Однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида TiAlSiYN: состав, структура, свойства

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2017
• Main Authors: Береснев, В.М., Соболь, О.В., Погребняк, А.Д., Литовченко, С.В., Иванов, О.Н., Немченко, У.С., Сребнюк, П.А., Мейлехов, А.А., Бармин, А.Е., Столбовой, В.А., Новиков, В.Ю., Мазилин, Б.А., Крицына, Е.В., Серенко, Т.А., Маликов, Л.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2017
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/136140
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида TiAlSiYN: состав, структура, свойства / В.М. Береснев, О.В. Соболь, А.Д. Погребняк, С.В. Литовченко, О.Н. Иванов, У.С. Немченко, П.А. Сребнюк, А.А. Мейлехов, А.Е. Бармин, В.А. Столбовой, В.Ю. Новиков, Б.А. Мазилин, Е.В. Крицына, Т.А. Серенко, Л.В. Маликов // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 4. — С. 88-96. — Бібліогр.: 30 назв. — рос.

Используя высокотехнологичное вакуумно-дуговое испарение в атмосфере азота с ионной бомбардировкой, получили однослойные и многослойные покрытия на основе TiAlSiYN с высокими механическими характеристиками: твердостью, достигающей 49,5 ГПа; стойкостью к износу с величиной критической точки Lₑ₅, дост...