The use of plasma-based deposition with ion implantation technology to produce superhard molybdenum-based coatings in a mixed (C₂H₂+N₂) atmosphere
The influence of the pressure of a mixed gaseous atmosphere (80%C₂H₂+20%N₂) and the supply of a high-voltage negative potential in a pulsed form on the elemental and phase composition, structure and physico-mechanical characteristics of the vacuum-arc molybdenum-based coatings. It is shown that in t...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2018 |
| Hauptverfasser: | , , , , , , , , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2018
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137340 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | The use of plasma-based deposition with ion implantation technology to produce superhard molybdenum-based coatings in a mixed (C₂H₂+N₂) atmosphere / O.V. Sobol’, A.A. Andreev, R.P. Mygushchenko, V.M. Beresnev, A.A. Meylekhov, A.A. Postelnyk, S.A. Kravchenko, Taha A. Tabaza, Safwan M. Al-Qawabah, Ubeidulla F. Al-Qawabeha, V.A. Stolbovoy, I.V. Serdyuk, D.A. Kolesnikov, M.G. Kovaleva // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 1. — С. 82-87. — Бібліогр.: 29 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-137340 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Sobol’, O.V. Andreev, A.A. Mygushchenko, R.P. Beresnev, V.M. Meylekhov, A.A. Postelnyk, A.A. Kravchenko, S.A. Tabaza, Taha A. Safwan M. Al-Qawabah Ubeidulla F. Al-Qawabeha Stolbovoy, V.A. Serdyuk, I.V. Kolesnikov, D.A. Kovaleva, M.G. 2018-06-17T10:30:01Z 2018-06-17T10:30:01Z 2018 The use of plasma-based deposition with ion implantation technology to produce superhard molybdenum-based coatings in a mixed (C₂H₂+N₂) atmosphere / O.V. Sobol’, A.A. Andreev, R.P. Mygushchenko, V.M. Beresnev, A.A. Meylekhov, A.A. Postelnyk, S.A. Kravchenko, Taha A. Tabaza, Safwan M. Al-Qawabah, Ubeidulla F. Al-Qawabeha, V.A. Stolbovoy, I.V. Serdyuk, D.A. Kolesnikov, M.G. Kovaleva // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 1. — С. 82-87. — Бібліогр.: 29 назв. — англ. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137340 539.12.04.621.384.653 The influence of the pressure of a mixed gaseous atmosphere (80%C₂H₂+20%N₂) and the supply of a high-voltage negative potential in a pulsed form on the elemental and phase composition, structure and physico-mechanical characteristics of the vacuum-arc molybdenum-based coatings. It is shown that in the temperature deposition range 400…550 °С as a result of plasma-chemical reactions, the maximum nitrogen atoms content in the coating does not exceed 1.5 at.%. It is found, that at the maximum pressure of Р(C₂H₂+N₂)= 2.3∙10⁻¹ Pа when the γ-MoC phase is formed, an superhard state of 50.5 GPa (at a constant potential -200 V, without additional high-voltage pulse action) and 51.1 GPa (at a constant potential -200 V, with additional high-voltage pulse action) is reached. Для вакуумно-дугових покриттів на основі молібдену досліджено вплив тиску змішаної газової атмосфери (80%C₂H₂+20%N₂) і високовольтного негативного потенціалу (подається на підкладку в імпульсної формі) на елементний і фазовий склад, структуру і фізико-механічні характеристики формованого матеріалу. Показано, що в температурному інтервалі підкладки при осадженні 400…550 °С в результаті плазмохімічних реакцій максимальний вміст атомів азоту в покритті не перевищує 1,5 ат.%. Виявлено, що при найбільшому тиску Р(C₂H₂+N₂)= 2.3∙10⁻¹ Па, коли формується фаза γ-MoC, досягається надтверде стан 50,5 ГПа (при постійному потенціалі -200 В, без додаткового високовольтного імпульсного потенціалу) і 51,1 ГПа (при постійному потенціалі -200 В, з додатковим високовольтним імпульсним потенціалом). Для вакуумно-дуговых покрытий на основе молибдена изучено влияние давления смешанной газовой атмосферы (80%C₂H₂+20%N₂) и высоковольтного отрицательного потенциала (подаваемого на подложку в импульсной форме) на элементный и фазовый состав, структуру и физико-механические характеристики формируемого материала. Показано, что в температурном интервале подложки при осаждении 400…550 °С в результате плазмохимических реакций максимальное содержание атомов азота в покрытии не превышает 1,5 ат.