Использование тлеющего разряда постоянного тока для синтеза алмазных покрытий
Приведены результаты исследований по влиянию величины плавающего потенциала на подложкодержателях различных размеров на форму и стабильность горения разряда постоянного тока при наличии магнитного поля. Определены условия стабильного горения разряда в течение длительного времени (до 6 ч) при нулевом...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2018 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2018
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137343 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Использование тлеющего разряда постоянного тока для синтеза алмазных покрытий / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, О.А. Опалев, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 1. — С. 93-95. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |