelayerandmultilayervacuumarccoatingsbasedonthenitridetialsiyncompositionstructureproperties AT meilehovaa singlelayerandmultilayervacuumarccoatingsbasedonthenitridetialsiyncompositionstructureproperties AT barminae singlelayerandmultilayervacuumarccoatingsbasedonthenitridetialsiyncompositionstructureproperties AT stolbovoiva singlelayerandmultilayervacuumarccoatingsbasedonthenitridetialsiyncompositionstructureproperties AT novikovvû singlelayerandmultilayervacuumarccoatingsbasedonthenitridetialsiyncompositionstructureproperties AT mazilinba singlelayerandmultilayervacuumarccoatingsbasedonthenitridetialsiyncompositionstructureproperties AT kricynaev singlelayerandmultilayervacuumarccoatingsbasedonthenitridetialsiyncompositionstructureproperties AT serenkota singlelayerandmultilayervacuumarccoatingsbasedonthenitridetialsiyncompositionstructureproperties AT malikovlv singlelayerandmultilayervacuumarccoatingsbasedonthenitridetialsiyncompositionstructureproperties |