%. Выявлено, что при наибольшем давлении Р(C₂H₂+N₂)= 2.3∙10⁻¹ Па, когда формируется фаза γ-MoC, достигается сверхтвердое состояние 50,5 ГПа (при постоянном потенциале -200 В, без дополнительного высоковольтного импульсного потенциала) и 51,1 ГПа (при постоянном потенциале -200 В, с дополнительным высоковольтным импульсным потенциалом). en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика и технология конструкционных материалов The use of plasma-based deposition with ion implantation technology to produce superhard molybdenum-based coatings in a mixed (C₂H₂+N₂) atmosphere Використання технології конденсації при іонному бомбардуванні для отримання надтвердих покриттів на основі молібдену в змішаній (C₂H₂+N₂) атмосфері Использование технологии конденсации при ионной бомбардировке для получения сверхтвердых покрытий на основе молибдена в смешанной (C₂H₂+N₂) атмосфере Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
The use of plasma-based deposition with ion implantation technology to produce superhard molybdenum-based coatings in a mixed (C₂H₂+N₂) atmosphere |
| spellingShingle |
The use of plasma-based deposition with ion implantation technology to produce superhard molybdenum-based coatings in a mixed (C₂H₂+N₂) atmosphere Sobol’, O.V. Andreev, A.A. Mygushchenko, R.P. Beresnev, V.M. Meylekhov, A.A. Postelnyk, A.A. Kravchenko, S.A. Tabaza, Taha A. Safwan M. Al-Qawabah Ubeidulla F. Al-Qawabeha Stolbovoy, V.A. Serdyuk, I.V. Kolesnikov, D.A. Kovaleva, M.G. Физика и технология конструкционных материалов |
| title_short |
The use of plasma-based deposition with ion implantation technology to produce superhard molybdenum-based coatings in a mixed (C₂H₂+N₂) atmosphere |
| title_full |
The use of plasma-based deposition with ion implantation technology to produce superhard molybdenum-based coatings in a mixed (C₂H₂+N₂) atmosphere |
| title_fullStr |
The use of plasma-based deposition with ion implantation technology to produce superhard molybdenum-based coatings in a mixed (C₂H₂+N₂) atmosphere |
| title_full_unstemmed |
The use of plasma-based deposition with ion implantation technology to produce superhard molybdenum-based coatings in a mixed (C₂H₂+N₂) atmosphere |
| title_sort |
use of plasma-based deposition with ion implantation technology to produce superhard molybdenum-based coatings in a mixed (c₂h₂+n₂) atmosphere |
| author |
Sobol’, O.V. Andreev, A.A. Mygushchenko, R.P. Beresnev, V.M. Meylekhov, A.A. Postelnyk, A.A. Kravchenko, S.A. Tabaza, Taha A. Safwan M. Al-Qawabah Ubeidulla F. Al-Qawabeha Stolbovoy, V.A. Serdyuk, I.V. Kolesnikov, D.A. Kovaleva, M.G. |
| author_facet |
Sobol’, O.V. Andreev, A.A. Mygushchenko, R.P. Beresnev, V.M. Meylekhov, A.A. Postelnyk, A.A. Kravchenko, S.A. Tabaza, Taha A. Safwan M. Al-Qawabah Ubeidulla F. Al-Qawabeha Stolbovoy, V.A. Serdyuk, I.V. Kolesnikov, D.A. Kovaleva, M.G. |
| topic |
Физика и технология конструкционных материалов |
| topic_facet |
Физика и технология конструкционных материалов |
| publishDate |
2018 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Використання технології конденсації при іонному бомбардуванні для отримання надтвердих покриттів на основі молібдену в змішаній (C₂H₂+N₂) атмосфері Использование технологии конденсации при ионной бомбардировке для получения сверхтвердых покрытий на основе молибдена в смешанной (C₂H₂+N₂) атмосфере |
| description |
The influence of the pressure of a mixed gaseous atmosphere (80%C₂H₂+20%N₂) and the supply of a high-voltage negative potential in a pulsed form on the elemental and phase composition, structure and physico-mechanical characteristics of the vacuum-arc molybdenum-based coatings. It is shown that in the temperature deposition range 400…550 °С as a result of plasma-chemical reactions, the maximum nitrogen atoms content in the coating does not exceed 1.5 at.%. It is found, that at the maximum pressure of Р(C₂H₂+N₂)= 2.3∙10⁻¹ Pа when the γ-MoC phase is formed, an superhard state of 50.5 GPa (at a constant potential -200 V, without additional high-voltage pulse action) and 51.1 GPa (at a constant potential -200 V, with additional high-voltage pulse action) is reached.
