Formation of porous zinc nanosystems using direct and reverse flows of DC magnetron sputtering
The work is devoted to comparative analysis of two technological solutions for Zn nanosystems formation which have been implemented on the basis of direct-current magnetron sputtering. In the first case, conventional magnetron sputtering was used and direct flows were deposited on the substrate posi...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Functional Materials |
|---|---|
| Дата: | 2017 |
| Автори: | Latyshev, V.M., Perekrestov, V.I., Kornyushchenko, A.S., Zahaiko, I.V. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2017
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/136669 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Formation of porous zinc nanosystems using direct and reverse flows of DC magnetron sputtering / V.M. Latyshev, V.I. Perekrestov, A.S. Kornyushchenko, I.V. Zahaiko // Functional Materials. — 2017. — Т. 24, № 1. — С. 154-161. — Бібліогр.: 35 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
-
Synthesis of TiO₂ different phase by DC magnetron sputtering
за авторством: Dobrovolskiy, A., та інші
Опубліковано: (2014) -
Structural studies of zinc oxide and aluminum nitride films obtained by CVD and magnetron sputtering methods
за авторством: A. D. Pogrebnjak, та інші
Опубліковано: (2012) -
The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron
за авторством: Panchenko, O.A., та інші
Опубліковано: (2005) -
Characterization of Ti–B–C–N films deposited by dc magnetron sputtering of bicomponent Ti/B₄C target
за авторством: Onoprienko, A.A., та інші
Опубліковано: (2015) -
Deposition of the stoichiometric coatings by reactive magnetron sputtering
за авторством: A. Sagalovych, та інші
Опубліковано: (2012)