The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage
The possibility of calculating the cathode shape of an ion sources for a beam formation system is investigated with the computer code. The acceleration of nitrogen ions with energies from 10 to 50 keV and ion currents of 10…20 mA was investigated [1]. The charged particle beams dynamic in a two-pote...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2017 |
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2017
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/136177 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage / P.A. Martynenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 6. — С. 16-17. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-136177 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Martynenko, P.A. 2018-06-16T06:47:10Z 2018-06-16T06:47:10Z 2017 The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage / P.A. Martynenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 6. — С. 16-17. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 29.25.Ni https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/136177 The possibility of calculating the cathode shape of an ion sources for a beam formation system is investigated with the computer code. The acceleration of nitrogen ions with energies from 10 to 50 keV and ion currents of 10…20 mA was investigated [1]. The charged particle beams dynamic in a two-potential electron-optical system is showed. The calculation results are compared with the experimental data. The simulation can be used in the design of injection systems and selection of operating parameters of power sources of technological installations for surface modification. Ця робота присвячена дослідженню можливості розрахунку форми емісійної поверхні для системи прискорення іонів реактивних газів. Наведено чисельний розрахунок самоузгодженої динаміки заряджених частинок у двопотенційній електронно-оптичній системі. Досліджуються властивості системи прискорення іонів до енергії 50 кеВ зі струмом 10…20 мА. Проведено порівняння результатів розрахунку з експериментальними даними. Розрахунки можуть використовуватися при конструюванні систем прискорення іонів та вибору робочих параметрів джерел живлення технологічних установок для модифікації поверхні. Данная работа посвящена исследованию возможности расчета формы поверхности эмиссии системы ускорения ионов реактивных газов. Решается самосогласованная задача динамики заряженных частиц в двух-потенциальной электронно-оптической системе. Исследуется система ускорения ионов азота с энергией от 10 до 50 кэВ с током 10…20 мА. Проведено сравнение результатов расчета с экспериментальными данными. Расчеты могут использоваться при конструировании систем инжекции ионов и выборе рабочих параметров источников питания технологических установок для модификации поверхности. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Теория и техника ускорения частиц The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage Обчислення поверхні емісії джерела іонів реактивних газів із зниженим натіканням нейтрального газу Расчет поверхности эмиссии источника ионов реактивных газов с пониженным натеканием нейтрального газа Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage |
| spellingShingle |
The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage Martynenko, P.A. Теория и техника ускорения частиц |
| title_short |
The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage |
| title_full |
The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage |
| title_fullStr |
The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage |
| title_full_unstemmed |
The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage |
| title_sort |
emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage |
| author |
Martynenko, P.A. |
| author_facet |
Martynenko, P.A. |
| topic |
Теория и техника ускорения частиц |
| topic_facet |
Теория и техника ускорения частиц |
| publishDate |
2017 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Обчислення поверхні емісії джерела іонів реактивних газів із зниженим натіканням нейтрального газу Расчет поверхности эмиссии источника ионов реактивных газов с пониженным натеканием нейтрального газа |
| description |
The possibility of calculating the cathode shape of an ion sources for a beam formation system is investigated with the computer code. The acceleration of nitrogen ions with energies from 10 to 50 keV and ion currents of 10…20 mA was investigated [1]. The charged particle beams dynamic in a two-potential electron-optical system is showed. The calculation results are compared with the experimental data. The simulation can be used in the design of injection systems and selection of operating parameters of power sources of technological installations for surface modification.
Ця робота присвячена дослідженню можливості розрахунку форми емісійної поверхні для системи прискорення іонів реактивних газів. Наведено чисельний розрахунок самоузгодженої динаміки заряджених частинок у двопотенційній електронно-оптичній системі. Досліджуються властивості системи прискорення іонів до енергії 50 кеВ зі струмом 10…20 мА. Проведено порівняння результатів розрахунку з експериментальними даними. Розрахунки можуть використовуватися при конструюванні систем прискорення іонів та вибору робочих параметрів джерел живлення технологічних установок для модифікації поверхні.
Данная работа посвящена исследованию возможности расчета формы поверхности эмиссии системы ускорения ионов реактивных газов. Решается самосогласованная задача динамики заряженных частиц в двух-потенциальной электронно-оптической системе. Исследуется система ускорения ионов азота с энергией от 10 до 50 кэВ с током 10…20 мА. Проведено сравнение результатов расчета с экспериментальными данными. Расчеты могут использоваться при конструировании систем инжекции ионов и выборе рабочих параметров источников питания технологических установок для модификации поверхности.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/136177 |
| citation_txt |
The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage / P.A. Martynenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 6. — С. 16-17. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT martynenkopa theemissionsurfacecalculationforreactivegasionsourcewithdecreasedneutralgasinleakage AT martynenkopa občislennâpoverhníemísíídžerelaíonívreaktivnihgazívízzniženimnatíkannâmneitralʹnogogazu AT martynenkopa rasčetpoverhnostiémissiiistočnikaionovreaktivnyhgazovsponižennymnatekaniemneitralʹnogogaza AT martynenkopa emissionsurfacecalculationforreactivegasionsourcewithdecreasedneutralgasinleakage |
| first_indexed |
2025-12-07T21:15:03Z |
| last_indexed |
2025-12-07T21:15:03Z |
| _version_ |
1850885646223147008 |