Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2017
• Main Authors: Konotopsky, L.E., Kopilets, I.A., Kosmachev, S.M., Kondratenko, V.V.
• Format: Article
• Language: English
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2017
• Subjects: Чистые материалы и вакуумные технологии
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137265
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Structural transformation in Zr/Mg multilayer on Si substrate after annealing / L.E. Konotopsky, I.A. Kopilets, S.M. Kosmachev, V.V. Kondratenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 6. — С. 39-42. — Бібліогр.: 19 назв. — англ.

A Zr/Mg periodic multilayer was deposited onto silicon substrate by DC magnetron sputtering. Study of the Zr/Mg multilayer structure in an initial state and after thermal annealing in a temperature range of 100...600 °C was made by the X-ray diffraction and cross-section transmission electron micros...