Особенности синтеза алмазных пленок в тлеющем разряде постоянного тока
Приведены результаты исследований по кинетике роста алмазных пленок в тлеющем разряде постоянного тока на модернизированном оборудовании. Показано, что на подложкодержателе диаметром 41 мм и при нулевом потенциале на нем достигается максимальная скорость роста алмазной пленки на единицу вводимой в р...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2018 |
| Автори: | Грицына, В.И., Дудник, С.Ф., Опалев, О.А., Решетняк, Е.Н., Стрельницкий, В.Е. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2018
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137348 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Особенности синтеза алмазных пленок в тлеющем разряде постоянного тока / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, О.А. Опалев, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 1. — С. 96-100. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Использование тлеющего разряда постоянного тока для синтеза алмазных покрытий
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2018)
Использование микро- и нанодисперсного алмаза для осаждения поликристаллических алмазных пленок в тлеющем разряде
за авторством: Выровец, И.И., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Выровец, И.И., та інші
Опубліковано: (2007)
Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
за авторством: Опалев, О.А., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Опалев, О.А., та інші
Опубліковано: (2000)
Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения
за авторством: Березняк, Е.П., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Березняк, Е.П., та інші
Опубліковано: (2011)
Возможности магнитной левитации ферромагнитных тел в градиентном магнитном поле обмоток постоянного тока
за авторством: Чернышов, Н.Н., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Чернышов, Н.Н., та інші
Опубліковано: (2008)
Влияние состава газовой фазы и тока тлеющего разряда на кинетику роста легированных азотом наноструктурных алмазных покритий
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2012)
Источник высоковольтного питания генераторов озона на тлеющем разряде
за авторством: Бруев, А.А., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Бруев, А.А., та інші
Опубліковано: (2000)
Получение высококачественных алмазных покрытий методами активированного газофазного осаждения
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2013)
Исследование влияния параметров синтеза алмазных покрытий на скорость их роста и величину удельного электрического сопротивления
за авторством: Веревкин, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Веревкин, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
Влияние добавки аргона в водородометановую смесь на синтез алмазоподобного покрытия в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
за авторством: Пашнев, В.К., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Пашнев, В.К., та інші
Опубліковано: (2002)
Электродуговой плазмотрон для высокопроизводительного синтеза алмазных покрытий
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2001)
Образование капель на стенках кратера при вакуумно-дуговом разряде на медном катоде
за авторством: Павлов, В.С.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Павлов, В.С.
Опубліковано: (2008)
Использование тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, для синтеза алмазных покрытий
за авторством: Пашнев, В.К., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Пашнев, В.К., та інші
Опубліковано: (2004)
Получение и свойства проводящих алмазных нанокристаллических покрытий
за авторством: Дудник, С.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Дудник, С.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)
Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2008)
Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа
за авторством: Левенец, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Левенец, В.В., та інші
Опубліковано: (2014)
Эпитаксиальный рост плёнок тройной системы Сu–In–Se
за авторством: Григоров, С.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Григоров, С.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
ПЛОТНОСТЬ ЭЛЕКТРОНОВ В ОДНОКАНАЛЬНОМ ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ АТМОСФЕРНОГО ДАВЛЕНИЯ НА ПОВЕРХНОСТЬ ДИСТИЛЛИРОВАННОЙ ВОДЫ
за авторством: Шуаибов, А.К., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Шуаибов, А.К., та інші
Опубліковано: (2016)
Плотность электронов в одноканальном тлеющем разряде атмосферного давления на поверхность дистиллированной воды
за авторством: Шуаибов, А.К., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Шуаибов, А.К., та інші
Опубліковано: (2016)
Нанесение алмазоподобных покрытий на поверхности колец из карбида кремния сухих газовых уплотнений для компрессоров высокого давления
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2018)
Влияние температуры подложки на внутренние напряжения и структуру алмазоподобного покрытия при ионном осаждении
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Калиниченко, А.И., та інші
Опубліковано: (2008)
Исследование элементного состава и диффузии компонент тонких пленок железоиттриевого граната
за авторством: Кириченко, В.Г., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Кириченко, В.Г., та інші
Опубліковано: (2014)
Влияние высоковольтного постоянного потенциала смещения на структуру и свойства многослойного композиционного материала MoN/CrN с разной толщиной слоев
за авторством: Гранкин, С.С., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Гранкин, С.С., та інші
Опубліковано: (2016)
Синтез стехиометрических пленок бинарных соединений реактивным магнетронным напылением и управление режимом напыления
за авторством: Евсюков, А.Н., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Евсюков, А.Н., та інші
Опубліковано: (2008)
Композитные TiC-aC:H-покрытия, синтезированные при совместном осаждении из вакуумно-дугового источника титановой плазмы и плазмы ВЧ-разряда в парах бензола
за авторством: Лучанинов, А.А., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Лучанинов, А.А., та інші
Опубліковано: (2018)
Влияние механической обработки поверхности переплавляемого материала на свойства литейных дентальных сплавов Remanium GM-700 и Remanium CSе
за авторством: Чайка, Е.Н.
