Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing
A Zr/Mg periodic multilayer was deposited onto silicon substrate by DC magnetron sputtering. Study of the Zr/Mg multilayer structure in an initial state and after thermal annealing in a temperature range of 100...600 °C was made by the X-ray diffraction and cross-section transmission electron micros...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2017 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2017
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137265 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing / L.E. Konotopsky, I.A. Kopilets, S.M. Kosmachev, V.V. Kondratenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 6. — С. 39-42. — Бібліогр.: 19 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862648465468686336 |
|---|---|
| author | Konotopsky, L.E. Kopilets, I.A. Kosmachev, S.M. Kondratenko, V.V. |
| author_facet | Konotopsky, L.E. Kopilets, I.A. Kosmachev, S.M. Kondratenko, V.V. |
| citation_txt | Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing / L.E. Konotopsky, I.A. Kopilets, S.M. Kosmachev, V.V. Kondratenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 6. — С. 39-42. — Бібліогр.: 19 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | A Zr/Mg periodic multilayer was deposited onto silicon substrate by DC magnetron sputtering. Study of the Zr/Mg multilayer structure in an initial state and after thermal annealing in a temperature range of 100...600 °C was made by the X-ray diffraction and cross-section transmission electron microscopy methods. It was shown that Zr/Mg multilayers are stable up to 400 °C. Further heating to 500 °C leads to decreasing of the number of the operable periods due to the zirconium and magnesium layers interaction with the silicon substrate. Annealing at 550 °C leads to multilayer periodicity destructing.
Рентгенографічними і електронно-мікроскопічними методами досліджено багатошарове рентгенівське дзеркало (БПК) Zr/Mg у вихідному стані та після відпалу (100…600 °С). БПК Zr/Mg на кремнієвій підкладці було виготовлено методом прямоточного магнетронного розпилення. Показано, що структура рентгенівського дзеркала зберігається незмінною при відпалі до 400 °С. Подальший нагрів до 500 °С супроводжується зниженням числа робочих періодів за рахунок взаємодії шарів цирконію і магнію з кремнієвої підкладкою. Відпал при 550 °C призводить до руйнування періодичної структури в БПК.
Рентгенографическими и электронно-микроскопическими методами исследовано многослойное рентгеновское зеркало (МРЗ) Zr/Mg в исходном состоянии и после отжига (100…600 °С). МРЗ Zr/Mg на кремниевой подложке было изготовлено методом прямоточного магнетронного распыления. Показано, что структура рентгеновского зеркала сохраняется неизменной при отжиге вплоть до 400 °С. Дальнейший нагрев до 500 °С сопровождается снижением числа рабочих периодов за счет взаимодействия слоев циркония и магния с кремниевой подложкой. Отжиг при 550 °C приводит к разрушению периодической структуры в МРЗ.
|
| first_indexed | 2025-12-01T14:49:39Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-137265 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-01T14:49:39Z |
| publishDate | 2017 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Konotopsky, L.E. Kopilets, I.A. Kosmachev, S.M. Kondratenko, V.V. 2018-06-17T09:35:20Z 2018-06-17T09:35:20Z 2017 Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing / L.E. Konotopsky, I.A. Kopilets, S.M. Kosmachev, V.V. Kondratenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 6. — С. 39-42. — Бібліогр.: 19 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 07.85.FV, 61.05.CM, 61.05.CF, 68.65.AC https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137265 A Zr/Mg periodic multilayer was deposited onto silicon substrate by DC magnetron sputtering. Study of the Zr/Mg multilayer structure in an initial state and after thermal annealing in a temperature range of 100...600 °C was made by the X-ray diffraction and cross-section transmission electron microscopy methods. It was shown that Zr/Mg