Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах
З використанням іонно-плазмової розрядної системи на плоскому нагрівному елементі з алюмомагнієвого сплаву АМг2 отримано діелектричний шар Al₂O₃ нанорозмірної структури. Напилений шар складається з двох підшарів загальною товщиною 13…15 mm з розміром зерен від 4 до 306 nm. Шорсткість поверхні знах...
Saved in:
| Published in: | Фізико-хімічна механіка матеріалів |
|---|---|
| Date: | 2016 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Фізико-механічний інститут ім. Г.В. Карпенка НАН України
2016
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137162 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Мікромеханічні та електрофізичні властивості наноструктурованих діелектричних покривів Al₂O₃ на плоских нагрівних елементах / З.А. Дурягіна, Т.М. Ковбасюк, С.А. Беспалов, В.Я. Підкова // Фізико-хімічна механіка матеріалів. — 2016. — Т. 52, № 1. — С. 51-55. — Бібліогр.: 8 назв. — укp. |