Для вакуумно-дугових покриттів на основі молібдену досліджено вплив тиску змішаної газової атмосфери (80%C₂H₂+20%N₂) і високовольтного негативного потенціалу (подається на підкладку в імпульсної формі) на елементний і фазовий склад, структуру і фізико-механічні характеристики формованого матеріалу. Показано, що в температурному інтервалі підкладки при осадженні 400…550 °С в результаті плазмохімічних реакцій максимальний вміст атомів азоту в покритті не перевищує 1,5 ат.%. Виявлено, що при найбільшому тиску Р(C₂H₂+N₂)= 2.3∙10⁻¹ Па, коли формується фаза γ-MoC, досягається надтверде стан 50,5 ГПа (при постійному потенціалі -200 В, без додаткового високовольтного імпульсного потенціалу) і 51,1 ГПа (при постійному потенціалі -200 В, з додатковим високовольтним імпульсним потенціалом).
Для вакуумно-дуговых покрытий на основе молибдена изучено влияние давления смешанной газовой атмосферы (80%C₂H₂+20%N₂) и высоковольтного отрицательного потенциала (подаваемого на подложку в импульсной форме) на элементный и фазовый состав, структуру и физико-механические характеристики формируемого материала. Показано, что в температурном интервале подложки при осаждении 400…550 °С в результате плазмохимических реакций максимальное содержание атомов азота в покрытии не превышает 1,5 ат.%. Выявлено, что при наибольшем давлении Р(C₂H₂+N₂)= 2.3∙10⁻¹ Па, когда формируется фаза γ-MoC, достигается сверхтвердое состояние 50,5 ГПа (при постоянном потенциале -200 В, без дополнительного высоковольтного импульсного потенциала) и 51,1 ГПа (при постоянном потенциале -200 В, с дополнительным высоковольтным импульсным потенциалом).
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137340 |
| citation_txt |
The use of plasma-based deposition with ion implantation technology to produce superhard molybdenum-based coatings in a mixed (C₂H₂+N₂) atmosphere / O.V. Sobol’, A.A. Andreev, R.P. Mygushchenko, V.M. Beresnev, A.A. Meylekhov, A.A. Postelnyk, S.A. Kravchenko, Taha A. Tabaza, Safwan M. Al-Qawabah, Ubeidulla F. Al-Qawabeha, V.A. Stolbovoy, I.V. Serdyuk, D.A. Kolesnikov, M.G. Kovaleva // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 1. — С. 82-87. — Бібліогр.: 29 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT sobolov theuseofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT andreevaa theuseofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT mygushchenkorp theuseofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT beresnevvm theuseofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT meylekhovaa theuseofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT postelnykaa theuseofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT kravchenkosa theuseofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT tabazatahaa theuseofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT safwanmalqawabah theuseofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT ubeidullafalqawabeha theuseofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT stolbovoyva theuseofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT serdyukiv theuseofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT kolesnikovda theuseofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT kovalevamg theuseofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT sobolov vikoristannâtehnologííkondensacíípriíonnomubombarduvannídlâotrimannânadtverdihpokrittívnaosnovímolíbdenuvzmíšaníic2h2n2atmosferí AT andreevaa vikoristannâtehnologííkondensacíípriíonnomubombarduvannídlâotrimannânadtverdihpokrittívnaosnovímolíbdenuvzmíšaníic2h2n2atmosferí AT mygushchenkorp vikoristannâtehnologííkondensacíípriíonnomubombarduvannídlâotrimannânadtverdihpokrittívnaosnovímolíbdenuvzmíšaníic2h2n2atmosferí AT beresnevvm vikoristannâtehnologííkondensacíípriíonnomubombarduvannídlâotrimannânadtverdihpokrittívnaosnovímolíbdenuvzmíšaníic2h2n2atmosferí AT meylekhovaa vikoristannâtehnologííkondensacíípriíonnomubombarduvannídlâotrimannânadtverdihpokrittívnaosnovímolíbdenuvzmíšaníic2h2n2atmosferí AT postelnykaa vikoristannâtehnologííkondensacíípriíonnomubombarduvannídlâotrimannânadtverdihpokrittívnaosnovímolíbdenuvzmíšaníic2h2n2atmosferí AT kravchenkosa vikoristannâtehnologííkondensacíípriíonnomubombarduvannídlâotrimannânadtverdihpokrittívnaosnovímolíbdenuvzmíšaníic2h2n2atmosferí