Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах
З використанням іонно-плазмової розрядної системи на плоскому нагрівному елементі з алюмомагнієвого сплаву АМг2 отримано діелектричний шар Al₂O₃ нанорозмірної структури. Напилений шар складається з двох підшарів загальною товщиною
 13…15 mm з розміром зерен від 4 до 306 nm. Шорсткість повер...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Фізико-хімічна механіка матеріалів |
|---|---|
| Datum: | 2016 |
| ISSN: | 0430-6252 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
Фізико-механічний інститут ім. Г.В. Карпенка НАН України
2016
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137162 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах / З.А. Дурягіна, Т.М. Ковбасюк, С.А. Беспалов, В.Я. Підкова // Фізико-хімічна механіка матеріалів. — 2016. — Т. 52, № 1. — С. 51-55. — Бібліогр.: 8 назв. — укp. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Zusammenfassung: | З використанням іонно-плазмової розрядної системи на плоскому нагрівному елементі з алюмомагнієвого сплаву АМг2 отримано діелектричний шар Al₂O₃ нанорозмірної структури. Напилений шар складається з двох підшарів загальною товщиною
13…15 mm з розміром зерен від 4 до 306 nm. Шорсткість поверхні знаходиться в межах 50...60 nm. За коефіцієнта адгезії HSC ~ 1 мікротвердість шару Al₂O₃ за Меєром
становить 0,788, а модульЮнґа – 75,433 GPa.
С использованием ионно-плазменной разрядной системы на плоском нагревательном элементе из сплава АМг2 получено диэлектрический слой Al₂O₃ наноразмерной структуры. Напыленный слой состоит из двух подслоев общей толщины
13…15 mm с размером зерен от 4 до 306 nm. Шероховатость поверхности находится в
пределах 50…60 nm. При коэффициенте адгезии HSC ~ 1 микротвердость слоя Al₂O₃ по
Мееру составляет 0,788, а модуль Юнга – 75,433 GPa.
Using the ion-plasma discharge system for film heating elements (substrate
Al–Mg alloy) the Al₂O₃ dielectric film with nanoscale structure is obtained. Al₂O₃ layer consists
of two sublayers with total thickness of 13…15 mm with a grain size of 4…306 nm. Surface
roughness is 50…60 nm. For adhesion coefficient HSC ~ 1 the microhardness of Al₂O₃ layer by
Meyer is 0.788, and the Young’s modulus – 75.433 GPa.
|
|---|---|
| ISSN: | 0430-6252 |