Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах

• Published in: Фізико-хімічна механіка матеріалів
• Date: 2016
• Main Authors: Дурягіна, З.А., Ковбасюк, Т.М., Беспалов, С.А., Підкова, В.Я.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Фізико-механічний інститут ім. Г.В. Карпенка НАН України 2016
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137162
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах / З.А. Дурягіна, Т.М. Ковбасюк, С.А. Беспалов, В.Я. Підкова // Фізико-хімічна механіка матеріалів. — 2016. — Т. 52, № 1. — С. 51-55. — Бібліогр.: 8 назв. — укp.

З використанням іонно-плазмової розрядної системи на плоскому нагрівному елементі з алюмомагнієвого сплаву АМг2 отримано діелектричний шар Al₂O₃ нанорозмірної структури. Напилений шар складається з двох підшарів загальною товщиною 13…15 mm з розміром зерен від 4 до 306 nm. Шорсткість поверхні знаходиться в межах 50...60 nm. За коефіцієнта адгезії HSC ~ 1 мікротвердість шару Al₂O₃ за Меєром становить 0,788, а модульЮнґа – 75,433 GPa. С использованием ионно-плазменной разрядной системы на плоском нагревательном элементе из сплава АМг2 получено диэлектрический слой Al₂O₃ наноразмерной структуры. Напыленный слой состоит из двух подслоев общей толщины 13…15 mm с размером зерен от 4 до 306 nm. Шероховатость поверхности находится в пределах 50…60 nm. При коэффициенте адгезии HSC ~ 1 микротвердость слоя Al₂O₃ по Мееру составляет 0,788, а модуль Юнга – 75,433 GPa. Using the ion-plasma discharge system for film heating elements (substrate Al–Mg alloy) the Al₂O₃ dielectric film with nanoscale structure is obtained. Al₂O₃ layer consists of two sublayers with total thickness of 13…15 mm with a grain size of 4…306 nm. Surface roughness is 50…60 nm. For adhesion coefficient HSC ~ 1 the microhardness of Al₂O₃ layer by Meyer is 0.788, and the Young’s modulus – 75.433 GPa.