AT tabazatahaa vikoristannâtehnologííkondensacíípriíonnomubombarduvannídlâotrimannânadtverdihpokrittívnaosnovímolíbdenuvzmíšaníic2h2n2atmosferí AT safwanmalqawabah vikoristannâtehnologííkondensacíípriíonnomubombarduvannídlâotrimannânadtverdihpokrittívnaosnovímolíbdenuvzmíšaníic2h2n2atmosferí AT ubeidullafalqawabeha vikoristannâtehnologííkondensacíípriíonnomubombarduvannídlâotrimannânadtverdihpokrittívnaosnovímolíbdenuvzmíšaníic2h2n2atmosferí AT stolbovoyva vikoristannâtehnologííkondensacíípriíonnomubombarduvannídlâotrimannânadtverdihpokrittívnaosnovímolíbdenuvzmíšaníic2h2n2atmosferí AT serdyukiv vikoristannâtehnologííkondensacíípriíonnomubombarduvannídlâotrimannânadtverdihpokrittívnaosnovímolíbdenuvzmíšaníic2h2n2atmosferí AT kolesnikovda vikoristannâtehnologííkondensacíípriíonnomubombarduvannídlâotrimannânadtverdihpokrittívnaosnovímolíbdenuvzmíšaníic2h2n2atmosferí AT kovalevamg vikoristannâtehnologííkondensacíípriíonnomubombarduvannídlâotrimannânadtverdihpokrittívnaosnovímolíbdenuvzmíšaníic2h2n2atmosferí AT sobolov ispolʹzovanietehnologiikondensaciipriionnoibombardirovkedlâpolučeniâsverhtverdyhpokrytiinaosnovemolibdenavsmešannoic2h2n2atmosfere AT andreevaa ispolʹzovanietehnologiikondensaciipriionnoibombardirovkedlâpolučeniâsverhtverdyhpokrytiinaosnovemolibdenavsmešannoic2h2n2atmosfere AT mygushchenkorp ispolʹzovanietehnologiikondensaciipriionnoibombardirovkedlâpolučeniâsverhtverdyhpokrytiinaosnovemolibdenavsmešannoic2h2n2atmosfere AT beresnevvm ispolʹzovanietehnologiikondensaciipriionnoibombardirovkedlâpolučeniâsverhtverdyhpokrytiinaosnovemolibdenavsmešannoic2h2n2atmosfere AT meylekhovaa ispolʹzovanietehnologiikondensaciipriionnoibombardirovkedlâpolučeniâsverhtverdyhpokrytiinaosnovemolibdenavsmešannoic2h2n2atmosfere AT postelnykaa ispolʹzovanietehnologiikondensaciipriionnoibombardirovkedlâpolučeniâsverhtverdyhpokrytiinaosnovemolibdenavsmešannoic2h2n2atmosfere AT kravchenkosa ispolʹzovanietehnologiikondensaciipriionnoibombardirovkedlâpolučeniâsverhtverdyhpokrytiinaosnovemolibdenavsmešannoic2h2n2atmosfere AT tabazatahaa ispolʹzovanietehnologiikondensaciipriionnoibombardirovkedlâpolučeniâsverhtverdyhpokrytiinaosnovemolibdenavsmešannoic2h2n2atmosfere AT safwanmalqawabah ispolʹzovanietehnologiikondensaciipriionnoibombardirovkedlâpolučeniâsverhtverdyhpokrytiinaosnovemolibdenavsmešannoic2h2n2atmosfere AT ubeidullafalqawabeha ispolʹzovanietehnologiikondensaciipriionnoibombardirovkedlâpolučeniâsverhtverdyhpokrytiinaosnovemolibdenavsmešannoic2h2n2atmosfere AT stolbovoyva ispolʹzovanietehnologiikondensaciipriionnoibombardirovkedlâpolučeniâsverhtverdyhpokrytiinaosnovemolibdenavsmešannoic2h2n2atmosfere AT serdyukiv ispolʹzovanietehnologiikondensaciipriionnoibombardirovkedlâpolučeniâsverhtverdyhpokrytiinaosnovemolibdenavsmešannoic2h2n2atmosfere AT kolesnikovda ispolʹzovanietehnologiikondensaciipriionnoibombardirovkedlâpolučeniâsverhtverdyhpokrytiinaosnovemolibdenavsmešannoic2h2n2atmosfere AT kovalevamg ispolʹzovanietehnologiikondensaciipriionnoibombardirovkedlâpolučeniâsverhtverdyhpokrytiinaosnovemolibdenavsmešannoic2h2n2atmosfere AT sobolov useofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT andreevaa useofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT mygushchenkorp useofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT beresnevvm useofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT meylekhovaa useofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT postelnykaa useofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT kravchenkosa useofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT tabazatahaa useofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT safwanmalqawabah useofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT ubeidullafalqawabeha useofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT stolbovoyva useofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT serdyukiv useofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT kolesnikovda useofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere AT kovalevamg useofplasmabaseddepositionwithionimplantationtechnologytoproducesuperhardmolybdenumbasedcoatingsinamixedc2h2n2atmosphere |
| first_indexed |
2025-12-07T19:04:10Z |
| last_indexed |
2025-12-07T19:04:10Z |
| _version_ |
1850877412244455424 |