Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах

• Veröffentlicht in: Фізико-хімічна механіка матеріалів
• Datum: 2016
• Hauptverfasser: Дурягіна, З.А., Ковбасюк, Т.М., Беспалов, С.А., Підкова, В.Я.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainisch
• Veröffentlicht: Фізико-механічний інститут ім. Г.В. Карпенка НАН України 2016
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137162
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах / З.А. Дурягіна, Т.М. Ковбасюк, С.А. Беспалов, В.Я. Підкова // Фізико-хімічна механіка матеріалів. — 2016. — Т. 52, № 1. — С. 51-55. — Бібліогр.: 8 назв. — укp.

З використанням іонно-плазмової розрядної системи на плоскому нагрівному елементі з алюмомагнієвого сплаву АМг2 отримано діелектричний шар Al₂O₃ нанорозмірної структури. Напилений шар складається з двох підшарів загальною товщиною
 13…15 mm з розміром зерен від 4 до 306 nm. Шорсткість повер...