Опубліковано: (2006)
за авторством: Чайка, Е.Н.
Опубліковано: (2006)
Особенности управления преобразователями постоянного тока
за авторством: Жуйков, В.Я., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Жуйков, В.Я., та інші
Опубліковано: (2012)
ОСОБЕННОСТИ УПРАВЛЕНИЯ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯМИ ПОСТОЯННОГО ТОКА
за авторством: Жуйков, В.Я., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Жуйков, В.Я., та інші
Опубліковано: (2012)
Люминесценция и модель роста наноколонарных пленок CNx:EuyOz, полученных на магнетроне постоянного тока
за авторством: Шемченко, Е.И., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Шемченко, Е.И., та інші
Опубліковано: (2017)
Особенности зонной перекристаллизации сплавов тугоплавких металлов с высоким содержанием углерода
за авторством: Семененко, В.Е., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Семененко, В.Е., та інші
Опубліковано: (2007)
Дисперсионное упрочнение сплавов Mo-Zr-C
за авторством: Семененко, В.Е., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Семененко, В.Е., та інші
Опубліковано: (2008)
Особенности механической релаксации азота в сплавах ниобий-вольфрам, закаленных от высоких температур
за авторством: Бахрушин, В.Е., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Бахрушин, В.Е., та інші
Опубліковано: (2006)
Морфология карбитных фаз в эвтектических сплавах, полученных направленной кристаллизацией
за авторством: Семененко, В.Е., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Семененко, В.Е., та інші
Опубліковано: (2003)
Влияние прокатки на устойчивость композиционной микроструктуры сплавов эвтектического типа
за авторством: Семененко, В.Е., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Семененко, В.Е., та інші
Опубліковано: (2002)
Жаропрочные композиционные материалы на основе тугоплавких металлов
за авторством: Семененко, В.Е., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Семененко, В.Е., та інші
Опубліковано: (2011)
Нанокристаллические алмазные CDV-пленки: структура, свойства и перспективы применения
за авторством: Выровец, И.И., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Выровец, И.И., та інші
Опубліковано: (2010)
Влияние термообработки на прочностные характеристики сплавов Mo-Zr-C
за авторством: Семененко, В.Е., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Семененко, В.Е., та інші
Опубліковано: (2014)
Дислокационная структура естественных микрокомпозиционных материалов
за авторством: Семененко, В.Е., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Семененко, В.Е., та інші
Опубліковано: (2009)
Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем
за авторством: Пашнев, В.К, та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Пашнев, В.К, та інші
Опубліковано: (2003)
Разделение по размерам алмазных нанопорошков детонационного синтеза
за авторством: Богатырёва, Г.П., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Богатырёва, Г.П., та інші
Опубліковано: (2012)
Схожі ресурси
-
Использование тлеющего разряда постоянного тока для синтеза алмазных покрытий
за авторством: Грицына, В.И., та інші
Опубліковано: (2018) -
Использование микро- и нанодисперсного алмаза для осаждения поликристаллических алмазных пленок в тлеющем разряде
за авторством: Выровец, И.И., та інші
Опубліковано: (2007) -
Синтез алмазных покрытий в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
за авторством: Опалев, О.А., та інші
Опубліковано: (2000) -
Получение самонесущих поликристаллических алмазных пленок для детекторов ионизирующего излучения
за авторством: Березняк, Е.П., та інші
Опубліковано: (2011) -
Возможности магнитной левитации ферромагнитных тел в градиентном магнитном поле обмоток постоянного тока
за авторством: Чернышов, Н.Н., та інші
Опубліковано: (2008)