Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах
З використанням іонно-плазмової розрядної системи на плоскому нагрівному елементі з алюмомагнієвого сплаву АМг2 отримано діелектричний шар Al₂O₃ нанорозмірної структури. Напилений шар складається з двох підшарів загальною товщиною
 13…15 mm з розміром зерен від 4 до 306 nm. Шорсткість повер...
Saved in:
| Published in: | Фізико-хімічна механіка матеріалів |
|---|---|
| Date: | 2016 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Фізико-механічний інститут ім. Г.В. Карпенка НАН України
2016
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137162 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах / З.А. Дурягіна, Т.М. Ковбасюк, С.А. Беспалов, В.Я. Підкова // Фізико-хімічна механіка матеріалів. — 2016. — Т. 52, № 1. — С. 51-55. — Бібліогр.: 8 назв. — укp. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862578806347268096 |
|---|---|
| author | Дурягіна, З.А. Ковбасюк, Т.М. Беспалов, С.А. Підкова, В.Я. |
| author_facet | Дурягіна, З.А. Ковбасюк, Т.М. Беспалов, С.А. Підкова, В.Я. |
| citation_txt | Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах / З.А. Дурягіна, Т.М. Ковбасюк, С.А. Беспалов, В.Я. Підкова // Фізико-хімічна механіка матеріалів. — 2016. — Т. 52, № 1. — С. 51-55. — Бібліогр.: 8 назв. — укp. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Фізико-хімічна механіка матеріалів |
| description | З використанням іонно-плазмової розрядної системи на плоскому нагрівному елементі з алюмомагнієвого сплаву АМг2 отримано діелектричний шар Al₂O₃ нанорозмірної структури. Напилений шар складається з двох підшарів загальною товщиною
13…15 mm з розміром зерен від 4 до 306 nm. Шорсткість поверхні знаходиться в межах 50...60 nm. За коефіцієнта адгезії HSC ~ 1 мікротвердість шару Al₂O₃ за Меєром
становить 0,788, а модульЮнґа – 75,433 GPa.
С использованием ионно-плазменной разрядной системы на плоском нагревательном элементе из сплава АМг2 получено диэлектрический слой Al₂O₃ наноразмерной структуры. Напыленный слой состоит из двух подслоев общей толщины
13…15 mm с размером зерен от 4 до 306 nm. Шероховатость поверхности находится в
пределах 50…60 nm. При коэффициенте адгезии HSC ~ 1 микротвердость слоя Al₂O₃ по
Мееру составляет 0,788, а модуль Юнга – 75,433 GPa.
Using the ion-plasma discharge system for film heating elements (substrate
Al–Mg alloy) the Al₂O₃ dielectric film with nanoscale structure is obtained. Al₂O₃ layer consists
of two sublayers with total thickness of 13…15 mm with a grain size of 4…306 nm. Surface
roughness is 50…60 nm. For adhesion coefficient HSC ~ 1 the microhardness of Al₂O₃ layer by
Meyer is 0.788, and the Young’s modulus – 75.433 GPa.