multilayers are stable up to 400 °C. Further heating to 500 °C leads to decreasing of the number of the operable periods due to the zirconium and magnesium layers interaction with the silicon substrate. Annealing at 550 °C leads to multilayer periodicity destructing. Рентгенографічними і електронно-мікроскопічними методами досліджено багатошарове рентгенівське дзеркало (БПК) Zr/Mg у вихідному стані та після відпалу (100…600 °С). БПК Zr/Mg на кремнієвій підкладці було виготовлено методом прямоточного магнетронного розпилення. Показано, що структура рентгенівського дзеркала зберігається незмінною при відпалі до 400 °С. Подальший нагрів до 500 °С супроводжується зниженням числа робочих періодів за рахунок взаємодії шарів цирконію і магнію з кремнієвої підкладкою. Відпал при 550 °C призводить до руйнування періодичної структури в БПК. Рентгенографическими и электронно-микроскопическими методами исследовано многослойное рентгеновское зеркало (МРЗ) Zr/Mg в исходном состоянии и после отжига (100…600 °С). МРЗ Zr/Mg на кремниевой подложке было изготовлено методом прямоточного магнетронного распыления. Показано, что структура рентгеновского зеркала сохраняется неизменной при отжиге вплоть до 400 °С. Дальнейший нагрев до 500 °С сопровождается снижением числа рабочих периодов за счет взаимодействия слоев циркония и магния с кремниевой подложкой. Отжиг при 550 °C приводит к разрушению периодической структуры в МРЗ. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Чистые материалы и вакуумные технологии Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing Структурно-фазові перетворення у багатошарових рентгенівських дзеркалах Zr/Mg на кремнієвій підкладці Структурно-фазовые превращения в многослойных рентгеновских зеркалах Zr/Mg на кремниевой подложке при отжиге Article published earlier |
| spellingShingle | Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing Konotopsky, L.E. Kopilets, I.A. Kosmachev, S.M. Kondratenko, V.V. Чистые материалы и вакуумные технологии |
| title | Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing |
| title_alt | Структурно-фазові перетворення у багатошарових рентгенівських дзеркалах Zr/Mg на кремнієвій підкладці Структурно-фазовые превращения в многослойных рентгеновских зеркалах Zr/Mg на кремниевой подложке при отжиге |
| title_full | Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing |
| title_fullStr | Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing |
| title_full_unstemmed | Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing |
| title_short | Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing |
| title_sort | structural transformation in zr/mg multilayer on si substrate after annealing |
| topic | Чистые материалы и вакуумные технологии |
| topic_facet | Чистые материалы и вакуумные технологии |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137265 |
| work_keys_str_mv | AT konotopskyle structuraltransformationinzrmgmultilayeronsisubstrateafterannealing AT kopiletsia structuraltransformationinzrmgmultilayeronsisubstrateafterannealing AT kosmachevsm structuraltransformationinzrmgmultilayeronsisubstrateafterannealing AT kondratenkovv structuraltransformationinzrmgmultilayeronsisubstrateafterannealing AT konotopskyle strukturnofazovíperetvorennâubagatošarovihrentgenívsʹkihdzerkalahzrmgnakremníêvíipídkladcí AT kopiletsia strukturnofazovíperetvorennâubagatošarovihrentgenívsʹkihdzerkalahzrmgnakremníêvíipídkladcí AT kosmachevsm strukturnofazovíperetvorennâubagatošarovihrentgenívsʹkihdzerkalahzrmgnakremníêvíipídkladcí AT kondratenkovv strukturnofazovíperetvorennâubagatošarovihrentgenívsʹkihdzerkalahzrmgnakremníêvíipídkladcí AT konotopskyle strukturnofazovyeprevraŝeniâvmnogosloinyhrentgenovskihzerkalahzrmgnakremnievoipodložkepriotžige AT kopiletsia strukturnofazovyeprevraŝeniâvmnogosloinyhrentgenovskihzerkalahzrmgnakremnievoipodložkepriotžige AT kosmachevsm strukturnofazovyeprevraŝeniâvmnogosloinyhrentgenovskihzerkalahzrmgnakremnievoipodložkepriotžige AT kondratenkovv strukturnofazovyeprevraŝeniâvmnogosloinyhrentgenovskihzerkalahzrmgnakremnievoipodložkepriotžige |