|
| first_indexed | 2025-11-26T17:44:08Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-137162 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0430-6252 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-11-26T17:44:08Z |
| publishDate | 2016 |
| publisher | Фізико-механічний інститут ім. Г.В. Карпенка НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Дурягіна, З.А. Ковбасюк, Т.М. Беспалов, С.А. Підкова, В.Я. 2018-06-17T08:00:58Z 2018-06-17T08:00:58Z 2016 Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах / З.А. Дурягіна, Т.М. Ковбасюк, С.А. Беспалов, В.Я. Підкова // Фізико-хімічна механіка матеріалів. — 2016. — Т. 52, № 1. — С. 51-55. — Бібліогр.: 8 назв. — укp. 0430-6252 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137162 З використанням іонно-плазмової розрядної системи на плоскому нагрівному елементі з алюмомагнієвого сплаву АМг2 отримано діелектричний шар Al₂O₃ нанорозмірної структури. Напилений шар складається з двох підшарів загальною товщиною
 13…15 mm з розміром зерен від 4 до 306 nm. Шорсткість поверхні знаходиться в межах 50...60 nm. За коефіцієнта адгезії HSC ~ 1 мікротвердість шару Al₂O₃ за Меєром
 становить 0,788, а модульЮнґа – 75,433 GPa. С использованием ионно-плазменной разрядной системы на плоском нагревательном элементе из сплава АМг2 получено диэлектрический слой Al₂O₃ наноразмерной структуры. Напыленный слой состоит из двух подслоев общей толщины
 13…15 mm с размером зерен от 4 до 306 nm. Шероховатость поверхности находится в
 пределах 50…60 nm. При коэффициенте адгезии HSC ~ 1 микротвердость слоя Al₂O₃ по
 Мееру составляет 0,788, а модуль Юнга – 75,433 GPa. Using the ion-plasma discharge system for film heating elements (substrate
 Al–Mg alloy) the Al₂O₃ dielectric film with nanoscale structure is obtained. Al₂O₃ layer consists
 of two sublayers with total thickness of 13…15 mm with a grain size of 4…306 nm. Surface
 roughness is 50…60 nm. For adhesion coefficient HSC ~ 1 the microhardness of Al₂O₃ layer by
 Meyer is 0.788, and the Young’s modulus – 75.433 GPa. uk Фізико-механічний інститут ім. Г.В. Карпенка НАН України Фізико-хімічна механіка матеріалів Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах Микромеханические и электрофизические свойства наноструктурированных диэлектрических покрытий Al₂O₃ на плоских нагревательных элементах Micromechanical and electrophysical properties of nanostructured Al₂O₃ dielectric coatings on flat heating elements Article published earlier |
| spellingShingle | Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах Дурягіна, З.А. Ковбасюк, Т.М. Беспалов, С.А. Підкова, В.Я. |
| title | Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах |
| title_alt | Микромеханические и электрофизические свойства наноструктурированных диэлектрических покрытий Al₂O₃ на плоских нагревательных элементах Micromechanical and electrophysical properties of nanostructured Al₂O₃ dielectric coatings on flat heating elements |
| title_full | Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах |
| title_fullStr | Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах |
| title_full_unstemmed | Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах |
| title_short | Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах |
| title_sort | мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів al₂o₃ на плоских нагрівних елементах |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137162 |
| work_keys_str_mv | AT durâgínaza míkromehaníčnítaelektrofízičnívlastivostínanostrukturovanihdíelektričnihpokrivíval2o3naploskihnagrívnihelementah AT kovbasûktm míkromehaníčnítaelektrofízičnívlastivostínanostrukturovanihdíelektričnihpokrivíval2o3naploskihnagrívnihelementah AT bespalovsa míkromehaníčnítaelektrofízičnívlastivostínanostrukturovanihdíelektričnihpokrivíval2o3naploskihnagrívnihelementah AT pídkovavâ míkromehaníčnítaelektrofízičnívlastivostínanostrukturovanihdíelektričnihpokrivíval2o3naploskihnagrívnihelementah AT durâgínaza mikromehaničeskieiélektrofizičeskiesvoistvananostrukturirovannyhdiélektričeskihpokrytiial2o3naploskihnagrevatelʹnyhélementah AT kovbasûktm mikromehaničeskieiélektrofizičeskiesvoistvananostrukturirovannyhdiélektričeskihpokrytiial2o3naploskihnagrevatelʹnyhélementah AT bespalovsa mikromehaničeskieiélektrofizičeskiesvoistvananostrukturirovannyhdiélektričeskihpokrytiial2o3naploskihnagrevatelʹnyhélementah AT pídkovavâ mikromehaničeskieiélektrofizičeskiesvoistvananostrukturirovannyhdiélektričeskihpokrytiial2o3naploskihnagrevatelʹnyhélementah AT durâgínaza micromechanicalandelectrophysicalpropertiesofnanostructuredal2o3dielectriccoatingsonflatheatingelements AT kovbasûktm micromechanicalandelectrophysicalpropertiesofnanostructuredal2o3dielectriccoatingsonflatheatingelements AT bespalovsa micromechanicalandelectrophysicalpropertiesofnanostructuredal2o3dielectriccoatingsonflatheatingelements AT pídkovavâ micromechanicalandelectrophysicalpropertiesofnanostructuredal2o3dielectriccoatingsonflatheatingelements |